压电振子及其制造方法技术

压电振子及其制造方法，目的在于防止设在盖（１００）上的窗部件破损。凸缘（１０６）具有与框壁部（６４）的上表面接合的接合部，主体部（１０４）在厚度方向上从凸缘（１０６）向底部（６２）的方向突出，位于框壁部（６４）内侧且与框壁部（６４）隔开间隔。贯通孔（１０２）位于从主体（１０４）的中心向接近主体（１０４）的第１端部（１１６）的第１方向（Ｄ１）偏移的位置。凸缘（１０６）接合在框壁部（６４）上，使主体（１０４）的贯通孔（１０２）所接近的第１端部（１１６）和最接近第１端部（１１６）的凸缘（１０６）的接合部（１２０）间的间隔比主体（１０４）的与第１方向（Ｄ１）相反的第２方向（Ｄ２）的第２端部（１１８）和最接近第２端部（１１８）的凸缘（１０６）的接合部（１２２）间的间隔大。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。技术背景公知有将压电振动片固定在封装内并用盖进行密封的技术，且公知 有使用设有窗部件的盖，以在密封后可以光学识别内部的技术(专利文 献l)。在利用金属形成盖，利用玻璃形成窗部件的情况下，当盖变形时， 容易使窗部件破损。窗部件的破损不仅在将盖接合在封装上时的工序中 可能发生，在将盖接合在封装上之后也会发生。专利文献l:日本特开2005-191314号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于防止设置在盖上的窗部件的破损。(1)本专利技术的压电振子具有压电振动片，其具有基部和从所述基部延伸的振动臂；封装，其包含固定有所述压电振动片的底部和包围所 述底部的框壁部，且在所述底部的上方具有开口；以及盖，其堵住所述 封装的所述开口，所述盖具有形成有贯通孔的主体、包围所述主体的周围且形成为比所述主体薄的凸缘、和位于所述贯通孔中的光透射性部 件，所述凸缘具有与所述框壁部的上端面接合的接合部，所述主体在厚 度方向上从所述凸缘向所述底部的方向突出，所述贯通孔位于从所述主 体的中心向接近该主体的第1端部的第1方向偏移的位置，所述凸缘被 接合在所述框壁部上，以使所述第1端部和最接近所述第1端部的所述凸缘的所述接合部之间的间隔，比所述主体的与所述第1方向相反的第2 方向的第2端部和最接近所述第2端部的所述凸缘的所述接合部之间的 间隔大。根据本专利技术，盖的主体的接近光透射性部件的端部离开凸缘接合在框壁部上的部分，所以能够利用该部分吸收应力，抑制光透射性部 件的破损。(2) 在该压电振子中，可以是，所述凸缘的所述第l方向的宽度比 所述第2方向的宽度大。(3) 在该压电振子中，可以是，所述盖具有所述凸缘的朝向所述 封装的凸缘面、所述主体的朝向所述封装的主体面、和连接所述凸缘面 和所述主体面的连接面，所述连接面包含凹曲面。(4) 在该压电振子中，可以是，所述连接面包含与所述主体面的 周缘连接的第1连接部分、与所述凸缘面连接的第2连接部分、以及所 述第1连接部分和第2连接部分之间的中间部分，且至少所述中间部分 是所述凹曲面，所述连接面的至少一部分与所述框壁部接触。(5) 在该压电振子中，可以是，所述第1连接部分与所述主体面垂直连接。(6) 在该压电振子中，可以是，所述中间部分与所述框壁部接触。(7) 在该压电振子中，可以是，所述中间部分从所述主体面的周缘开始变细，所述第1连接部分与所述框壁部接触，在所述中间部分和所 述框壁部之间存在空间。(8) 本专利技术的压电振子的制造方法包含以下工序准备封装的工序，所述封装包含底部和包围所述底部的框壁部，且在所述底部的上方具有开口；将压电振动片固定在所述底部上的工序，所述压电振动片具有基 部和从所述基部延伸的振动臂；准备盖的工序，所述盖具有形成有贯通孔的主体、位于所述贯通孔中的光透射性部件、和包围所述主体的周围且形成为比所述主体薄的凸缘，所述主体从所述凸缘向厚度方向突出； 将所述主体的从所述凸缘突出的部分配置在所述框壁部的内侧并与所述 框壁部隔开间隔，使所述凸缘与所述框壁部重叠，来配置所述盖以堵住 所述封装的所述开口的工序；以及通过局部加热将所述凸缘接合在所述 框壁部的上端面上的工序，所述贯通孔位于从所述主体的中心向接近该 主体的第1端部的第1方向偏移的位置，在配置所述盖的工序中，配置 所述盖，以使所述第1端部和所述凸缘与最接近所述第1端部的所述框壁部的重叠部分之间的间隔，比所述主体的与所述第1方向相反的第2 方向的第2端部和重叠部分之间的间隔大，该重叠部分指所述凸缘与最 接近所述第2端部的所述框壁部的重叠部分。根据本专利技术，盖的主体的 接近光透射性部件的端部离开凸缘接合在框壁部上的部分，所以能够利 用该部分吸收应力，抑制光透射性部件的破损。(9) 在该压电振子的制造方法中，可以是，所述盖具有所述凸缘 的朝向所述封装的凸缘面、所述主体的朝向所述封装的主体面、和连接 所述凸缘面和所述主体面的连接面，在配置所述盖的工序中，使所述连 接面的至少一部分与所述框壁部接触。(10) 在该压电振子的制造方法中，可以是，所述连接面包含与 所述主体面的周缘连接的第1连接部分、与所述凸缘面连接的第2连接 部分、和所述第1连接部分和第2连接部分之间的中间部分，所述中间 部分从所述主体面的所述周缘开始变细，在配置所述盖的工序中，使所 述第1连接部分与所述框壁部接触，在所述中间部分和所述框壁部之间 形成空间。(11) 在该压电振子的制造方法中，可以是，在配置所述盖的工序中，使所述盖倾斜，将所述主体的所述第2方向的所述第2端部配置在所述框壁部的内侧后，将所述第1端部配置在所述框壁部的内侧。 附图说明图1是示出本专利技术的实施方式的压电振子中所使用的压电振动片 (音叉型压电振动片)的俯视图。图2是图i所示的压电振动片的n-n线的剖面放大图。图3是示出本专利技术的实施方式的压电振子的俯视图。图4是图3所示的压电振子的仰视图。图5是图3所示的压电振子的V-V线的剖面图。图6是图5所示的压电振子的局部放大图。图7是示出本实施方式的第1变形例的压电振子的图。图8是示出本实施方式的第2变形例的盖的图。图9是示出本实施方式的第3变形例的压电振子的图。 图IO是说明本专利技术的实施方式的压电振子的制造方法的图。 图11是说明本专利技术的实施方式的第4变形例的压电振子的制造方法 的图。具体实施方式 (压电振动片(组装到压电振子之前))图1是示出本专利技术的实施方式的压电振子中所使用的压电振动片 (音叉型压电振动片)的俯视图。另外，压电振动片IO的仰视图与俯视 图对称地表示。压电振动片10由石英、钜酸锂、铌酸锂等压电材料构成。 压电振动片10包含基部12和从基部12延伸的一对振动臂14。图2是图1所示的压电振动片10的II-II线的剖面放大图。振动臂 14具有彼此朝向相反方向的表背面16、和在两侧连接表背面16的第1 和第2侧面20、 22。一方(图1中为左侧)的振动臂14的第1侧面20和另一方(图1 中为右侧)振动臂14的第2侧面22相向地进行排列。第1侧面20形成 为，由表背面16的间隔所定义的振动臂14的厚度的中央方向变高的山 型(参照图2)。第1侧面20描绘的山型的高度大于由第1和第2侧面 20、 22的间隔所定义的振动臂14的宽度的0%，且小于等于该宽度的 12.5%。在与基部12连接的根本部24中，振动臂14的宽度随着靠近基部 12侧而变宽，利用较宽的宽度与基部12连接，所以刚性提高。振动臂 14包含第1锥形部26，该第1锥形部26的由第1和第2侧面20、 22的 间隔所定义的宽度从基部12开始随着靠近前端而变细。通过形成第1锥 形部26，振动臂14容易振动。振动臂14在比第1锥形部26更接近前端 的位置，包含第2锥形部28，该第2锥形部28的宽度从第1锥形部26 开始随着靠近前端而变粗。第2锥形部28发挥锤的功能，所以能够降低 振动频率。振动臂14形成为，连接第1、第2锥形部26、 28的宽度变更 点位于比长槽30更接近前端的位置处。在振动臂14上，在表背面16上分别形成有沿长度方向延伸的长槽30。通过长槽30使振动臂14容易且有效地振动，所以，能够降低CI值。 长槽30具有振动臂14的长度的50 70%的长度。并且，长槽30具有振 动臂14本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电振子，该压电振子具有：　压电振动片，其具有基部和从所述基部延伸的振动臂；　封装，其包含固定有所述压电振动片的底部和包围所述底部的框壁部，且在所述底部的上方具有开口；以及　盖，其堵住所述封装的所述开口，　所述盖具有：形成有贯通孔的主体、包围所述主体的周围且形成为比所述主体薄的凸缘、和位于所述贯通孔中的光透射性部件，所述凸缘具有与所述框壁部的上端面接合的接合部，所述主体在厚度方向上从所述凸缘向所述底部的方向突出，　所述贯通孔位于从所述主体的中心向接近该主体的第１端部的第１方向偏移的位置，　所述凸缘被接合在所述框壁部上，以使所述第１端部和最接近所述第１端部的所述凸缘的所述接合部之间的间隔，比所述主体的与所述第１方向相反的第２方向的第２端部和最接近所述第２端部的所述凸缘的所述接合部之间的间隔大。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：原明稔，石川贺津雄，利根川幸弘，
申请(专利权)人：爱普生拓优科梦株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]