一种半导体器件热阻测试固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种半导体器件热阻测试固定装置。所述固定装置包括固定单元、滑动单元和连接单元，其中，固定单元包括底板，底板固定在热阻测试设备冷板上，底板开设有一个贯通孔和至少3个滑槽，其中，贯通孔的轴线垂直于热阻测试设备冷板，滑槽开在底板背离冷板的一面并与贯通孔相连通；滑动单元包括至少三个滑块，滑块与滑槽的数量相同并一一对应，每个滑块都能在对应滑槽中滑动；连接单元包括至少三个连接件，连接件与滑块的数量相同并一一对应，每个连接件都能够将对应的滑块固定在滑槽中。本实用新型专利技术能够精准地将器件固定在同一位置；避免人为放置位置偏差导致的测试结果不准确；能够更好地验证同一产品多次测试的重复性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体器件热阻测试固定装置


[0001]本技术涉及半导体加工领域，具体地，涉及一种半导体器件热阻测试固定装置。

技术介绍

[0002]在现有的半导体器件热阻测试过程中，测试冷板上通常没有器件固定装置，大多是靠人为操作来放置半导体器件，这很容易使器件的位置产生偏差，导致测试结果不准确等问题，影响实际判断；而且器件放置位置无法固定，不便于测试操作。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中存在的不足，本技术的目的在于解决上述现有技术中存在的一个或多个问题。例如，本技术的目的之一在于提供一种能够固定被测半导体器件的热阻测试固定装置。
[0004]为了实现上述目的，本技术提供了一种半导体器件热阻测试固定装置。
[0005]所述固定装置可包括固定单元、滑动单元和连接单元，其中，
[0006]固定单元可包括底板，底板能够固定在热阻测试设备冷板上，底板可开设有一个贯通孔和至少3个滑槽，例如3、4、5等；其中，贯通孔的轴线可垂直于热阻测试设备冷板，滑槽可开设在底板背离热阻测试设备冷板的一面并可与贯通孔相连通；
[0007]滑动单元可包括至少三个滑块，滑块的数量与滑槽的数量可相同并可一一对应，每个滑块都可在对应滑槽中滑动且滑块的一端可进入贯通孔中；
[0008]连接单元可包括至少三个连接件，连接件的数量与滑块的数量可相同并一一对应，每个连接件都可将对应的滑块固定在滑槽中。
[0009]在本技术的一个示例性实施例中，所述贯通孔的径向截面可为矩形。
[0010]在本技术的一个示例性实施例中，所述贯通孔还在底板的侧壁上可形成开口。
[0011]在本技术的一个示例性实施例中，所述固定单元还可包括若干根固定杆，固定杆固定在所述底板朝向所述热阻测试设备冷板的一面；
[0012]所述热阻测试设备冷板上开设有若干个孔洞，孔洞的数量与固定杆的数量可相同并可一一对应，每个固定杆可插入在对应的孔洞中。
[0013]在本技术的一个示例性实施例中，所述固定杆的数量可为2～6个，例如3、4、5等。
[0014]在本技术的一个示例性实施例中，所述滑槽的数量可为3个并分别为第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽，其中，
[0015]第一滑槽与第二滑槽可相垂直，第三滑槽与第二滑槽可相垂直。
[0016]在本技术的一个示例性实施例中，所述第一滑槽和所述第三滑槽可在同一轴线上。
[0017]在本技术的一个示例性实施例中，所述滑块可具有上下贯穿的细长槽，细长槽的长度方向可与滑块对应滑槽的长度方向相同；
[0018]所述滑槽的底部可设置有贯穿的固定孔，在滑块在对应滑槽中滑动的情况下，固定孔可与细长槽相连通；
[0019]所述连接件可包括配套的螺栓和螺母，螺栓可插入固定孔和细长槽中。
[0020]在本技术的一个示例性实施例中，所述滑块为L形并可包括第一直条段和第二直条段，第一直条段的一端与第二直条段的一端可垂直连接，第一直条段的长度可大于第二直条段的长度，第一直条段可在所述滑槽中滑动。
[0021]在本技术的一个示例性实施例中，所述滑块为T形并可包括第三直条段和第四直条段，第三直条段的一端与第四直条段的身部可垂直连接，第三直条段的长度可大于第四直条段的长度，第三直条段可在所述滑槽中滑动。
[0022]与现有技术相比，本技术的有益效果可包括：本技术结构简便、制作成本低，使用灵活方便；能精准地将器件固定在同一位置；避免人为操作放置位置偏差导致的测试结果不准确。
附图说明
[0023]通过下面结合附图进行的描述，本技术的上述和其他目的和特点将会变得更加清楚，其中：
[0024]图1示出了热阻测试设备冷板的一个俯视示意图。
[0025]图2示出了本技术的一个半导体热阻测试固定装置中的底板的一个俯视示意图。
[0026]图3示处了本技术的一个半导体热阻测试固定装置中的底板的一个正视示意图。
[0027]图4示出了本技术的一个半导体热阻测试固定装置中的底板的一个左视示意图。
[0028]图5示出了本技术的的一个半导体热阻测试固定装置中的滑块的一个俯视图示意。
[0029]图6示出了本技术的的一个半导体热阻测试固定装置中的L型滑块的一个示意图。
[0030]图7示出了本技术的的一个半导体热阻测试固定装置中的一个T型滑块的一个示意图。
[0031]主要附图标记说明：
[0032]底板
‑
1，第一滑槽
‑
11，第二滑槽
‑
12，第三滑槽
‑
13，固定杆
‑
14，贯通孔
‑
15；
[0033]滑块
‑
2，细长槽
‑
21，第一直条段
‑
22，第二直条段
‑
23，第三直条段
‑
24，第四直条段
‑
25；
[0034]热阻测试设备冷板
‑
3，孔洞
‑
31。
具体实施方式
[0035]在下文中，将结合附图和示例性实施例详细地描述本技术的一种半导体器件
热阻测试固定装置。
[0036]需要说明的是，“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等仅仅是为了方便描述和便于区分，而不能理解为指示或暗示相对重要性。“上”、“下”、“内”、“外”仅仅为了便于描述和构成相对的方位或位置关系，而并非指示或暗示所指的部件必须具有该特定方位或位置。
[0037]在本技术的一个示例性实施例中，所述半导体器件热阻测试固定装置可包括固定单元、滑动单元以及连接单元。
[0038]其中，固定单元可包括如图2所示的底板1，底板上设有1个贯通孔15和3个滑槽，即第一滑槽11、第二滑槽12和第三滑槽13。其中，如图2所示，第一滑槽11和第二滑槽12之间相互垂直，第二滑槽12和第三滑槽13之间可相互垂直，且第一、第三滑槽可以在同一轴线上。
[0039]滑动单元可包括3个滑块，3个滑块的前端能够在贯通孔15中移动，以对被测对象进行限位。
[0040]连接单元包括3个连接件。
[0041]其中，图2所示的底板1可以固定在图1所示的热阻测试设备冷板3上，热阻测试设备冷板3可以与贯通孔15的轴线相互垂直。
[0042]其中，3个滑槽可以开设在底板的正面，如图4所示，第一滑槽11开设在底板的正面，即背离热阻测试设备冷板的一面。
[0043]在本实施例中，如图2所示，第一滑槽11的底部有贯通滑槽的固定孔111；第二滑槽12的底部有贯通底板1的固定孔121；第三滑槽13的底部有贯通底板1的固定孔131。
[0044]在本实施例中，如图2所示，3个滑槽与贯通孔15之间相互连通。
[004本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体器件热阻测试固定装置，其特征在于，所述固定装置包括固定单元、滑动单元和连接单元，其中，固定单元包括底板，底板能够固定在热阻测试设备冷板上，底板开设有一个贯通孔和至少3个滑槽，其中，贯通孔的轴线垂直于热阻测试设备冷板，滑槽开设在底板背离热阻测试设备冷板的一面并与贯通孔相连通；滑动单元包括至少三个滑块，滑块的数量与滑槽的数量相同并一一对应，每个滑块都能够在对应滑槽中滑动且滑块的一端能够进入贯通孔中；连接单元包括至少三个连接件，连接件的数量与滑块的数量相同并一一对应，每个连接件都能够将对应的滑块固定在滑槽中。2.根据权利要求1所述的半导体器件热阻测试固定装置，其特征在于，所述贯通孔的径向截面为矩形。3.根据权利要求1所述的半导体器件热阻测试固定装置，其特征在于，所述贯通孔还在底板的侧壁上形成了开口。4.根据权利要求1所述的半导体器件热阻测试固定装置，其特征在于，所述固定单元还包括若干根固定杆，固定杆固定在所述底板朝向所述热阻测试设备冷板的一面；所述热阻测试设备冷板上开设有若干个孔洞，孔洞的数量与固定杆的数量相同并一一对应，每个固定杆插入在对应的孔洞中。5.根据权利要求4所述的半导体器件热阻测试固定装置，其特征在于，所述固定杆的...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒲俊德，李科，杨强，
申请(专利权)人：四川立泰电子有限公司，
类型：新型
国别省市：