一种晶圆测试用电磁屏蔽箱制造技术

本申请涉及一种晶圆测试用电磁屏蔽箱，包括经过导电处理的箱体、载晶盘以及驱动机构，箱体具有容置腔，容置腔的上侧内壁设置有连通孔，连通孔供探针穿入容置腔内；箱体的其中一侧外壁设置有与容置腔相连通的上料窗口，上料窗口处设置有启闭门；载晶盘水平活动设置在容置腔内；驱动机构设置在容置腔内，驱动机构用于使载晶盘做水平运动。本申请具有在晶圆进行测试时能减少外部环境对晶圆的干扰的效果。测试时能减少外部环境对晶圆的干扰的效果。测试时能减少外部环境对晶圆的干扰的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆测试用电磁屏蔽箱


[0001]本申请涉及晶圆测试的领域，尤其是涉及一种晶圆测试用电磁屏蔽箱。

技术介绍

[0002]晶圆测试是对晶片上的每个晶粒进行针测，在检测头上装以铍铜/钨制成细如毛发的探针，并让探针与晶粒上的pad点接触，以此来测试晶圆的电学特性。
[0003]相关技术中，晶圆测试设备包括机架、载晶盘、驱动机构、探针以及显微镜平台，载晶盘水平活动设置在机架上，并且晶圆能固定放置在载晶盘的上表面上，而且载晶盘完全裸露在外界中以便于晶圆的更换；驱动机构设置在机架上，并且驱动机构用于驱动载晶盘做水平运动；探针固定设置在机架上，并且探针能与晶圆上的pad点接触，以进行测试工作；显微镜平台设置在机架上，并且显微镜平台位于载晶盘的上方，而且显微镜平台用于观测探针是否与晶圆的接线相接触，则在进行测试工作时，驱动机构会让载晶盘做水平运动，以让晶圆上的不同pad点与探针接触，从而便达到为晶圆进行测试的目的。
[0004]针对上述中的相关技术，存在有因载晶盘完全裸露在外界环境中，所以外界环境会对晶圆的测试产生一定的干扰，从而导致晶圆的测试不准确的缺陷。

技术实现思路

[0005]为了减少外部环境对晶圆测试的干扰，本申请提供一种晶圆测试用电磁屏蔽箱。
[0006]本申请提供的一种晶圆测试用电磁屏蔽箱采用如下的技术方案：
[0007]一种晶圆测试用电磁屏蔽箱，包括经过导电处理的箱体、载晶盘、驱动机构，所述箱体具有容置腔，所述容置腔的上侧内壁设置有连通孔，所述连通孔供探针穿入所述容置腔内；所述箱体的其中一侧外壁设置有与所述容置腔相连通的上料窗口，所述上料窗口处设置有启闭门；所述载晶盘水平活动设置在所述容置腔内；所述驱动机构设置在所述容置腔内，所述驱动机构用于使所述载晶盘做水平运动。
[0008]通过采用上述技术方案，因经过导电处理的箱体以及连通孔的设置，则使得载晶盘上的晶圆与外部环境的连通处只有连通孔，并且因连通孔处还会有显微镜的镜头以及探针，则经过导电处理的箱体能屏蔽掉电磁干扰，所以外部环境对晶圆测试的干扰会大幅度减少，从而不易影响晶圆测试的准确性，此外上料窗口以及启闭门的设置，则工作人员能通过启闭门打开上料窗口，以对载晶盘上的晶圆进行更换。
[0009]优选的，还包括底板以及空气弹簧减震器，所述底板位于所述箱体的下方；所述空气弹性减震器设置在所述底板与所述箱体之间，所述空气弹簧减震器与所述底板以及所述箱体相连接，所述空气弹簧减震器用于防止观测晶圆的显微镜受到振动。
[0010]通过采用上述技术方案，因空气弹簧减震器的设置，所以外部环境中的振动便不会影响到观测晶圆的显微镜，从而能为晶圆的测试提供一个比较稳定的环境。
[0011]优选的，所述箱体的外壁贴合设置有电磁屏蔽条。
[0012]通过采用上述技术方案，因箱体是通过多个板材拼接而成，所以多个板材之间的
拼接处会出现缝隙，故电磁屏蔽条的设置，一方面，使得箱体能更有效地屏蔽外界的干扰，从而能为微弱电信号的测试提供一个较佳的测试环境，有助于提升晶圆测试的准确性，另一方面，能防止外部环境中的水蒸气进入箱体内，则在低温环境下处于箱体内的晶圆不会出现结霜的情况，从而不会影响正常的晶圆测试工作。
[0013]优选的，所述载晶盘包括基础座以及载物座，所述基础座与所述驱动机构相连接；所述载物座滑动连接在所述基础座的上表面上，所述载物座的滑动方向平行于所述上料窗口的中心线方向，所述载物座能部分滑出所述基础座；所述载物座与所述基础座之间设置有锁紧件，在所述驱动机构驱动所述基础座运动时，所述锁紧件用于使所述载物座与所述基础座固定连接。
[0014]通过采用上述技术方案，当要更换载晶盘上的晶圆时，先通过启闭门打开上料窗口，接着通过驱动机构使基础座向靠近上料窗口的方向运动，待基础座运动至合适位置时，然后通过锁紧件使载物座与基础座解除连接，与此同时便可将载物座从上料窗口处抽出，以将新的晶圆重新安放在载物座上，最后再将载物座复位移动回箱体内，则便完成晶圆的更换，同时再通过锁紧件使载物座与基础座固定连接，从而后续基础座在水平移动时，基础座与载物座之间的位置不会存在偏差，进而不易影响测试时探针与晶圆上pad点的接触。
[0015]优选的，所述锁紧件包括第一挡板、挡块、回转气缸以及连接块，所述第一挡板设置在所述载物座靠近所述上料窗口的一端上，所述第一挡板远离所述上料窗的一侧表面能与所述基础座抵接；所述挡块固定设置在所述载物座上；所述回转气缸固定设置在所述基础座上；所述连接块一端与所述回转气缸的活塞杆固定连接，另一端能与所述挡块靠近所述上料窗口的一端抵接。
[0016]通过采用上述技术方案，当要使载物座部分滑出基础座时，先通过回转气缸让连接块转动，以使连接块远离回转气缸一端与挡块脱离抵接，接着使载物座向靠近上料窗口的方向滑动，以将载物座从上料窗口处抽出，待载物座达到合适位置时，此时便可将新的晶圆安装在载物座上，然后再使载物座向箱体内做复位运动，待第一挡板与基础座靠近上料窗口一端抵接时，载物座便复位至起始位置，最后再通过回转气缸让连接块转动，以使得连接块远离回转气缸的一端与挡块抵接即可，从而便完成了一个完整的更换晶圆的操作流程。
[0017]优选的，所述基础座固定设置有第二挡板，所述第二挡板位于所述基础座靠近所述上料窗口的一端上；所述载物座固定设置有防脱块，所述防脱块位于所述载物座远离所述上料窗口的一端上，所述防脱块靠近所述上料窗口的一端能与所述第二挡板抵接。
[0018]通过采用上述技术方案，因第二挡板与防脱块的设置，则在将载物座从上料窗口处抽出的过程中，防脱块会逐渐靠近第二挡板，待防脱块靠近上料窗口一端与第二挡板抵接时，载物座滑出基础座的部分便达到最大极限值，从而不会出现载物座与完全基础座脱离连接的情况，进而更加便于工作人员进行晶圆的更换工作。
[0019]优选的，所述驱动机构包括X向丝杠滑台以及Y向丝杠滑台，所述X向丝杠滑台固定设置在所述容置腔的底壁上；所述Y向丝杠滑台固定设置在所述X向丝杠滑台的滑台上，所述Y向丝杠滑台的长度方向垂直于所述X向丝杠滑台的长度方向，所述Y向丝杠滑台的滑台与所述基础座相连接。
[0020]通过采用上述技术方案，因X向丝杠滑台以及Y向丝杠滑台的设置，则使得载晶盘
既能沿X向做直线运动，也能沿Y向做直线运动，从而便达到使载晶盘做水平运动的目的，此外通过丝杠滑台在驱动载晶盘运动的方式，还使得载物盘的运动更加地精准，从而在进行晶圆测试时探针能更准确地与晶圆上的pad点接触。
[0021]优选的，所述Y向丝杠滑台与所述基础座之间设置有升降滑台，所述升降滑台固定设置在所述Y向丝杠滑台的滑台上，所述升降滑台与所述基础座相连接以使所述基础座做竖向运动；所述升降滑台与所述基础座之间设置有转动件，所述转动件用于使所述基础座在预定圆心角范围内往复转动。
[0022]通过采用上述技术方案，升降滑台的设置，则在需要使新晶圆重新与探针接触时，可先通过驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆测试用电磁屏蔽箱，其特征在于：包括经过导电处理的箱体(1)、载晶盘(2)以及驱动机构(3)，所述箱体(1)具有容置腔(11)，所述容置腔(11)的上侧内壁设置有连通孔(12)，所述连通孔(12)供探针穿入所述容置腔(11)内；所述箱体(1)的其中一侧外壁设置有与所述容置腔(11)相连通的上料窗口(13)，所述上料窗口(13)处设置有启闭门(14)；所述载晶盘(2)水平活动设置在所述容置腔(11)内；所述驱动机构(3)设置在所述容置腔(11)内，所述驱动机构(3)用于使所述载晶盘(2)做水平运动。2.根据权利要求1所述的晶圆测试用电磁屏蔽箱，其特征在于：还包括底板(4)以及空气弹簧减震器(5)，所述底板(4)位于所述箱体(1)的下方；所述空气弹簧减震器(5)设置在所述底板(4)与所述箱体(1)之间，所述空气弹簧减震器(5)与所述底板(4)以及所述箱体(1)相连接，所述空气弹簧减震器(5)用于防止观测晶圆的显微镜受到振动。3.根据权利要求1所述的晶圆测试用电磁屏蔽箱，其特征在于：所述箱体(1)的外壁贴合设置有电磁屏蔽条。4.根据权利要求1所述的晶圆测试用电磁屏蔽箱，其特征在于：所述载晶盘(2)包括基础座(21)以及载物座(22)，所述基础座(21)与所述驱动机构(3)相连接；所述载物座(22)滑动连接在所述基础座(21)的上表面上，所述载物座(22)的滑动方向平行于所述上料窗口(13)的中心线方向，所述载物座(22)能部分滑出所述基础座(21)；所述载物座(22)与所述基础座(21)之间设置有锁紧件(6)，在所述驱动机构(3)驱动所述基础座(21)运动时，所述锁紧件(6)用于使所述载物座(22)与所述基础座(21)固定连接。5.根据权利要求4所述的晶圆测试用电磁屏蔽箱，其特征在于：所述锁紧件(6)包括第一挡板(61)、挡块(62)、回转气缸(63)以及连...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘世文，欧晓永，陈亮，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：