基于电流体应用的器件阵列及其制作装置、制作方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了基于电流体应用的器件阵列及其制作装置、制作方法，包括：产生系统，所述产生系统用于将生成的声表面驻波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液体尖峰阵列；定位系统，所述定位系统用于将目标基板移动至所述功能材料溶液的液体尖峰处；以及电源，所述电源的两端分别连接至所述目标基板、产生系统，使所述液体尖峰阵列在电场、重力及表面张力的作用下形成泰勒锥并产生射流后转印至所述目标基板；当停止对所述产生系统与目标基板施加电场后，液体尖峰阵列的泰勒锥立刻消失，停止喷射。通过泰勒锥射流的方式，可实现纳米至微米级图案的喷涂，并且图案的均一性不易受目标基板弯曲度的影响。性不易受目标基板弯曲度的影响。性不易受目标基板弯曲度的影响。

【技术实现步骤摘要】
基于电流体应用的器件阵列及其制作装置、制作方法


[0001]本专利技术涉及阵列化器件
，尤其涉及一种基于电流体应用的器件阵列及其制作装置、制作方法。

技术介绍

[0002]量子点是纳米大小的小型球形状半导体粒子，也被称为纳米半导体粒子或纳米晶体，通常有比激子波尔半径更小或接近的半径，仅仅由数个或数十个原子组成，施加电压会产生自发光，吸收并再释放同样波长的光。另外，量子点还有一个特点，即为：当受到光或电的刺激，量子点会发出有色光线，光线的颜色由量子点的组成材料和大小形状决定，这就意味着量子点能够改变光源发出的光线颜色。Micro发光二极管芯片常用量子点阵列作为色转换层，将蓝光或者紫外光转化为其他颜色的光。但是对于量子点阵列的印刷目前只有光刻或者喷嘴喷涂打印方式，其中，光刻方式对于材料的浪费很严重，而喷嘴喷涂打印方式难以处理高密度、大面积的基板。目前业内急需一种新型制作装置及工艺来处理相关功能器件阵列的制作问题。
[0003]有鉴于此，本专利技术人专门设计了一种基于电流体应用的器件阵列及其制作装置、制作方法，本案由此产生。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种基于电流体应用的器件阵列及其制作装置、制作方法，有效解决了现有技术存在的技术问题，提出了一种新型的制作工艺及装置，无需将功能材料溶液通过喷嘴喷涂，不仅避免了资源的浪费，还实现了高密度、纳米至微米级器件阵列的制备。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用的技术方案如下：
[0006]一种基于电流体应用的器件阵列的制作装置，包括：
[0007]产生系统，所述产生系统用于将生成的声表面驻波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液体尖峰阵列；
[0008]定位系统，所述定位系统用于将目标基板移动至所述功能材料溶液的液体尖峰处，且将所述目标基板的功能区表面阵列与功能材料溶液的液体尖峰阵列对位设置；
[0009]电源，所述电源的两端分别连接至所述目标基板、产生系统，使所述液体尖峰阵列在电场、重力及表面张力的作用下形成泰勒锥并产生射流后转印至所述目标基板的功能区表面。
[0010]优选地，所述产生系统包括：
[0011]波生成单元，所述波生成单元用于生成所述声表面驻波；
[0012]材料容器，所述材料容器用于盛放所述功能材料溶液且所述功能材料溶液根据所述声表面驻波在所述材料容器的开口侧形成液体尖峰阵列；所述材料容器具有导电基底，且所述电源的两端分别连接至所述目标基板、材料容器的基底。
[0013]优选地，所述波生成单元包括：
[0014]压电基底；
[0015]设置于所述压电基底一侧表面上的声学器件和波导层，所述声学器件用于生成所述声学表面驻波，所述波导层用于将所述声学表面驻波传输至位于所述波导层背离所述压电基底一侧的材料容器中。
[0016]优选地，所述声学器件包括多对叉指换能器。
[0017]优选地，所述材料容器为导电容器。
[0018]优选地，所述定位系统包括：
[0019]可控固定架，所述可控固定架用于固定所述目标基板；
[0020]与所述可控固定架相连的定位驱动器件，所述定位驱动器件用于控制所述可控固定架将所述目标基板移动至所述功能材料溶液的液体尖峰处，且将所述目标基板的功能区表面阵列与功能材料溶液的液体尖峰阵列对位设置。
[0021]优选地，所述目标基板的功能区表面与所述功能材料溶液的亲疏水性一致；
[0022]及所述目标基板的功能区表面之外的区域表面与所述功能材料溶液的亲疏水性相反。
[0023]优选地，所述功能材料溶液为量子点溶液、OLED溶液、光刻胶溶液、聚集诱导发光材料溶液、荧光材料溶液、细胞培养液或钙钛矿前驱物材料溶液。
[0024]相应地，本专利技术还提供了一种基于电流体应用的器件阵列的制作装置的制作方法，采用上述任意一项所述的基于电流体应用的器件阵列的制作装置，制作方法包括：
[0025]所述定位系统将所述目标基板移动至所述功能材料溶液侧，且将所述目标基板的功能区表面阵列与功能材料溶液形成液体尖峰阵列的区域对位设置；
[0026]所述产生系统生成声表面驻波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液体尖峰阵列；
[0027]连通所述电源，使所述目标基板和所述产生系统之间施加电场，进而所述液体尖峰阵列在电场、重力及表面张力的作用下形成泰勒锥并产生射流；
[0028]所述功能材料溶液的液体尖峰通过射流转印至所述目标基板的功能区表面，而在所述目标基板的功能区表面处形成功能材料液滴；
[0029]待所述功能材料液滴挥发后形成所述功能器件。
[0030]相应地，本专利技术还提供了一种器件阵列，所述器件阵列上述的基于电流体应用的器件阵列的制作装置的制作方法制作而成。
[0031]本专利技术提供了一种基于电流体应用的器件阵列及其制作装置、制作方法，包括：产生系统，所述产生系统用于将生成的声表面驻波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液体尖峰阵列；定位系统，所述定位系统用于将目标基板移动至所述功能材料溶液的液体尖峰处，且将所述目标基板的功能区表面阵列与功能材料溶液的液体尖峰阵列对位设置；电源，所述电源的两端分别连接至所述目标基板、产生系统，使所述液体尖峰阵列在电场、重力及表面张力的作用下形成泰勒锥并产生射流后转印至所述目标基板的功能区表面；当停止对所述产生系统与目标基板施加电场后，液体尖峰阵列的泰勒锥立刻消失，停止喷射。通过泰勒锥射流的方式，可实现纳米至微米级图案的喷涂，并且图案的均一性不易受目标基板弯曲度的影响；同时，由于泰勒锥可以产生更小的射流，因此，无需通
过在叉指换能器上增加的高电压以产生尖锐的液体尖峰，如此，可延长压电基底的使用寿命。
[0032]由上述内容可知，本专利技术提出了一种新型的制作工艺及装置。本专利技术提供的技术方案，无需将功能材料溶液通过喷嘴喷涂，不仅避免了资源的浪费，还实现了高密度功能器件阵列的制备。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0034]图1为本专利技术实施例提供的基于电流体应用的器件阵列的制作装置的结构示意图；
[0035]图2为本专利技术实施例提供的又一种基于电流体应用的器件阵列的制作装置的结构示意图；
[0036]图3为本专利技术实施例提供的又一种基于电流体应用的器件阵列的制作装置的结构示意图；
[0037]图4为本专利技术实施例提供的基于电流体应用的器件阵列的制作装置的制作方法的流程图；
[0038]图中符号说明：100、产生系统，110、波生成单元，111、压电基底，112、声学器件，113、波导层本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于电流体应用的器件阵列的制作装置，其特征在于，包括：产生系统，所述产生系统用于将生成的声表面驻波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液体尖峰阵列；定位系统，所述定位系统用于将目标基板移动至所述功能材料溶液的液体尖峰处，且将所述目标基板的功能区表面阵列与功能材料溶液的液体尖峰阵列对位设置；电源，所述电源的两端分别连接至所述目标基板、产生系统，使所述液体尖峰阵列在电场、重力及表面张力的作用下形成泰勒锥并产生射流后转印至所述目标基板的功能区表面。2.根据权利要求1所述的基于电流体应用的器件阵列的制作装置，其特征在于，所述产生系统包括：波生成单元，所述波生成单元用于生成所述声表面驻波；材料容器，所述材料容器用于盛放所述功能材料溶液且所述功能材料溶液根据所述声表面驻波在所述材料容器的开口侧形成液体尖峰阵列；所述材料容器具有导电基底，且所述电源的两端分别连接至所述目标基板、材料容器的基底。3.根据权利要求2所述的基于电流体应用的器件阵列的制作装置，其特征在于，所述波生成单元包括：压电基底；设置于所述压电基底一侧表面上的声学器件和波导层，所述声学器件用于生成所述声学表面驻波，所述波导层用于将所述声学表面驻波传输至位于所述波导层背离所述压电基底一侧的材料容器中。4.根据权利要求3所述的基于电流体应用的器件阵列的制作装置，其特征在于，所述声学器件包括多对叉指换能器。5.根据权利要求2所述的基于电流体应用的器件阵列的制作装置，其特征在于，所述材料容器为导电容器。6.根据权利要求1所述的基于电流体应用的器件阵列的制作装置，其特征在于，所述定位系统包括：可控固定架，所述可控固定架用于固定所述目标基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴双，柯志杰，艾国齐，谈江乔，江方，
申请(专利权)人：厦门乾照半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：