用于图像显示对象的方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术的用于图像显示对象的方法采用第一和第二成像方法，这两种成像方法至少在位置分辨率或灵敏度方面有所不同。此外本发明专利技术的用于图像显示的方法包括至少通过第一或第二成像方法产生概貌照片的步骤；基于该概貌照片同时计划第一和第二成像方法的测量的步骤；以及同时执行所计划的第一和第二成像方法的测量的步骤。本发明专利技术还公开了一种用于实施本发明专利技术方法的装置。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于采用第一成像方法和第二成像方法图像显示对象的方法，该两种成像方法至少在位置分辨率或灵敏度方面有所不同，该方法包括以下步骤：　　　　至少通过该第一或第二成像方法产生概貌照片；　　　　基于该概貌照片同时计划该第一和第二成像方法的测量；以及　　　　同时执行所计划的第一和第二成像方法的测量。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：黛安娜马丁，赛巴斯蒂安施米特，
申请(专利权)人：西门子公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]