【技术实现步骤摘要】
一种用于腐蚀机的自动抓取机构
[0001]本技术属于晶片加工设备
,具体涉及一种用于腐蚀机的自动抓取机构。
技术介绍
[0002]石英晶片加工过程中,为了保证最终频率集中度,会首先按频率分杯(分类),再把各杯按固定的时间间隔,频率由低到高先后倒入腐蚀液中,使每杯晶片上升至大致相同频率,达到客户要求的频率和散差。
[0003]把各杯晶片按固定间隔倒入腐蚀机的过程,我们称之为倒杯作业。根据现有的技术,倒杯腐蚀都是人工操作。具体的,人工根据腐蚀液的腐蚀速率和各杯的频率间隔,计算相邻两杯的倒入间隔时间,并按固定时间间隔逐一把各杯晶片倒入腐蚀液中。从而人工操作耗时耗力,同时将晶片倒入腐蚀液中,还存在危险。此外,人工还存在时间错误,从而导致频率集中度降低。
技术实现思路
[0004]本技术所要解决的技术问题是,提供一种用于腐蚀机的自动抓取机构。
[0005]为了解决这一技术问题,本技术采用以下技术方案:
[0006]一种用于腐蚀机的自动抓取机构,其特征在于:包括横向移动导轨、纵向移动导轨、抓取组 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于腐蚀机的自动抓取机构,其特征在于:包括横向移动导轨(231)、纵向移动导轨(232)、抓取组件、托盘(233),其中,所述抓取组件设置在所述横向移动导轨(231)上并能够在所述横向移动导轨(231)上横向移动,所述托盘(233)设置在所述纵向移动导轨(232)上并能够在所述纵向移动导轨(232)上纵向移动。2.根据权利要求1所述的一种用于腐蚀机的自动抓取机构,其特征在于:所述托盘(233)上开设有若干个用于放置杯子的凹槽。3.根据权利要求2所述的一种用于腐蚀机的自动抓取机构,其特征在于:所述抓取组件包括;滑动件(234)、升降气缸(235)、固定板(236)、旋转气缸(237),其中,所述滑动件(234)与所述横向移动导轨(231)滑动连接,所述升降气缸(235)输出端与所述滑动件(234)固定连接,所述固定板(236)与所述升降气缸(235)固定连接,所述旋转气缸(237)固定设置在所述固定板(236)上。4.根据权利要求3所述的一种用于腐蚀机的自动抓取机构,其特征在于:所述旋转气缸(237)的输出端固定连接...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘胜男,戴冕,
申请(专利权)人:湖南科鑫泰电子有限公司,
类型:新型
国别省市:
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