MOSFET器件交流动态参数测试校准装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种MOSFET器件交流动态参数测试校准装置及方法，属于MOSFET器件测试校准技术领域。所述装置包括具有测试爪和导轨的分选机、能够通过测试线与分选机电连接的测试仪、与测试仪配套的软件、开路校准管、短路校准单元和标准校准单元。所述方法包括：S1、短路校准；S2、开路校准并得到第一校准数据；S3、判断第一校准数据是否合格，如合格，则保存第一校准数据并进入步骤S4；S4、使用与测试仪配套的软件对标准校准管进行标准校准，得到第二校准数据；S5、判断第二校准数据是否合格，如合格，则保存并烧写第二校准数据。本发明专利技术的有益效果包括：能够消除校准测试时测试线、测试爪的线阻，得到更准确的校准数据。

【技术实现步骤摘要】
MOSFET器件交流动态参数测试校准装置及方法
本专利技术涉及半导体器件处理过程中的测试方法，具体来讲，涉及一种MOSFET器件交流动态参数测试校准装置及方法。
技术介绍
MOSFET器件（金属氧化物半导体场效应晶体管器件，也可称为MosFet器件）的高速开关性能测量对测试电路上的杂散元件（例如电容、电感和电阻）的影响非常敏感。目前一般是通过由测试仪输出交流信号到被测器件，再对被测器件进行采样，根据采样值计算出被测器件的Rg和Ciss、Coss、Crss等电阻和电容参数，再根据Rg计算得到MOSFET的等效串联电阻（ESR），以保证MosFet器件的高速切换一致性。在测试前必须要进行校准和调零，消除测试线等的线阻对测试数据精度的影响。目前的校准方式只能使用手测座手动测试而无法使用测试仪和分选机自动测试。这是因为分选机主要用于MOSFET器件的测试分选，现目前的校准装置无法放置到分选机上进行测试，而采用手测座测试校准，由于外围寄生电阻和寄生电容会导致校准精度较低不利于后续分选工作。
技术实现思路
本专利技术的目的在于解决现有技术存在的上述不足中的至少一项。例如，本专利技术的目的之一在于提供一种能够使用测试仪和分选机来进行MOSFET器件的交流动态参数测试前的测试和校准，从而提高测试和校准的效率和精度的装置和方法。为了实现上述目的，本专利技术的一方面提供了一种MOSFET器件交流动态参数测试校准装置，所述装置包括具有测试爪和导轨的分选机、能够通过测试线与分选机电连接的测试仪、与测试仪配套的软件、开路校准管、短路校准单元以及标准校准单元。所述短路校准单元具有第一短路校准管、第二短路校准管以及第三短路校准管。所述第一短路校准管具有第一栅极引脚、第一源极引脚以及第一漏极引脚，且被配置为第一源极引脚与第一漏极引脚短路连接的标准封装件。所述第一栅极引脚能够与测试爪的第一电连接点和第二电连接点进行电连接，第一源极引脚能够与测试爪的第三电连接点和第四电连接点进行电连接，第一漏极引脚能够与测试爪的第五电连接点和第六电连接点进行电连接。所述第二短路校准管具有第二栅极引脚、第二源极引脚以及第二漏极引脚，且被配置为第二栅极引脚与第二漏极引脚短路连接的标准封装件。所述第二栅极引脚能够与测试爪的第一电连接点和第二电连接点进行电连接，第二源极引脚能够与测试爪的第三电连接点和第四电连接点进行电连接，第二漏极引脚能够与测试爪的第五电连接点和第六电连接点进行电连接。所述第三短路校准管具有第三栅极引脚、第三源极引脚以及第三漏极引脚，且被配置为第三栅极引脚、第三源极引脚与第三漏极引脚相互短路连接的标准封装件。所述第三栅极引脚能够与测试爪的第一电连接点和第二电连接点进行电连接，第三源极引脚能够与测试爪的第三电连接点和第四电连接点进行电连接，第三漏极引脚能够与测试爪的第五电连接点和第六电连接点进行电连接。所述开路校准管具有第四栅极引脚、第四源极引脚以及第四漏极引脚，并且被配置为标准封装件。所述第四栅极引脚能够与测试爪的第一电连接点和第二电连接点进行电连接，第四源极引脚能够与测试爪的第三电连接点和第四电连接点进行电连接，第四漏极引脚能够与测试爪的第五电连接点和第六电连接点进行电连接。所述标准校准单元包括至少10只标准校准管，所述标准校准单元的每一只标准校准管均被配置为电容值和电阻值已知的标准封装件。本专利技术的另一方面提供了一种使用上述装置实现的MOSFET器件交流动态参数测试校准方法。所述方法包括步骤：S1、将第一短路校准管、第二短路校准管和第三短路校准管依次放入分选机的导轨并连接到分选机的测试爪，使用与测试仪配套的软件进行短路校准；S2、将开路校准管放入分选机的导轨并连接到分选机的测试爪，使用与测试仪配套的软件进行开路校准，得到第一校准数据；S3、判断第一校准数据是否合格，如合格，则保存第一校准数据并进入步骤S4，如不合格，则重连测试爪、测试线后重复步骤S1和步骤S2直至合格；S4、将标准校准单元的每一只标准校准管依次放入分选机的导轨并连接到分选机的测试爪，同时将每一只标准校准管的实际C值和实际R值写入所述测试仪配套软件，使用与测试仪配套的软件对标准校准管进行标准校准，得到第二校准数据，并测得全部标准校准管的校准前C值、校准后C值、校准前R值和校准后R值；S5、判断第二校准数据是否合格，如合格，则保存并烧写第二校准数据，如不合格，则重复步骤S4直至合格。与现有技术相比，本专利技术的有益效果可包括：能够直接使用分选机进行校准和调零，消除测试线、测试爪以及测试座前端的线阻影响；更加方便快捷；能够得到更准确的校准数据，进而保证测得的MOSFET器件的交流动态参数更准确和稳定。附图说明图1示出了本专利技术的一个示例性实施例中的短路校准单元的示例图；图2示出了本专利技术的一个示例性实施例中的开路校准管的示例图；图3示出了本专利技术的一个示例性实施例中的标准校准单元的至少10只标准校准管的其中一只的示例图和原理图。具体实施方式在下文中，将结合示例性实施例来详细说明本专利技术的MOSFET器件交流动态参数测试校准装置及方法。本文中，“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”、“第六”等仅仅是为了方便描述和便于区分，而不能理解为指示或暗示相对重要性或具有严格的顺序性。实施例1在本专利技术的一个示例性实施例中，MOSFET器件交流动态参数测试校准装置包括具有测试爪和导轨的分选机、能够通过测试线与分选机电连接的测试仪(例如T342测试站)、与测试仪配套的软件（例如T324A安装）、开路校准管、短路校准单元以及标准校准单元。所述测试爪具有第一电连接点、第二电连接点、第三电连接点、第四电连接点、第五电连接点、以及第六电连接点。所述短路校准单元包括第一短路校准管、第二短路校准管以及第三短路校准管，例如图1所示。所述标准校准单元具有至少10只标准校准管。所述第一短路校准管、第二短路校准管、第三短路校准管、开路校准管以及标准校准单元的每一只标准校准管均被配置为标准封装件，例如TO系列封装，如TO20或TO20F标准封装。所述第一短路校准管具有第一栅极引脚、第一源极引脚以及第一漏极引脚。所述第一源极引脚与第一漏极引脚通过设置在标准封装内的连线短路连接。所述第一短路校准管能通过第一栅极引脚与测试爪的第一电连接点和第二电连接点的电连接、第一源极引脚与测试爪的第三电连接点和第四电连接点的电连接、以及第一漏极引脚与测试爪的第五电连接点和第六电连接点的电连接与分选机进行电连接，进而与测试仪进行电连接。所述第二短路校准管具有第二栅极引脚、第二源极引脚以及第二漏极引脚。所述第二栅极引脚与第二漏极引脚通过设置在标准封装内的连线短路连接。所述第二短路校准管能通过第二栅极引脚与测试爪的第一电连接点和第二电连接点的电连接、第二源极引脚与测试爪的第三电连接点和第四电连接点的电连接、以及第二漏极引脚与测试爪的第五电连接点和第六电连接点的电连接与分选机进行电连接，进而与测试仪进行电连接。所述第三短路校准本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MOSFET器件交流动态参数测试校准装置，包括具有测试爪和导轨的分选机、能够通过测试线与分选机电连接的测试仪、以及与测试仪配套的软件，其特征在于，还包括开路校准管、短路校准单元以及标准校准单元，其中，/n所述测试爪具有第一电连接点、第二电连接点、第三电连接点、第四电连接点、第五电连接点、以及第六电连接点；/n所述短路校准单元具有第一短路校准管、第二短路校准管以及第三短路校准管，/n其中，所述第一短路校准管具有第一栅极引脚、第一源极引脚以及第一漏极引脚，且被配置为第一源极引脚与第一漏极引脚短路连接的标准封装件，所述第一栅极引脚能够与测试爪的第一电连接点和第二电连接点进行电连接，第一源极引脚能够与测试爪的第三电连接点和第四电连接点进行电连接，第一漏极引脚能够与测试爪的第五电连接点和第六电连接点进行电连接，/n所述第二短路校准管具有第二栅极引脚、第二源极引脚以及第二漏极引脚，且被配置为第二栅极引脚与第二漏极引脚短路连接的标准封装件，所述第二栅极引脚能够与测试爪的第一电连接点和第二电连接点进行电连接，第二源极引脚能够与测试爪的第三电连接点和第四电连接点进行电连接，第二漏极引脚能够与测试爪的第五电连接点和第六电连接点进行电连接，/n所述第三短路校准管具有第三栅极引脚、第三源极引脚以及第三漏极引脚，且被配置为第三栅极引脚、第三源极引脚与第三漏极引脚相互短路连接的标准封装件，所述第三栅极引脚能够与测试爪的第一电连接点和第二电连接点进行电连接，第三源极引脚能够与测试爪的第三电连接点和第四电连接点进行电连接，第三漏极引脚能够与测试爪的第五电连接点和第六电连接点进行电连接；/n所述开路校准管具有第四栅极引脚、第四源极引脚以及第四漏极引脚，并且被配置为标准封装件，所述第四栅极引脚能够与测试爪的第一电连接点和第二电连接点进行电连接，第四源极引脚能够与测试爪的第三电连接点和第四电连接点进行电连接，第四漏极引脚能够与测试爪的第五电连接点和第六电连接点进行电连接；/n所述标准校准单元包括至少10只标准校准管，所述标准校准单元的每一只标准校准管均被配置为电容值和电阻值已知的标准封装件。/n...

【技术特征摘要】
1.一种MOSFET器件交流动态参数测试校准装置，包括具有测试爪和导轨的分选机、能够通过测试线与分选机电连接的测试仪、以及与测试仪配套的软件，其特征在于，还包括开路校准管、短路校准单元以及标准校准单元，其中，
所述测试爪具有第一电连接点、第二电连接点、第三电连接点、第四电连接点、第五电连接点、以及第六电连接点；
所述短路校准单元具有第一短路校准管、第二短路校准管以及第三短路校准管，
其中，所述第一短路校准管具有第一栅极引脚、第一源极引脚以及第一漏极引脚，且被配置为第一源极引脚与第一漏极引脚短路连接的标准封装件，所述第一栅极引脚能够与测试爪的第一电连接点和第二电连接点进行电连接，第一源极引脚能够与测试爪的第三电连接点和第四电连接点进行电连接，第一漏极引脚能够与测试爪的第五电连接点和第六电连接点进行电连接，
所述第二短路校准管具有第二栅极引脚、第二源极引脚以及第二漏极引脚，且被配置为第二栅极引脚与第二漏极引脚短路连接的标准封装件，所述第二栅极引脚能够与测试爪的第一电连接点和第二电连接点进行电连接，第二源极引脚能够与测试爪的第三电连接点和第四电连接点进行电连接，第二漏极引脚能够与测试爪的第五电连接点和第六电连接点进行电连接，
所述第三短路校准管具有第三栅极引脚、第三源极引脚以及第三漏极引脚，且被配置为第三栅极引脚、第三源极引脚与第三漏极引脚相互短路连接的标准封装件，所述第三栅极引脚能够与测试爪的第一电连接点和第二电连接点进行电连接，第三源极引脚能够与测试爪的第三电连接点和第四电连接点进行电连接，第三漏极引脚能够与测试爪的第五电连接点和第六电连接点进行电连接；
所述开路校准管具有第四栅极引脚、第四源极引脚以及第四漏极引脚，并且被配置为标准封装件，所述第四栅极引脚能够与测试爪的第一电连接点和第二电连接点进行电连接，第四源极引脚能够与测试爪的第三电连接点和第四电连接点进行电连接，第四漏极引脚能够与测试爪的第五电连接点和第六电连接点进行电连接；
所述标准校准单元包括至少10只标准校准管，所述标准校准单元的每一只标准校准管均被配置为电容值和电阻值已知的标准封装件。


2.根据权利要求1所述的MOSFET器件交流动态参数测试校准装置，其特征在于，所述标准校准单元由15只标准校准管组成。


3.根据权利要求1所述的MOSFET器件交流动态参数测试校准装置，其特征在于，所述标准校准单元的每一只标准校准管的电阻值R均小于10Ω，且电容值C均在0.1～20nF之间。


4.根据权利要求1所述的MOSFET器件交流动态参数测试校准装置，其特征在于，所述标准封装为TO封装。


5.一种使用如权利要求1～4中任意一项所述的MOSFET器件交流动态参...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈明，李力，李治全，冷祥伟，
申请(专利权)人：四川立泰电子有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51