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本申请公开了一种夹具及洗边装置，夹具包括支撑部和抵接部，支撑部支撑部具有面向待处理样品的第一表面，支撑部还具有镂空结构，镂空结构自第一表面向内延伸形成，抵接部用于与待处理样品抵接，抵接部沿第一方向延伸，抵接部与支撑部连接且位于第一表面所在的...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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