用于处理基板的设备和方法技术

本发明专利技术构思提供了一种基板处理设备。在实施例中，基板处理设备包括：液体处理室，用于在其中对基板进行液体处理；干燥室，用于对经液体处理的基板进行干燥处理；转移装置，用于在所述液体处理室与所述干燥室之间转移所述基板；以及控制器，用于控制所述液体处理室和所述转移装置，其中所述转移装置包括：转移机器人，其具有用于将所述基板放置在其上的手；以及加热构件，用于加热所述基板，并且其中所述控制器控制所述转移装置，使得在所述转移装置将从所述液体处理室取出的所述基板转移到所述干燥室之前，所述转移装置的所述加热构件将所述基板上的液体加热到第一温度。所述基板上的液体加热到第一温度。所述基板上的液体加热到第一温度。

【技术实现步骤摘要】
用于处理基板的设备和方法


[0001]本文描述的本专利技术构思的实施例涉及流体供应单元和基板处理设备，更具体地，涉及供应超临界流体的流体供应单元和具有所述流体供应单元的基板处理设备。

技术介绍

[0002]一般地，半导体装置由诸如圆晶的基板制造成。具体地，通过执行诸如沉积、光刻、清洁、干燥和蚀刻等过程在基板的上表面上形成精细电路图案来制造半导体装置。由于在执行上述过程时各种异物附着到其上形成有电路图案的基板的顶表面，因此在过程之间执行去除基板上的异物的清洁过程。
[0003]一般地，清洁过程包括通过向基板供应化学物来从基板去除异物的化学处理、通过向基板供应纯净水来从基板去除残留的化学物的冲洗处理、以及从基板去除残留的纯净水的干燥处理。
[0004]使用超临界流体来干燥基板。例如，用有机溶剂取代基板上的纯净水，并且向高压室中的基板的顶表面供应超临界流体，以溶解并去除基板上残留的有机溶剂。如果将异丙醇(IPA)用作有机溶剂，则将二氧化碳(CO2)用作超临界流体，因为它具有相对低的临界温度和临界压力并且很好地溶解IPA。
[0005]使用超临界流体对基板的处理如下。当将基板放入高压室中时，将超临界二氧化碳供应到高压室中以对高压室的内部进行加压，并且然后在重复地供应超临界流体并对高压室进行排气时用超临界流体处理基板。在处理基板之后，对高压室进行排气并且减压。
[0006]需要在高温下使用IPA以增加二氧化碳和IPA之间的反应性。然而，如果在将IPA供应到基板上时提供高温度的IPA，则存在IPA可能在供应期间蒸发并在基板上留下污渍的问题。

技术实现思路

[0007]本专利技术构思的目的是提供在使用超临界流体处理基板时能够容易地更换在其中使用超临界流体处理基板的处理室中的气氛的基板处理设备和基板处理方法。
[0008]本专利技术构思的目的不限于此，并且本领域技术人员根据以下陈述将清楚地理解未提及的其他目的。
[0009]本专利技术构思的实施例提供了一种基板处理设备。在实施例中，所述设备包括：液体处理室，用于在其中对基板进行液体处理；干燥室，用于对经液体处理的基板进行干燥处理；转移装置，用于在所述液体处理室与所述干燥室之间转移所述基板；以及控制器，用于控制所述液体处理室和所述转移装置，其中所述转移装置包括：转移机器人，其具有用于将所述基板放置在其上的手；以及加热构件，用于加热所述基板，并且其中所述控制器控制所述转移装置，使得在所述转移装置将从所述液体处理室取出的所述基板转移到所述干燥室之前，所述转移装置的所述加热构件将所述基板上的液体加热到第一温度。
[0010]在实施例中，所述加热构件是设置在所述手处的加热器。
[0011]在实施例中，所述加热构件设置为在所述液体处理室与所述干燥室之间的加热室，并且所述加热室包括：具有允许所述手进出的开口的壳体；用于在其上放置所述基板的支撑单元；以及用于向所述壳体的内部空间供应高温气体的气体供应装置。
[0012]在实施例中，所述加热构件设置为其中具有加热器并且设置在所述液体处理室与所述干燥室之间的加热板。
[0013]在实施例中，所述控制器控制所述液体处理室以便在所述液体处理室内将处于第二温度的所述液体供应到所述基板，并控制所述转移装置以使所述加热构件将所述基板上的所述液体加热到所述第一温度，所述第一温度高于所述第二温度。
[0014]在实施例中，所述第二温度是高于室温的温度。
[0015]在实施例中，所述液体是有机溶剂，并且超临界流体被供应到所述干燥室的内部。
[0016]在实施例中，所述第一温度低于所述液体的沸点。
[0017]本专利技术构思的实施例提供了一种基板处理方法。在实施例中，所述方法包括：将基板从所述液体处理室转移到干燥室，其中所述基板已经在所述液体处理室中通过将液体供应到所述基板上而进行了液体处理；以及通过将流体供应到所述干燥室中来对经液体处理的基板进行干燥处理，其中在对经液体处理的基板进行所述干燥处理之前，将所述基板上的所述液体加热到第一温度。
[0018]在实施例中，在将所述基板放入所述干燥室之前，将所述基板上的所述液体加热到所述第一温度。
[0019]在实施例中，在将所述基板基本上从所述液体处理室中取出之后且在基本上放入所述干燥室之前的时间段期间，将所述基板上的所述液体加热到所述第一温度。
[0020]在实施例中，在所述液体处理室与所述干燥室之间转移所述基板的转移装置上将所述基板上的所述液体加热到所述第一温度。
[0021]在实施例中，在设置于所述液体处理室与所述干燥室之间的加热室内，将所述基板上的所述液体加热到所述第一温度。
[0022]在实施例中，在第二温度下供应所述液体处理室内的所述液体，在将所述基板基本上从所述液体处理室中取出之后且在基本上放入所述干燥室之前的时间段期间，将所述基板上的所述液体加热到所述第一温度，并且所述第一温度高于所述第二温度。
[0023]在实施例中，所述第二温度高于室温。
[0024]在实施例中，所述第一温度低于所述液体的沸点。
[0025]在实施例中，所述液体是有机溶剂并且所述流体提供为超临界流体。
[0026]本专利技术构思的实施例提供了一种基板处理方法。在实施例中，所述方法包括：通过在液体处理室内将有机溶剂供应到所述基板上来对基板进行液体处理；在对基板进行所述液体处理之后，将所述基板转移到干燥室，以及通过向所述干燥室的内部供应超临界流体来对所述基板进行干燥处理，并且其中在将所述基板放入所述干燥室之前，将所述基板上的所述有机溶剂加热至低于所述有机溶剂的沸点。
[0027]在实施例中，在所述液体处理室与所述干燥室之间转移所述基板的转移装置上将所述基板上的所述液体加热到所述第一温度。
[0028]在实施例中，在设置于所述液体处理室与所述干燥室之间的加热室内，将所述基板上的所述液体加热到所述第一温度。
[0029]根据本专利技术构思的实施例，可以容易去除附接到所述处理室的所述粘合剂层。
[0030]另外，根据本专利技术构思的实施例，有可能防止在去除附接到所述处理室的所述粘合剂层时废物被分散。
[0031]本专利技术构思的效果不限于以上所述的效果，并且未提及的效果可以根据本说明书和附图而被本专利技术构思所属
的普通技术人员清楚地理解。
附图说明
[0032]根据以下参考附图的描述，上述和其他目的和特征将变得显而易见，其中，除非另有说明，否则相同附图标记在各个附图中是指相同部分，并且其中：
[0033]图1是示意性地示出根据本专利技术构思的实施例的基板处理设备的俯视图。
[0034]图2是示意性地示出图1的液体处理装置的视图。
[0035]图3是示意性地示出图1的超临界装置的实施例的视图。
[0036]图4是示意性地示出图1的手的实施例的视图。
[0037]图5是示意性地示出根据本专利技术构思的实施例的加热板的视图。
[0本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板处理设备，包括：液体处理室，用于在其中对基板进行液体处理；干燥室，用于对经液体处理的所述基板进行干燥处理；转移装置，用于在所述液体处理室与所述干燥室之间转移所述基板；以及控制器，用于控制所述液体处理室和所述转移装置，其中所述转移装置包括：转移机器人，其具有用于将所述基板放置在其上的手；以及加热构件，用于加热所述基板，并且其中所述控制器控制所述转移装置，使得在所述转移装置将从所述液体处理室取出的所述基板转移到所述干燥室之前，所述转移装置的所述加热构件将所述基板上的液体加热到第一温度。2.根据权利要求1所述的设备，其中所述加热构件是设置在所述手处的加热器。3.根据权利要求1所述的设备，其中所述加热构件设置为在所述液体处理室与所述干燥室之间的加热室，并且所述加热室包括：具有允许所述手进出的开口的壳体；用于在其上放置所述基板的支撑单元；以及用于向所述壳体的内部空间供应高温气体的气体供应装置。4.根据权利要求1所述的设备，其中所述加热构件设置为其中具有加热器并且设置在所述液体处理室与所述干燥室之间的加热板。5.根据权利要求1所述的设备，其中所述控制器控制所述液体处理室以便在所述液体处理室内将处于第二温度的所述液体供应到所述基板，并且控制所述转移装置以使所述加热构件将所述基板上的所述液体加热到所述第一温度，所述第一温度高于所述第二温度。6.根据权利要求5所述的设备，其中所述第二温度是高于室温的温度。7.根据权利要求1所述的设备，其中所述液体是有机溶剂，并且超临界流体被供应到所述干燥室的内部。8.根据权利要求1至7中任一项所述的设备，其中所述第一温度低于所述液体的沸点。9.一种基板处理方法，包括：将基板从液体处理室转移到干燥室，其中所述基板已经在所述液体处理室中通过将液体供应到所述基板上而进行了液体处理；以及通过将流体供应到所述干燥室中来对经液体处理的所述基板进行干燥处理，其中在对经液体处理的所述基板进行所述干燥处理之前，将所述基板上的所述液体加热到第一温度。10....

【专利技术属性】
技术研发人员：林义相，李龙熙，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：