一种用于腐蚀机的三维移动机构制造技术

一种用于腐蚀机的三维移动机构，包括横向直线滚珠导轨、Z轴安装横板、无杆气缸、Z轴立板、竖向直线滚珠导轨和竖向滚珠丝杠以及升降横板；升降横板上设置有轴承座和步进电机，轴承座上固定设置有运动立柱，运动立柱一端固定设置有同步轮，同步轮通过同步带与步进电机的输出轴固定传动连接，运动立柱远离同步轮的一端穿过升降横板和Z轴安装横板并往下延伸有提篮组件，提篮组件包括提篮固定板、设置在提篮固定板上的提篮以及套设在运动立柱上的提篮下压爪，从而将用于放置晶片的提篮在腐蚀槽和清洗槽上进行左右、上下、旋转三个维度的运动，进而更好腐蚀和清洗晶片，同时避免了人工操作，实现自动化的操作。实现自动化的操作。实现自动化的操作。

【技术实现步骤摘要】
一种用于腐蚀机的三维移动机构


[0001]本技术属于晶片加工设备
，具体涉及一种用于腐蚀机的三维移动机构。

技术介绍

[0002]石英晶片的厚度处理，一般有研磨和腐蚀两种方式。一般来说，腐蚀是最终的厚度(也就是频率)的处理过程。
[0003]石英晶片的化学成分为二氧化硅，能对其有腐蚀作用的一般是氢氟酸或氟化氢铵溶液，我们称之为腐蚀液。
[0004]现有的晶片腐蚀一般有两个槽：一个为腐蚀槽，盛放氟化氢铵腐蚀液，用于晶片腐蚀；另一个为清洗槽，盛放清水，晶片腐蚀完成后，把晶片放入清水中，终止腐蚀。根据现有的技术，将晶片放入腐蚀槽和清洗槽中进行腐蚀和清洗都是人工操作。具体的，人工根据腐蚀液的腐蚀速率和各杯的频率间隔，计算相邻两杯的倒入间隔时间，并按固定时间间隔逐一把各杯晶片倒入腐蚀液中；这样导致人工操作耗时耗力，且不方便，同时还存在腐蚀的危险，此外，由于人工的操作，不是很好的控制腐蚀时间，从而造成晶片的损坏等。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题是，提供一种用于腐蚀机的三维移动机构。
[0006本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于腐蚀机的三维移动机构，其特征在于：包括横向直线滚珠导轨(101)、设置在横向直线滚珠导轨(101)上Z轴安装横板(102)、带动Z轴安装横板(102)做直线移动的无杆气缸(112)、设置在Z轴安装横板(102)上Z轴立板(103)、设置在Z轴立板(103)上的竖向直线滚珠导轨(104)和竖向滚珠丝杠(105)以及设置在竖向直线滚珠导轨(104)和竖向滚珠丝杠(105)上的升降横板(106)。2.根据权利要求1所述的一种用于腐蚀机的三维移动机构，其特征在于：所述升降横板(106)上设置有轴承座(107)和步进电机(108)，其中，所述轴承座(107)上固定设置有运动立柱(109)，所述运动立柱(109)一端固定设置有同步轮(110)，所述同步轮(110)通过同步带(111)与所述步进电机(108)的输出轴固定传动连接。3.根据权利要求2所述的一种用于腐蚀机的三维移动机构，其特征在于：所述运动立柱(109)远离所述同步轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘胜男，戴冕，
申请(专利权)人：湖南科鑫泰电子有限公司，
类型：新型
国别省市：