一种半导体晶圆点胶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体晶圆点胶装置，具体涉及晶圆点胶领域，包括工作台，所述工作台的顶部两侧对称固定连接有支撑柱，一个所述支撑柱的前侧设置有控制面板，两个所述支撑柱的相对一侧设置有支撑杆，所述支撑杆的前侧中部设置有点胶装置本体，所述工作台的顶部正中设置有存放晶圆的载料盘，所述点胶装置本体的一侧设置有胶水存放的储胶箱。本实用新型专利技术首先通过设置的压力泵可以将储水箱内部的液体通过输水管对点胶针的内腔进行冲洗，防止点胶针内部残留的胶水凝固，影响下次使用，并通过设置的加热丝与供电设备，可以对输胶管在使用时对经过的胶水进行加热，防止胶水在输送过程中冷却凝固，影响点胶的正常使用。影响点胶的正常使用。影响点胶的正常使用。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体晶圆点胶装置


[0001]本技术涉及晶圆点胶
，更具体地说，本技术涉及一种半导体晶圆点胶装置。

技术介绍

[0002]随着经济技术的飞速发展，市场对半导体需求的不断增加，晶圆是制造半导体芯片的基本材料，晶圆的点胶技术是先进电子制造业中至为重要的关键性技术，其广泛应用于芯片封装和集成电路装备中。
[0003]但是在实际使用时，现有的点胶装置大多通过点胶针进行点胶工作，当一次点胶完成后，容易导致点胶针内部残留胶水，且长时间不使用，会导致点胶针内部凝固堵塞，不便清理，影响工作效率。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的上述缺陷，本技术的实施例提供一种半导体晶圆点胶装置，通过设置的三通阀与加热丝、压力泵等结构的配合，可以对胶水进行加热，防止胶水凝固，并对点胶针的内腔进行冲洗，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体晶圆点胶装置，包括工作台，所述工作台的顶部两侧对称固定连接有支撑柱，一个所述支撑柱的前侧设置有控制面板，两个所述支撑柱的相对一侧设置有支撑杆，所述支撑杆的前侧中部设置有点胶装置本体；
[0006]所述工作台的顶部正中设置有存放晶圆的载料盘；
[0007]所述点胶装置本体的一侧设置有胶水存放的储胶箱；
[0008]所述点胶装置本体的底部设置有用于点胶的点胶针；
[0009]所述点胶装置本体的另一侧设置有用于清洗点胶针的储水箱。
[0010]在一个优选地实施方式中，所述点胶装置本体的底部固定连接有连接头，所述连接头的底端螺纹连接有点胶针，所述点胶装置本体的前侧顶部设置有显示面板。
[0011]在一个优选地实施方式中，所述点胶装置本体的两侧对称固定连接有管道收缩箱，其中一个所述收缩箱与储胶箱之间设置有输胶管，另一个所述收缩箱与储水箱之间设置有输水管，所述输胶管的中部套设有加热丝，所述加热丝的一侧与供电设备相连接，所述输胶管远离管道收缩箱的一端与连接头的内腔中部的管道相连通，所述输水管的中部设置有三通阀，所述输水管远离管道收缩箱的一端与连接头内腔中部的管道相连通，所述输水管远离管道收缩箱的一端设置有压力泵。
[0012]在一个优选地实施方式中，所述三通阀的中部设置有阀芯，所述三通阀的前端设置有开关，所述三通阀的一端固定连接有通气孔，所述阀芯的截面形状设置为弯月状，所述通气孔远离三通阀的一端设置有防尘网。
[0013]本技术的技术效果和优点：
[0014]1、本技术首先通过设置的压力泵可以将储水箱内部的液体通过输水管对点胶针的内腔进行冲洗，防止点胶针内部残留的胶水凝固，影响下次使用，并通过设置的加热丝与供电设备，可以对输胶管在使用时对经过的胶水进行加热，防止胶水在输送过程中冷却凝固，影响点胶的正常使用，并通过设置连接头和点胶针螺纹连接，方便对点胶针进行更换和安装，并通过设置的显示面板，可以控制压力泵与供电设备启动，方便使用；
[0015]本技术还通过转动开关使管道收缩箱内部的输水管与压力泵连接的输水管错开，并使与压力泵相连通的输水管可以与通气孔相连通，进而对三通阀远离管道收缩箱一侧的输水管进行清空，防止输水管内部的水影响输胶管内部的胶水质量，起到防护的作用，并通过在通气孔远离三通阀的一侧设置有防尘网，防止空气中的灰尘进入输水管中，影响输水管的正常使用；
[0016]综上，通过上述多个作用的相互影响，可以对胶水进行加热，防止胶水凝固，并对点胶针的内腔进行冲洗，防止点胶针内部残留的胶水凝固，影响下次使用，并对局部输水管的内腔进行清空，防止输水管内部的水影响输胶管内部的胶水质量。
附图说明
[0017]图1为本技术的整体结构示意图。
[0018]图2为本技术的剖面结构示意图。
[0019]图3为本技术图2中A处的局部放大结构示意图。
[0020]图4为本技术点胶装置本体的结构示意图。
[0021]附图标记为：1、工作台；2、支撑柱；3、控制面板；4、支撑杆；5、点胶装置本体；6、载料盘；7、点胶针；8、储胶箱；9、储水箱；10、连接头；11、管道收缩箱；12、显示面板；13、加热丝；14、供电设备；15、三通阀；16、阀芯；17、开关；18、通气孔；19、压力泵；20、输水管；21、输胶管。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]如附图1
‑
4所示的一种半导体晶圆点胶装置，包括工作台1，工作台1的顶部两侧对称固定连接有支撑柱2，一个支撑柱2的前侧设置有控制面板3，两个支撑柱2的相对一侧设置有支撑杆4，支撑杆4的前侧中部设置有点胶装置本体5；
[0024]工作台1的顶部正中设置有存放晶圆的载料盘6；
[0025]点胶装置本体5的一侧设置有胶水存放的储胶箱8；
[0026]点胶装置本体5的底部设置有用于点胶的点胶针7；
[0027]点胶装置本体5的另一侧设置有用于清洗点胶针7的储水箱9。
[0028]如附图2和3所示，点胶装置本体5的底部固定连接有连接头10，连接头10的底端螺纹连接有点胶针7，点胶装置本体5的前侧顶部设置有显示面板12，以便于通过设置连接头10和点胶针7螺纹连接，方便对点胶针7进行更换和安装，并通过设置的显示面板12，可以控
制压力泵19与供电设备14启动，方便使用。
[0029]如附图1
‑
4所示，点胶装置本体5的两侧对称固定连接有管道收缩箱11，其中一个所述收缩箱11与储胶箱8之间设置有输胶管21，另一个所述收缩箱11与储水箱9之间设置有输水管20，输胶管21的中部套设有加热丝13，加热丝13的一侧与供电设备14相连接，输胶管21远离管道收缩箱11的一端与连接头10的内腔中部的管道相连通，输水管20的中部设置有三通阀15，输水管20远离管道收缩箱11的一端与连接头10内腔中部的管道相连通，输水管20远离管道收缩箱11的一端设置有压力泵19，以便于通过设置的压力泵19可以将储水箱9内部的液体通过输水管20对点胶针7的内腔进行冲洗，防止点胶针7内部残留的胶水凝固，影响下次使用，并通过设置的加热丝13与供电设备14，可以对输胶管21在使用时对经过的胶水进行加热，防止胶水在输送过程中冷却凝固，影响点胶的正常使用。
[0030]如附图3和4所示，三通阀15的中部设置有阀芯16，三通阀15的前端设置有开关17，三通阀15的一端固定连接有通气孔18，阀芯16的截面形状设置为弯月状，通气孔18远离三通阀15的一端设置有防尘网，以便于通过转动开关17使管道收缩箱11内部的输本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体晶圆点胶装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部两侧对称固定连接有支撑柱(2)，一个所述支撑柱(2)的前侧设置有控制面板(3)，两个所述支撑柱(2)的相对一侧设置有支撑杆(4)，所述支撑杆(4)的前侧中部设置有点胶装置本体(5)；所述工作台(1)的顶部正中设置有存放晶圆的载料盘(6)；所述点胶装置本体(5)的一侧设置有胶水存放的储胶箱(8)；所述点胶装置本体(5)的底部设置有用于点胶的点胶针(7)；所述点胶装置本体(5)的另一侧设置有用于清洗点胶针(7)的储水箱(9)。2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆点胶装置，其特征在于：所述点胶装置本体(5)的底部固定连接有连接头(10)，所述连接头(10)的底端螺纹连接有点胶针(7)，所述点胶装置本体(5)的前侧顶部设置有显示面板(12)。3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆点胶装置，其特征在于：所述点胶装置本体(5)的两侧对称固定连接有管道收缩箱(11)，其中一个所述收缩箱(11)与储胶箱(8)之间设置在输胶管(21)，另一个所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆金发，
申请(专利权)人：江西安芯美科技有限公司，
类型：新型
国别省市：