本实用新型专利技术公开了特种气体紧急气动阀门供气装置，包括并列设置的电磁阀a和电磁阀b，电磁阀a和电磁阀b一端均通过管路与调压阀连接，调压阀通过管路与手阀连接，电磁阀a和电磁阀b另一端分别通过管路依次与单向阀a、三通阀门a和单向阀b、三通阀门b连接，电磁阀a和电磁阀b两端分别通过管路连通并在管路上设有旁通路阀门a和旁通路阀门b，电磁阀a和电磁阀b还连接有PLC，PLC连接有FMCS和蓄电池，蓄电池连接有电源和声光报警灯。本实用新型专利技术特种气体紧急气动阀门供气装置，在遇到设备故障或者局部电路故障时，此装置的气体能够在最短的时间内打开气体供给管路上的气动阀门，使气体恢复正常供应，避免或者最大程度减少工艺方面的损失。避免或者最大程度减少工艺方面的损失。避免或者最大程度减少工艺方面的损失。
【技术实现步骤摘要】
特种气体气柜紧急供气装置
[0001]本技术属于气柜供给装置
，具体涉及特种气体气柜紧急供气装置。
技术介绍
[0002]在MOCVD、PECVD等工艺中，会使用很多种特种气体作为源材料、掺杂剂或者携带气体等等，因此气体的稳定供应是维持工艺生长稳定的一个非常关键的因素。目前特种气体的供应方式基本为气柜供应，供应管路上会有若干气动阀控制管路的供应或者停止，然而在遇到设备故障或者局部电路故障时，气柜宕机，气动阀停止供气，气体便无法正常供应到机台，气体供应中断会给工艺方面带来很大的损失。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是提供一种特种气体气柜紧急供气装置，解决了现有的气动阀控制管路遇到设备故障或者局部电路故障时，气柜宕机，气动阀停止供气，气体便无法正常供应到机台的问题。
[0004]本技术所采用的技术方案是，特种气体气柜紧急供气装置，包括并列设置的电磁阀a和电磁阀b，电磁阀a和电磁阀b一端均通过管路与调压阀连接，调压阀通过管路与手阀连接，电磁阀a另一端通过管路依次与单向阀a、三通阀门a连接，电磁阀b另一端通过管路依次与单向阀b、三通阀门b连接，电磁阀a两端通过管路连通并在管路上设置有旁通路阀门a，电磁阀b两端通过管路连通并在管路上设置有旁通路阀门b，电磁阀和电磁阀b还连接有PLC，PLC连接有FMCS和蓄电池，蓄电池连接有电源和声光报警灯。
[0005]本技术的特征还在于：
[0006]调压阀与电磁阀a、电磁阀b之间设置有压力表。
[0007]电磁阀为两位两通电磁阀。
[0008]PLC为网口式。
[0009]本技术的有益效果是：
[0010]本技术特种气体气柜紧急供气装置，在遇到设备故障或者局部电路故障时，此装置的气体能够在最短的时间内打开气体供给管路上的气动阀门，使气体恢复正常供应，避免或者最大程度减少工艺方面的损失。
附图说明
[0011]图1为本技术特种气体气柜紧急供气装置的原理示意图。
[0012]图中：1.手阀，2.调压阀，3.压力表，4.旁通路阀门a，5.电磁阀a，6.单向阀a，7.电磁阀b，8.单向阀b，9.三通阀门a，10.三通阀门b，11.旁通路阀门b，12.PLC，13.蓄电池，14.电源，15.声光报警灯，16.FMCS。
具体实施方式
[0013]下面结合附图和具体实施方式对本技术进行详细说明。
[0014]如图1所示，特种气体气柜紧急供气装置，包括并列设置的电磁阀a5和电磁阀b7，电磁阀a5和电磁阀b7一端均通过管路与调压阀2连接，调压阀2通过管路与手阀1连接，调压阀2调节气动气所需压力的大小，满足打开气动阀的压力即可，手阀1控制气源GN2的开关，自然状态下为常开状态，如遇到气柜检修等情况时，不需要紧急打开气动阀，则关闭此阀门，调压阀2和电磁阀a5、电磁阀b7之间设置有压力表3，压力表3显示GN2的供气压力，电磁阀a5与电磁阀b7均为两位两通，平时为常闭状态，接通PLC12，蓄电池13连接至气柜电源端，遇到异常断电时，蓄电池13启动，打开PLC12，系统人员通过FMCS16系统远程控制给PLC12命令，根据实际供应侧远程控制打开电磁阀a或电磁阀b，使气动气供给至气动阀门；
[0015]电磁阀a5和电磁阀b7还连接有PLC12，PLC12为网口式，平时为常闭状态，接通蓄电池13，电磁阀a5另一端通过管路依次与单向阀a6、三通阀门a9连接，单向阀a6防止气体回流，三通阀门a9将紧急供气装置的气动气与气柜气动阀上的气动气相连；
[0016]电磁阀b7另一端通过管路依次与单向阀b8、三通阀门b10连接，单向阀b7防止气体回流，电磁阀a5两端通过管路连通并在管路上设置有旁通路阀门a4，电磁阀b7两端通过管路连通并在管路上设置有旁通路阀门b11，旁通路阀门a4与旁通路阀门b11平时为常闭状态，在电磁阀故障或者蓄电池13电源电量耗尽，气动气无法打开需要被强制打开的气动阀门时，以及设备故障需要长时间强制供应时，打开旁通路阀门a4与旁通路阀门b11。
[0017]PLC12连接有FMCS16和蓄电池13，蓄电池13连接有电源14和声光报警灯15，蓄电池13连接至气柜电源，平时为充电状态，在电力中断时，蓄电池13启用，打开PLC12，同时给声光报警灯15供电，使监控室系统人员第一时间获取报警信息，监控系统FMCS16位于监控室，系统人员获取异常断电报警信息后，通过FMCS16系统远程控制给PLC12命令，根据实际供应侧打开电磁阀a或电磁阀b。
[0018]本技术具体工作原理如下：
[0019]将蓄电池13的电源与特气气柜电源连接，蓄电池13后端与PLC12、声光报警灯15连接，声光报警灯15连接至监控室，将PLC12连接至监控室的FMCS16系统，供电正常时，蓄电池13为充电状态，PLC12为关闭状态，声光报警灯15为关闭状态，电磁阀为常闭状态，气柜异常断电时，蓄电池13工作，声光报警灯15通电产生报警声以及报警灯光，使监控室系统人员第一时间获取报警信息，同时PLC12启动，系统人员通过FMCS16系统远程控制给PLC12命令，根据实际供应侧打开电磁阀a或电磁阀b；气动阀门打开，气体恢复供应。在蓄电池13电量即将耗尽，电力仍然无法恢复时或者电磁阀故障时，根据实际供应侧打开通路阀门a或通路阀门b，使气动气持续供应，维持气体供应。
[0020]本技术特种气体气柜紧急供气装置，在遇到设备故障或者局部电路故障时，此装置的气体能够在最短的时间内打开气体供给管路上的气动阀门，使气体恢复正常供应，避免或者最大程度减少工艺方面的损失。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.特种气体气柜紧急供气装置，其特征在于，包括并列设置的电磁阀a(5)和电磁阀b(7)，所述电磁阀a(5)和电磁阀b(7)一端均通过管路与调压阀(2)连接，所述调压阀(2)通过管路与手阀(1)连接，所述电磁阀a(5)另一端通过管路依次与单向阀a(6)、三通阀门a(9)连接，所述电磁阀b(7)另一端通过管路依次与单向阀b(8)、三通阀门b(10)连接，所述电磁阀a(5)两端通过管路连通并在管路上设置有旁通路阀门a(4)，所述电磁阀b(7)两端通过管路连通并在管路上设置有旁通路阀门b(11)，所述电磁阀a(5...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈刚，
申请(专利权)人：陕西光电子先导院科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。