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本发明构思提供了一种基板处理设备。在实施例中，基板处理设备包括：液体处理室，用于在其中对基板进行液体处理；干燥室，用于对经液体处理的基板进行干燥处理；转移装置，用于在所述液体处理室与所述干燥室之间转移所述基板；以及控制器，用于控制所述液体处...
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