一种功能器件阵列的制作装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种功能器件阵列的制作装置，包括：产生系统，所述产生系统用于将生成的声表面驻波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液体尖峰阵列；定位系统，所述定位系统用于将目标基板移动至所述功能材料溶液的液体尖峰处，且将所述目标基板的功能区表面阵列与功能材料溶液的液体尖峰阵列对位设置，其中，所述功能材料溶液的液体尖峰与所述目标基板的功能区表面接触，而在所述目标基板的功能区表面处形成功能材料液滴，且所述功能材料液滴挥发后形成所述功能器件。本实用新型专利技术提出了一种新型的制作工艺及装置。无需将功能材料溶液通过喷嘴喷涂，不仅避免了资源的浪费，还实现了高密度功能器件阵列的制备。备。备。

A fabrication device of functional device array

The utility model provides a device for making a functional device array, including: a generation system, which is used to act the generated sound surface standing wave on the functional material solution to form a liquid spike array on the surface of the functional material solution; The positioning system is used to move the target substrate to the liquid peak of the functional material solution, and align the functional area surface array of the target substrate with the liquid peak array of the functional material solution, wherein the liquid peak of the functional material solution contacts the functional area surface of the target substrate, and the functional material droplets are formed on the functional area surface of the target substrate, And the functional material droplets volatilize to form the functional device. The utility model provides a novel manufacturing process and device. There is no need to spray the functional material solution through the nozzle, which not only avoids the waste of resources, but also realizes the preparation of high-density functional device arrays. Stand by. Stand by< br/>

【技术实现步骤摘要】
一种功能器件阵列的制作装置


[0001]本技术涉及阵列化器件
，更为具体地说，涉及一种功能器件阵列的制作装置。

技术介绍

[0002]量子点是纳米大小的小型球形状半导体粒子，也被称为纳米半导体粒子或纳米晶体，通常有比激子波尔半径更小或接近的半径，仅仅由数个或数十个原子组成，施加电压会产生自发光，吸收并再释放同样波长的光。另外，量子点还有一个特点，即为：当受到光或电的刺激，量子点会发出有色光线，光线的颜色由量子点的组成材料和大小形状决定，这就意味着量子点能够改变光源发出的光线颜色。Micro发光二极管芯片常用量子点阵列作为色转换层，将蓝光或者紫外光转化为其他颜色的光。但是对于量子点阵列的印刷目前只有光刻或者喷嘴喷涂打印方式，其中，光刻方式对于材料的浪费很严重，而喷嘴喷涂打印方式难以处理高密度、大面积的基板。目前业内急需一种新型制作装置及工艺来处理相关功能器件阵列的制作问题。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供了一种功能器件阵列的制作装置，有效解决了现有技术存在的技术问题，提出了一种新型的制作工艺及装置，无需将功能材料溶液通过喷嘴喷涂，不仅避免了资源的浪费，还实现了高密度功能器件阵列的制备。
[0004]为实现上述目的，本技术提供的技术方案如下：
[0005]一种功能器件阵列的制作装置，包括：
[0006]产生系统，所述产生系统用于将生成的声表面驻波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液体尖峰阵列；
[0007]定位系统，所述定位系统用于将目标基板移动至所述功能材料溶液的液体尖峰处，且将所述目标基板的功能区表面阵列与功能材料溶液的液体尖峰阵列对位设置，其中，所述功能材料溶液的液体尖峰与所述目标基板的功能区表面接触，而在所述目标基板的功能区表面处形成功能材料液滴，且所述功能材料液滴挥发后形成所述功能器件。
[0008]可选的，所述产生系统包括：
[0009]波生成单元，所述波生成单元用于生成所述声表面驻波；
[0010]材料容器，所述材料容器用于盛放所述功能材料溶液且所述功能材料溶液根据所述声表面驻波在所述材料容器的开口侧形成液体尖峰阵列。
[0011]可选的，所述波生成单元包括：
[0012]压电基底；
[0013]设置于所述压电基底一侧表面上的声学器件和波导层，所述声学器件用于生成所述声表面驻波，所述波导层用于将所述声表面驻波传输至位于所述波导层背离所述压电基底一侧的材料容器中。
[0014]可选的，所述声学器件包括多对叉指换能器。
[0015]可选的，所述材料容器为玻璃容器。
[0016]可选的，所述定位系统包括：
[0017]可控固定架，所述可控固定架用于固定所述目标基板；
[0018]与所述可控固定架相连的定位驱动器件，所述定位驱动器件用于控制所述可控固定架将所述目标基板移动至所述功能材料溶液的液体尖峰处，且将所述目标基板的功能区表面阵列与功能材料溶液的液体尖峰阵列对位设置。
[0019]可选的，所述目标基板的功能区表面与所述功能材料溶液的亲疏水性一致；
[0020]及所述目标基板的功能区表面之外的区域表面与所述功能材料溶液的亲疏水性相反。
[0021]可选的，所述功能材料溶液为量子点溶液、OLED溶液、光刻胶溶液、聚集诱导发光材料溶液、荧光材料溶液、细胞培养液或钙钛矿前驱物材料溶液。
[0022]相较于现有技术，本技术提供的技术方案至少具有以下优点：
[0023]本技术提供了一种功能器件阵列的制作装置，包括：产生系统，所述产生系统用于将生成的声表面驻波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液体尖峰阵列；定位系统，所述定位系统用于将目标基板移动至所述功能材料溶液的液体尖峰处，且将所述目标基板的功能区表面阵列与功能材料溶液的液体尖峰阵列对位设置，其中，所述功能材料溶液的液体尖峰与所述目标基板的功能区表面接触，而在所述目标基板的功能区表面处形成功能材料液滴，且所述功能材料液滴挥发后形成所述功能器件。
[0024]由上述内容可知，本技术提出了一种新型的制作工艺及装置。本技术提供的技术方案，无需将功能材料溶液通过喷嘴喷涂，不仅避免了资源的浪费，还实现了高密度功能器件阵列的制备。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0026]图1为本技术实施例提供的一种功能器件阵列的制作装置的结构示意图；
[0027]图2为本技术实施例提供的另一种功能器件阵列的制作装置的结构示意图；
[0028]图3为本技术实施例提供的又一种功能器件阵列的制作装置的结构示意图；
[0029]图4为本技术实施例提供的又一种功能器件阵列的制作装置的结构示意图；
[0030]图5为本技术实施例提供的一种功能器件阵列的制作方法的流程图。
具体实施方式
[0031]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0032]正如
技术介绍
所述，量子点是纳米大小的小型球形状半导体粒子，也被称为纳米半导体粒子或纳米晶体，通常有比激子波尔半径更小或接近的半径，仅仅由数个或数十个原子组成，施加电压会产生自发光，吸收并再释放同样波长的光。另外，量子点还有一个特点，即为：当受到光或电的刺激，量子点会发出有色光线，光线的颜色由量子点的组成材料和大小形状决定，这就意味着量子点能够改变光源发出的光线颜色。Micro发光二极管芯片常用量子点阵列作为色转换层，将蓝光或者紫外光转化为其他颜色的光。但是对于量子点阵列的印刷目前只有光刻或者喷嘴喷涂打印方式，其中，光刻方式对于材料的浪费很严重，而喷嘴喷涂打印方式难以处理高密度、大面积的基板。目前业内急需一种新型制作装置及工艺来处理相关功能器件阵列的制作问题。
[0033]基于此，本技术实施例提供了一种功能器件阵列及其制作装置和制作方法，有效解决了现有技术存在的技术问题，提出了一种新型的制作工艺及装置，无需将功能材料溶液通过喷嘴喷涂，不仅避免了资源的浪费，还实现了高密度功能器件阵列的制备。
[0034]为实现上述目的，本技术实施例提供的技术方案如下，具体结合图1 至图5对本技术实施例提供的技术方案进行详细的描述。
[0035]参考图1所示，为本技术实施例提供的一种功能器件阵列的制作装置的结构示意图，其中，制作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种功能器件阵列的制作装置，其特征在于，包括：产生系统，所述产生系统用于将生成的声表面驻波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液体尖峰阵列；定位系统，所述定位系统用于将目标基板移动至所述功能材料溶液的液体尖峰处，且将所述目标基板的功能区表面阵列与功能材料溶液的液体尖峰阵列对位设置，其中，所述功能材料溶液的液体尖峰与所述目标基板的功能区表面接触，而在所述目标基板的功能区表面处形成功能材料液滴，且所述功能材料液滴挥发后形成所述功能器件。2.根据权利要求1所述的功能器件阵列的制作装置，其特征在于，所述产生系统包括：波生成单元，所述波生成单元用于生成所述声表面驻波；材料容器，所述材料容器用于盛放所述功能材料溶液且所述功能材料溶液根据所述声表面驻波在所述材料容器的开口侧形成液体尖峰阵列。3.根据权利要求2所述的功能器件阵列的制作装置，其特征在于，所述波生成单元包括：压电基底；设置于所述压电基底一侧表面上的声学器件和波导层，所述声学器件用于生成所述声表面驻波，所述波导层用于将所述声表面驻波传输至位于所述波...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴双，柯志杰，谈江乔，艾国齐，柯毅东，
申请(专利权)人：厦门乾照半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：