【技术实现步骤摘要】
一种用于测试装置的密封装置、透明罩和底座装置
[0001]本技术涉及测试领域，特别涉及一种用于测试装置的密封装置，相应的透明罩和底座装置
技术介绍
[0002]传统的玻璃钟罩密封结构中，钟罩密封为带翻边法兰的结构，法兰需要经过烧制、定型和磨口等加工工序，因为成品率低，需要加工多个工件进行筛选。密封材料为O型密封圈，对钟罩的法兰尺寸、平面度和法兰的定位都要求比较苛刻，定位不准确，钟罩和密封圈的接触面积小，在实际应用中需要反复找正钟罩和密封圈的相对位置，密封性较差，很难在超高真空环境中使用。常规的测试只能输入低电压进行测试，由于空间有限，无法解决高压输入时放电问题。
[0003]新型超高真空用玻璃钟罩密封结构的玻璃钟罩结构为直边结构，不需要法兰边，节省了繁琐的烧制、定型和磨口等法兰加工工序。密封圈为异形结构，外圈带定位结构，和钟罩接触后受力面积增大，密封可靠。钟罩装配时可迅速定位，一次性装配成功，安装效率提高。密封圈为氟橡胶材料，异形橡胶圈弹性好，变形量大，可以弥补钟罩下沿平面度误差，另外氟橡胶放气量小，可耐烘烤，适用于
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于测试装置的密封装置，包括同时与透明罩和底座装置相接触的水平的第一部分，其特征在于，还包括同时接触所述透明罩和所述底座装置的起到定位作用的竖直第二部分。2.根据权利要求1所述的用于测试装置的密封装置，其特征在于，所述第一部分和第二部分分别为平面部分并且做成一体。3.根据权利要求2所述的用于测试装置的密封装置，其特征在于所述第一部分包括接触所述透明罩的上面和接触所述底座装置的底面，所述第二部分包括接触所述透明罩的内面和接触所底座装置的外面。4.根据权利要求3所述的用于测试装置的密封装置，其特征在于，所述第一部分和第二部分共同形成L型。5.一种用于测试装置的透明罩，其特征在于，包括与权利要求1
‑
4中任一项所述的密封装置接触的水平末端...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢少波，姚铮，宋艳鹏，韩永超，
申请(专利权)人：北京真空电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。