【技术实现步骤摘要】
一种低减重单晶硅片制绒添加剂、制备方法及其用途
[0001]本专利技术属于化工领域,具体涉及一种低减重单晶硅片制绒添加剂、制备方法及其用途。
技术介绍
[0002]目前,在单晶硅太阳能电池生产过程中,单晶硅片制绒工序使用KOH或NaOH对硅片表面进行腐蚀,利用各向异性的原理制备出金字塔绒面结构,这种方式因成本低、操作简单、效率高等优点被普遍使用。
[0003]硅和KOH反应:Si+KOH+H20==K2SiO3+H2,早期使用KOH和异丙醇(IPA)作为制绒液,IPA起到降低溶液表面张力、协助反应产物H2泡快速脱离和络合反应产物硅酸盐,但是IPA存在用量大(5%
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10%),易挥发,对环境有害、反射率仍偏高(12%
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14%)等缺点,现在已经更换为添加量较小(0.4%
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1%)的制绒添加剂,早期因为切割后单晶硅片表面损伤层较大(5
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10um),制绒工序需要匹配较大的腐蚀减重0.4
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0.7g,需要将损伤层腐蚀彻底再在单晶硅片表面制备出金字塔绒面结构,现在随着切割技术的提升,切割后单晶硅片的表面损伤层已降至3um左右,单晶硅片厚度也从早期的200
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220um降至目前的150
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170um,制绒工序需要匹配低减重,否则制绒后单晶硅片太薄,在后续高温工序中容易出现弓片,造成单晶硅太阳能电池生产过程中的碎片率提升,造成极大的成本损失。
技术实现思路
[0004]本专利技术要 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种低减重单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,按重量百分比包括如下组分:糖类0.1%
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10%、醇类0.001%
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1%、缓蚀剂0.001%
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1%,分散剂0.05%
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5%、无机盐0.01%
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1%、表面活性剂0.001%
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0.5%、碱0.01%
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1%,余量为水。2.根据权利要求1所述的低减重单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,所述糖类是环糊精、羧甲基淀粉钠、羟丙基淀粉钠、葡聚糖、明胶中的一种或几种混合;所述醇类是聚乙二醇200
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1000,聚丙二醇200
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1000中的一种或几种混合。3.根据权利要求1所述的低减重单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,所述缓蚀剂是聚乙烯醇、聚丙烯酸钠、腐植酸钠、聚丙烯酰胺中的一种或几种混合。4.根据权利要求1所述的低减重单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,所述分散剂是木质素磺酸钠、柠檬酸钠、酒石酸钠、硅酸钠、焦磷酸钠、葡萄糖酸钠、羟基乙叉二磷酸四钠、乙二胺四亚甲基膦酸钠中的一种或几种混合。5.根据权利要求1所述的低减重单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,所述无机盐是氯化钠、硫酸钠、碳酸钠、碳酸氢钠中的一种或几种混合。6.根据权利要求1所述的低减重单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,所述表面活性剂是十二烷基苯磺酸钠、十二烷基硫酸钠、十二烷基磷酸钠中的一种或几种混合。7.根据权利要求1所述的低减重单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,所述碱是氢氧化钠、氢氧化钾的一种或两种混合。8.一种低减重单晶硅片制绒添加剂的制备方法,其特征在于,按重量百分比将糖类、...
【专利技术属性】
技术研发人员:王波,刘治州,郭熹,单璐璐,
申请(专利权)人:江苏捷捷半导体新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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