【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微振子，其特征在于，在基板上形成具有与下部电极对置而进行静电驱动的梁的振子元件，与上述梁连接的直流偏置供电线的线宽以比上述梁的宽度窄的宽度形成。
【技术特征摘要】
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