一种用于腐蚀机的自动抓取机构制造技术

技术编号:33884033 阅读:36 留言:0更新日期:2022-06-22 17:16
一种用于腐蚀机的自动抓取机构,其特征在于:包括横向移动导轨、纵向移动导轨、抓取组件、托盘,其中,所述抓取组件设置在所述横向移动导轨上并能够在所述横向移动导轨上横向移动,所述托盘设置在所述纵向移动导轨上并能够在所述纵向移动导轨上纵向移动;从而通过横向移动导轨和纵向移动导轨能够带动抓取机构对托盘上装有晶片的杯子进行自动抓取,从而节省了人力消耗;同时使得倒杯时间准确,避免人工倒杯时间错误风险。倒杯时间错误风险。倒杯时间错误风险。

【技术实现步骤摘要】
一种用于腐蚀机的自动抓取机构


[0001]本技术属于晶片加工设备
,具体涉及一种用于腐蚀机的自动抓取机构。

技术介绍

[0002]石英晶片加工过程中,为了保证最终频率集中度,会首先按频率分杯(分类),再把各杯按固定的时间间隔,频率由低到高先后倒入腐蚀液中,使每杯晶片上升至大致相同频率,达到客户要求的频率和散差。
[0003]把各杯晶片按固定间隔倒入腐蚀机的过程,我们称之为倒杯作业。根据现有的技术,倒杯腐蚀都是人工操作。具体的,人工根据腐蚀液的腐蚀速率和各杯的频率间隔,计算相邻两杯的倒入间隔时间,并按固定时间间隔逐一把各杯晶片倒入腐蚀液中。从而人工操作耗时耗力,同时将晶片倒入腐蚀液中,还存在危险。此外,人工还存在时间错误,从而导致频率集中度降低。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是,提供一种用于腐蚀机的自动抓取机构。
[0005]为了解决这一技术问题,本技术采用以下技术方案:
[0006]一种用于腐蚀机的自动抓取机构,其特征在于:包括横向移动导轨、纵向移动导轨、抓取组件、托盘,其中,所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于腐蚀机的自动抓取机构,其特征在于:包括横向移动导轨(231)、纵向移动导轨(232)、抓取组件、托盘(233),其中,所述抓取组件设置在所述横向移动导轨(231)上并能够在所述横向移动导轨(231)上横向移动,所述托盘(233)设置在所述纵向移动导轨(232)上并能够在所述纵向移动导轨(232)上纵向移动。2.根据权利要求1所述的一种用于腐蚀机的自动抓取机构,其特征在于:所述托盘(233)上开设有若干个用于放置杯子的凹槽。3.根据权利要求2所述的一种用于腐蚀机的自动抓取机构,其特征在于:所述抓取组件包括;滑动件(234)、升降气缸(235)、固定板(236)、旋转气缸(237),其中,所述滑动件(234)与所述横向移动导轨(231)滑动连接,所述升降气缸(235)输出端与所述滑动件(234)固定连接,所述固定板(236)与所述升降气缸(235)固定连接,所述旋转气缸(237)固定设置在所述固定板(236)上。4.根据权利要求3所述的一种用于腐蚀机的自动抓取机构,其特征在于:所述旋转气缸(237)的输出端固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘胜男戴冕
申请(专利权)人:湖南科鑫泰电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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