压电部件及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种紧凑的压电部件，可进一步地抑制其品质的下降，并提供一种用于制作该压电部件的方法。ＳＡＷ器件（２１）包括ＳＡＷ元件（１６），该ＳＡＷ元件具有形成在压电基底（１）上的ＩＤＴ（２）和连接该ＩＤＴ（２）的导电垫（３）；以及外部端子（１２）。该ＳＡＷ器件（２１）还包括绝缘层（７），该绝缘层（７）具有用做用于保护包括ＩＤＴ（２）的ＳＡＷ激励部分和导电开口（８）的激励部分保护开口（９）。外部端子（１２）通过在导电开口（８）中延伸的导线（１１）连接件连接到导电垫（３）。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于延迟线和滤波器或类似器件的诸如表面声波器件和压电薄膜滤波器的压电部件(component)及其制造方法。更具体地说，本专利技术涉及以芯片尺寸封装的。
技术介绍
近年来，尺寸小、重量轻的电子器件(device)已日益增加了对多功能电子元件的要求。在这种形势下，要求对压电部件在尺寸和重量上进行降低，该压电部件，例如是用做SAW器件的表面声波滤波器(以下称作SAW滤波器)和包括压电薄膜谐振器的压电滤波器，用于诸如便携式电话之类的通信装置。压电滤波器包括设置成阶梯子形图案(ladder)或者格子形图案的压电谐振器。每一谐振器包括具有开口或凹部的Si基底，以及通过利用至少一对彼此相对的上下电极将具有形成在开口或者凹部的至少一层压电薄膜(包括ZnO或者AlN)的薄膜部的上下表面夹在中间而形成的振动部分。可供选择地，Si基底可以不包括开口或者凹部，而且可在下部电极和Si基底之间设置空间。在这种类型的压电滤波器中，使用在振动部分产生的厚度式纵向振动。因此，必须确保用于振动的空间，而且必须保护振动部分免于水和灰尘。另一方面，通过设置叉指式变换器(以下简称为IDT)形成SAW滤本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电部件，包括压电元件，该压电元件包括形成在基底上的、至少一个振动部分和连接到该振动部分的元件布线；以及外部端子，该压电部件包括；绝缘层，该绝缘层包括用做用于保护振动部分的空间的开口和导电开口，其中外部端子通过形成在导电 开口中的外部端子连接件连接到元件布线。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：越户义弘，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]