【技术实现步骤摘要】
具有全嵌入式精密线路的封装载板及其加工工艺
[0001]本申请涉及封装载板,具体涉及一种具有全嵌入式精密线路的封装载板及其加工工艺。
技术介绍
[0002]随着信息时代的不断更新迭代,对各类芯片的功能要求越来越高,如高速运算、高存储、高精度、高稳定性等等,相应地,对封装基板的要求也越来越高,如高密度布线、薄板、高平整度等等;现有技术中,不管是掩蔽法(Tenting)工艺还是改进的半加成法(mSAP)工艺,主流工艺还是铜面高于绝缘介质,再通过表层油墨涂覆,将导体之间及导体表面进行定向绝缘,部分对载板有平整度需求的产品会通过油墨整平工艺,对油墨进行压平,满足产品平整度需求,但得到的载板厚度以及线路的线宽及间距无法满足需求。
[0003]因此出现了另外一种工艺为单面埋线工艺,现阶端主要应用于RF射频领域,产品主要特征是单面布线密集,另外一面为常规设计,无需内嵌以对图形进行特殊保护;但随着技术的不断发展,载板的布线设计会越来越复杂并且呈现集成的趋势,双面精密线路设计配置产品需求越来越大,因此急需开发一种双面精密线路制作的工艺。
[0004]申请内容
[0005]为了克服上述缺陷,本申请提供一种基于具有全嵌入式精密线路的封装载板的加工工艺,该加工工艺满足了双面精密线路制作,提高其可靠性,同时提升载板的表面平整度,有利于封装工艺及成品性能的提升。
[0006]本申请为了解决其技术问题所采用的技术方案是:
[0007]一种具有全嵌入式精密线路的封装载板的加工工艺,包括如下步骤:
[0 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有全嵌入式精密线路的封装载板的加工工艺,其特征在于:包括如下步骤:步骤1:准备基板(10):准备一张具有载体层(11)和铜箔层(12)的基板;步骤2:第一埋线层(13)的制作:在铜箔层(12)上采用图像电镀的方式制作内嵌的第一埋线层(13);步骤3:填充绝缘介质:在第一埋线层(13)上填充绝缘介质而形成第一绝缘介质层(14);步骤4:第二埋线层(21)的制作:
①
导通孔加工:在第一绝缘介质层(14)内加工导通孔;
②
种子层制作:在第一绝缘介质层(14)及导通孔的表面制作种子层;
③
图形线路的制作:在种子层上制作第二埋线层(21);步骤5:重复步骤3和4,直至形成n
‑
1层板,其中n≥3,且n为自然数;步骤6:第n埋线层(25)的制作:
①
绝缘层制作:在第n
‑
1埋线层上填充绝缘介质而形成第n
‑
1绝缘介质层(22);
②
图形预留区域制作:通过UV冷光加工工艺,在第n
‑
1绝缘介质层(22)上进行半刻,刻出最终需要制作预设深度的图形形状区域(23);
③
导通孔加工:通过UV冷光加工工艺,在第n
‑
1绝缘介质层(22)内导通孔的设计位置进行加工,形成导通孔,导通孔连通至第n
‑
1埋线层上;
④
种子层制作:在第n
‑
1绝缘介质层、图形形状区域及导通孔的表面制作种子层,用于整板的导通;
⑤
制作感光图形:将
④
中种子层进行感光形成感光层(24),并将需要电镀的图形形状区域及导通孔裸露出来;
⑥
图形电镀:将板件进行电镀铜,在导通孔内填铜并在裸露的图形形状区域上形成第n埋线层(25);
⑦
退膜:将剩余的感光层退除;
⑧
抛光:将退膜后的板件进行研磨抛光处理,以去除表面轻微的凸起;
⑨
去除载体层(11);
⑩
闪蚀:将铜箔层(12)蚀刻掉,露出铜箔层上的第一埋线层(13),从而完成两面内嵌精密线路的多层板的制作。2.根据权利要求1所述的具有全嵌入式精密线路的封装载板的加工工艺,其特征在于:在步骤1中,在基板(10)工作区域的四周将载体层(11)和铜箔层(12)打通。3.根据权利要求2所述的具有全嵌入式精密线路的封装载板的加工工艺,其特征在于:在基板(10)工作区域的四周进行钻孔处理,形成连通载体层(11)和铜箔层(12)的若干通孔,当压合第一绝缘介质层(14)时,绝缘介质流入通孔内,从侧壁将铜箔层(12)与载体层(11)结合在一起。4.根据权利要求2所述的具有全嵌入式精密线路的封...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘臻祎,马洪伟,沈飞,宗芯如,
申请(专利权)人:江苏普诺威电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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