设置于热源与热敏感精密部件之间的热屏蔽装置制造方法及图纸

一种设置于热源与热敏感精密部件之间的热屏蔽装置，包括靠近所述热源的底座，其特征在于，所述底座在其中央设有包含有多个与所述底座所在平面成非直角的翅片的热屏蔽组件以便阻挡热辐射朝下传导。便阻挡热辐射朝下传导。便阻挡热辐射朝下传导。

【技术实现步骤摘要】
设置于热源与热敏感精密部件之间的热屏蔽装置


[0001]本专利技术涉及真空热处理领域，尤其涉及一种设置于热源与热敏感精密部件之间的热屏蔽装置。

技术介绍

[0002]钟罩式高温真空炉的底座部分除了需要支撑上部炉体、筒体热屏外，还需要支撑底部热屏蔽装置。钟罩式高温真空炉(～1600℃)的真空系统一般设置在所述底部上，需要配置电气动阀门和分子泵等精密机械系统，辐射热在经过所述底部热屏蔽层后仍然存在很高的温度(超高200℃)，正常工作时阀门为打开状态，而分子泵叶片等暴露在所述高温下，转子与静子叶片之间的空隙非常的小，在长时间高温辐射下，很容易造成铝合金叶片变形，分子泵属于一种精密高速旋转机械，一旦损坏就会造成工艺线生产停止，维修时间长，分子泵更换新配件也造价不菲，进口配件就更加昂贵。传统定制的冷阱结构需要专用的接口，占用很大的空间，且不适用于超高真空。
[0003]因此有必要在上述热源(钟罩式高温真空炉)和热敏感精密部件，如电气动阀门、分子泵等之间设置隔热装置，以便最大限度的保护所述热敏感精密部件。

技术实现思路
<br/>[0004]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种设置于热源与热敏感精密部件之间的热屏蔽装置，包括靠近所述热源的底座，其特征在于，所述底座在其中央设有包含有多个与所述底座所在平面成非直角的翅片的热屏蔽组件以便阻挡热辐射朝下传导。2.根据权利要求1所述的设置于热源与热敏感精密部件之间的热屏蔽装置，其特征在于，所述底座在其外周设有环形的循环第一冷却水道。3.根据权利要求1所述的设置于热源与热敏感精密部件之间的热屏蔽装置，其特征在于，还包括与所述热敏感精密部件相连的管道。4.根据权利要求1所述的设置于热源与热敏感精密部件之间的热屏蔽装置，其特征在于，所述热屏蔽组件还包括固定所述翅片的连接板以及与所述连接板相连的循环第二冷却水道。5.根据权利要求4所述的设置于热源与热敏感精密部件之间的热屏蔽装置，其特征在于，所述第二冷却水道由水管组成U形，包括第二进水口和第二出水口。6.根据权利要求5所述的设置于热源与热敏感精密部件之间的热屏蔽装置，其特征在于，所述底座在其外周设有环形的循环第...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢少波，张吉峰，唐榕，
申请(专利权)人：北京真空电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：