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本实用新型提供了一种功能器件阵列的制作装置，包括：产生系统，所述产生系统用于将生成的声表面驻波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液体尖峰阵列；定位系统，所述定位系统用于将目标基板移动至所述功能材料溶液的液体尖峰处，且将所述目...
该专利属于厦门乾照半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门乾照半导体科技有限公司授权不得商用。

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