夹具及洗边装置制造方法及图纸

本申请公开了一种夹具及洗边装置，夹具包括支撑部和抵接部，支撑部支撑部具有面向待处理样品的第一表面，支撑部还具有镂空结构，镂空结构自第一表面向内延伸形成，抵接部用于与待处理样品抵接，抵接部沿第一方向延伸，抵接部与支撑部连接且位于第一表面所在的一侧，过垂直于第一方向的平面内，抵接部具有第二表面，第二表面包括相交的第一边缘线和第二边缘线，第一边缘线远离第二边缘线的一端与第一表面连接，第二边缘线远离第一边缘线的一端与第一表面连接，其中，第一边缘线的至少部分与第一表面呈夹角设置，和/或，第二边缘线的至少部分与第一表面呈夹角设置。通过该设计，能够有效提高待处理样品的洗边均匀性。效提高待处理样品的洗边均匀性。效提高待处理样品的洗边均匀性。

Fixture and edge washing device

【技术实现步骤摘要】
夹具及洗边装置


[0001]本申请涉及半导体制造
，尤其涉及一种夹具及洗边装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造过程中，经常需要进行洗边(Edge Bevel Removal，EBR)工艺，例如，通常通过向放置于旋转台上的待处理样品喷洒清洗液以清洗待处理样品上的杂质，以防止待处理样品在后续工艺中，因杂质剥离造成其他机台的污染。

技术实现思路

[0003]本申请实施例提供一种夹具及洗边装置，能够有效提高待处理样品的洗边均匀性。
[0004]第一方面，本申请实施例提供了一种夹具；夹具包括支撑部和抵接部，支撑部支撑部具有面向待处理样品的第一表面，支撑部还具有镂空结构，镂空结构自第一表面向内延伸形成，抵接部用于与待处理样品抵接，抵接部沿第一方向延伸，抵接部与支撑部连接且位于第一表面所在的一侧，过垂直于第一方向的平面内，抵接部具有第二表面，第二表面包括相交的第一边缘线和第二边缘线，第一边缘线远离第二边缘线的一端与第一表面连接，第二边缘线远离第一边缘线的一端与第一表面连接，其中，第一边缘线的至少部分与第一表面呈夹角设置，和/或本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种夹具，其特征在于，包括：支撑部，具有面向待处理样品的第一表面，所述支撑部还具有镂空结构，所述镂空结构自所述第一表面向内延伸形成；抵接部，用于与所述待处理样品抵接，所述抵接部沿第一方向延伸，所述抵接部与所述支撑部连接且位于所述第一表面所在的一侧，过垂直于所述第一方向的平面内，所述抵接部具有第二表面，所述第二表面包括相交的第一边缘线和第二边缘线，所述第一边缘线远离所述第二边缘线的一端与所述第一表面连接，所述第二边缘线远离所述第一边缘线的一端与所述第一表面连接；其中，所述第一边缘线的至少部分与所述第一表面呈夹角设置；和/或所述第二边缘线的至少部分与所述第一表面呈夹角设置。2.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述第一边缘线自靠近所述第一表面的一端至远离所述第一表面的一端，所述第一边缘线与所述第一表面之间的距离逐渐增大；和/或所述第二边缘线自靠近所述第一表面的一端至远离所述第一表面的一端，所述第二边缘线与所述第一表面之间的距离逐渐增大。3.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述第一边缘线包括至少一个第一线段，所述第一线段为直线段或弧形线段中的一种；和/或所述第二边缘线包括至少一个第二线段，所述第二线段...

【专利技术属性】
技术研发人员：张育龙，熊少游，王永平，蔡志勇，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：