一种搬舟机构制造技术

本实用新型专利技术为一种搬舟机构，包括搬舟立柱、搬舟头、Z轴传动结构；其中搬舟头通过Z轴传动结构，活动设置于搬舟立柱上；搬舟头包括一级手臂、二级手臂、X轴传动结构一、X轴传动结构二以及机械手爪；一级手臂和二级手臂通过X轴传动结构一活动连接，机械手爪通过X轴传动结构二活动设置于二级手臂上；X轴传动结构一包括X轴伺服电机一，X轴伺服电机一设置于一级手臂的外侧；机械手爪用于支撑托起石墨舟；通过在搬舟立柱上设置Z轴传动结构，控制搬舟头在Z轴方向的移动；通过设置搬舟头包括X轴传动结构一和X轴传动结构二，控制二级手臂机械手爪在X轴方向的移动。在X轴方向的移动。在X轴方向的移动。

【技术实现步骤摘要】
一种搬舟机构


[0001]本技术涉及半导体和太阳能电池制造领域，特别是涉及一种搬舟机构。

技术介绍

[0002]在半导体和太阳能光伏电池制造设备中，比如扩散炉、氧化炉、退火炉以及化学气相沉积炉等，都需要通过搬舟机构在桨上工位、流线工位以及舟缓存工位等区域来转运舟。常规的搬舟机构都是控制搬舟头在Z轴上下移动，并且在X轴内进行水平移动。由于桨上工位与舟缓存工位存在一定的距离间隔，因此在X轴方向的移动设备通常选用二级手臂，既减小了占用空间，又能够达到长度伸缩的目的。但是在传统的搬舟机构中，二级手臂的动力电机通常都是这是两支手臂的内侧，这样一来会对设置于两支手臂之间的石墨舟形成位置干涉，减少石墨舟能够摆放的空间，降低了空间利用效率。
[0003]另一方面，现有的搬舟机构大多是通过人工判断的方式判断搬舟头在Z轴上高度，或者在X轴的位置，这样的判断方式存在较大的误差和方差，影响石墨舟的取放过程。因此需要一种具备较高的空间利用效率并且能够准确定位的搬舟机构。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是解决现有技术的不足，提供一种搬舟机构。
[0005]为了解决上述问题，本技术采用如下方案：
[0006]一种搬舟机构，包括搬舟立柱、搬舟头、Z轴传动结构；其中搬舟头通过Z轴传动结构，活动设置于搬舟立柱上；搬舟头包括一级手臂、二级手臂、X轴传动结构一、X轴传动结构二以及机械手爪；一级手臂和二级手臂通过X轴传动结构一活动连接，机械手爪通过X轴传动结构二活动设置于二级手臂上；X轴传动结构一包括X轴伺服电机一，X轴伺服电机一设置于一级手臂的外侧；机械手爪用于支撑托起石墨舟。
[0007]进一步的，所述搬舟立柱共两根，两根搬舟立柱相对设置；在两根搬舟立柱之间设置有立柱固定板。
[0008]进一步的，所述Z轴传动结构包括Z轴伺服电机、同步带、滑轨三以及滑块三；Z轴伺服电机以及滑轨三设置于搬舟立柱上，Z轴伺服电机设置于两根搬舟立柱相背离的一侧；滑块三滑动设置于滑轨三上，搬舟头固定设置于滑块三，滑块三与Z轴伺服电机之间通过同步带实现传动。
[0009]进一步的，所述Z轴传动结构还包括联轴器三以及手臂同步杆三，联轴器三分别设置于两个搬舟立柱上，两个联轴器三之间设置有手臂同步杆三。
[0010]进一步的，所述X轴传动结构一还包括同步带、同步轮、滑轨一以及滑块一；滑轨一设置于一级手臂上；二级手臂通过滑块一设置于一级手臂的滑轨一上；滑块一与X轴伺服电机一之间通过同步带和同步轮连接；X轴伺服电机一设置于一级手臂远离搬舟立柱的一端，并且位于两根一级手臂相背的一侧；X轴传动结构一还包括联轴器一以及手臂同步杆一；联轴器一分别设置于两根搬舟立柱上的一级手臂上，手臂同步杆一设置两个联轴器一之间。
[0011]进一步的，所述一级手臂上还设置有手臂过线管，手臂过线管位于两根一级手臂之间。
[0012]进一步的，所述X轴传动结构二包括X轴伺服电机二、同步带、同步轮、滑轨二以及滑块二；其中X轴伺服电机二设置于二级手臂远离搬舟立柱的一端，X轴伺服电机二位于两根二级手臂相背的一侧；滑轨二设置于二级手臂上，机械手爪通过滑块二设置于二级手臂的滑轨二上；滑块二与X轴伺服电机二之间通过同步带和同步轮连接；X轴传动结构二还包括联轴器二以及手臂同步杆二；联轴器二分别设置于两根二级手臂上，手臂同步杆二设置两个联轴器二之间。
[0013]进一步的，所述机械手爪包括爪连接板以及手爪板，手爪板固定设置于爪连接板上；爪连接板设置于二级手臂的滑块二上；爪连接板还通过夹块与同步带连接；夹块固定设置于爪连接板上，夹块还夹紧同步带。
[0014]进一步的，所述爪连接板上还设置有微动开关；手爪板的底部设置有沟槽，沟槽内设置有检测杆，检测杆的一端与微动开关相接触，检测杆的另一端伸出手爪板。
[0015]进一步的，所述搬舟立柱上还固定设置有若干暂存机械手，暂存机械手对应设置于两根搬舟立柱上，暂存机械手用于暂存石墨舟。
[0016]本技术的有益效果为：
[0017]通过在搬舟立柱上设置Z轴传动结构，控制搬舟头在Z轴方向的移动；
[0018]通过设置搬舟头包括X轴传动结构一和X轴传动结构二，控制二级手臂机械手爪在X轴方向的移动；
[0019]通过设置Z轴伺服电机、X轴伺服电机一以及X轴伺服电机二均在外侧，扩大两个搬舟头之间的空间，能够增加石墨舟的容量，从而增加产量；
[0020]通过设置联轴器和手臂同步杆实现两个搬舟立柱上的搬舟头和机械手爪等部件的共同运动，相比传统的采用两个伺服电机分别驱动两根搬舟立柱上的机构的方案，降低设备成本，也提高了两侧的搬舟立柱上的同步性，保证位置一致；
[0021]通过在机械手爪的爪连接板上设置微动开关，配合手爪板上的检测杆，能够检测机械手爪是否负重。
附图说明
[0022]图1为本技术实施例一的整体结构图；
[0023]图2为本技术实施例一的爆炸图；
[0024]图3为本技术实施例一的搬舟头爆炸图；
[0025]图4为本技术实施例一的单个搬舟头示意图；
[0026]图5为本技术实施例一的机械手爪示意图。
[0027]附图标记说明：搬舟立柱1、立柱固定板11、搬舟头2、一级手臂21、二级手臂22、X轴传动结构一23、X轴伺服电机一231、同步带232、同步轮233、联轴器一234、手臂同步杆一235、X轴传动结构二24、X轴伺服电机二241、联轴器二242、手臂同步杆二243、手臂过线管25、机械手爪3、爪连接板31、手爪板32、微动开关33、检测杆34、夹块35、Z轴传动结构4、Z轴伺服电机41、联轴器三42、手臂同步杆三43、滑轨三44、滑块三45、暂存机械手5、光电传感器6。
具体实施方式
[0028]以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0029]需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，遂图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0030]实施例一：
[0031]如图1
‑
5所示，一种搬舟机构，包括搬舟立柱1、搬舟头2、Z轴传动结构4；其中搬舟头2通过Z轴传动结构，活动设置于搬舟立柱1上；搬舟头2包括一级手臂21、二级手臂22、X轴传动结构一23、X轴传动结构二24以及机械手爪3；一级手臂21和二级手臂22通过X轴传动结构一23活动连接，机械手本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搬舟机构，其特征在于，包括搬舟立柱、搬舟头、Z轴传动结构；其中搬舟头通过Z轴传动结构，活动设置于搬舟立柱上；搬舟头包括一级手臂、二级手臂、X轴传动结构一、X轴传动结构二以及机械手爪；一级手臂和二级手臂通过X轴传动结构一活动连接，机械手爪通过X轴传动结构二活动设置于二级手臂上；X轴传动结构一包括X轴伺服电机一，X轴伺服电机一设置于一级手臂的外侧；机械手爪用于支撑托起石墨舟。2.根据权利要求1所述的一种搬舟机构，其特征在于，所述搬舟立柱共两根，两根搬舟立柱相对设置；在两根搬舟立柱之间设置有立柱固定板。3.根据权利要求2所述的一种搬舟机构，其特征在于，所述Z轴传动结构包括Z轴伺服电机、同步带、滑轨三以及滑块三；Z轴伺服电机以及滑轨三设置于搬舟立柱上，Z轴伺服电机设置于两根搬舟立柱相背离的一侧；滑块三滑动设置于滑轨三上，搬舟头固定设置于滑块三，滑块三与Z轴伺服电机之间通过同步带实现传动。4.根据权利要求3所述的一种搬舟机构，其特征在于，所述Z轴传动结构还包括联轴器三以及手臂同步杆三，联轴器三分别设置于两个搬舟立柱上，两个联轴器三之间设置有手臂同步杆三。5.根据权利要求2所述的一种搬舟机构，其特征在于，所述X轴传动结构一还包括同步带、同步轮、滑轨一以及滑块一；滑轨一设置于一级手臂上；二级手臂通过滑块一设置于一级手臂的滑轨一上；滑块一与X轴伺服电机一之间通过同步带和同步轮连接；X轴伺服电机一设置于一级手臂远离搬舟立柱的一端，并且位于两根一级手臂相背的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，万大明，刘珏浩，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：