一种喷嘴测试保湿盒制造技术

本发明专利技术公开了一种喷嘴测试保湿盒，包括：保湿盒本体；多个喷嘴安装孔，所述喷嘴安装孔开设于所述保湿盒本体的顶面；收集槽，所述收集槽设于所述保湿盒本体内，所述收集槽连通所有所述喷嘴安装孔远离所述保湿盒本体顶面的一端；排液口，所述排液口开设于所述保湿盒本体的任意一侧，并连通所述收集槽。本发明专利技术解决了保湿盒无法对多个喷嘴进行保湿和测试并将废液集中排出的问题。废液集中排出的问题。废液集中排出的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种喷嘴测试保湿盒


[0001]本专利技术涉及半导体行业晶圆领域，尤其涉及一种喷嘴测试保湿盒。

技术介绍

[0002]在光刻胶显影工艺中，光刻胶涂布至基板后进行曝光显影，形成线路。光刻胶涂布时必须保证光刻胶厚度均匀，采用合适的光刻胶，通过匀胶机在一定温度和晃动幅度下进行匀胶，以光刻胶厚度的均匀性；同时，喷嘴的吸胶的性能也是影响光刻胶涂布效果的重要因素。
[0003]目前，喷嘴测试平台中，喷嘴单独测试或保湿，并单独收集废液，因此效率低，无法集中排出废液。

技术实现思路

[0004]因此，本专利技术提供一种喷嘴测试保湿盒，有效解决保湿盒无法对多个喷嘴进行保湿或测试，无法将废液集中排出的问题。
[0005]一方面，本专利技术提供一种喷嘴测试保湿盒，包括：保湿盒本体；多个喷嘴安装孔，所述喷嘴安装孔开设于所述保湿盒本体的顶面；收集槽，所述收集槽设于所述保湿盒本体内，所述收集槽连通所有所述喷嘴安装孔远离所述保湿盒本体顶面的一端；排液口，所述排液口开设于所述保湿盒本体的任意一侧，并连通所述收集槽。
[0006]采用该技术方案后所达到的技术效果：多个所述喷嘴安装孔可用于容纳多个喷嘴，便于多个喷嘴进行保湿或测试；收集槽可用于容纳避免光刻胶固化的液体，从而避免喷嘴中的光刻胶固化；所述收集槽也可以用于容纳光刻胶，以便于喷嘴通过回吸阀吸取光刻胶，检测光刻胶的回吸量；所有喷嘴可共用所述收集槽，且所述收集槽内的液体能够从所述排液口集中排出，从而在增加喷嘴测试数量的同时提高废液收集效率。
[0007]进一步的，所述喷嘴测试保湿盒还包括：喷嘴安装槽，所述喷嘴安装槽设于所述喷嘴安装孔的顶部；其中，多个所述喷嘴安装孔沿直线布设，所述喷嘴安装槽连通所有所述喷嘴安装孔。
[0008]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述喷嘴安装槽用于对所述喷嘴进行限位，使得所述喷嘴能够稳定安装于所述喷嘴安装槽。
[0009]进一步的，所述喷嘴测试保湿盒还包括：至少一个清洗通道，所述清洗通道开设于所述保湿盒本体的侧面，所述清洗通道的与所述喷嘴安装孔的横截面相切，每个所述喷嘴安装孔对应至少一个所述清洗通道。
[0010]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述清洗通道用于通入清洗液至所述喷嘴安装孔内，从而对喷嘴进行清洗；所述清洗通道的与所述喷嘴安装孔的横截面相切，使得所述清洗通道进入所述喷嘴安装孔的清洗液能够环绕喷嘴流动，从而有效清洗喷嘴外周。
[0011]进一步的，所述清洗通道包括：喷嘴外周清洗通道和喷嘴内壁清洗通道；其中，每个所述喷嘴安装孔连通至少一个所述喷嘴外周清洗通道和至少一个所述喷嘴内壁清洗通
道，所述喷嘴外周清洗通道位于所述喷嘴内壁清洗通道远离所述保湿盒本体顶部的一侧。
[0012]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述喷嘴外周清洗通道用于清洗喷嘴外侧壁，并且所述喷嘴外周清洗通道位于所述靠近所述保湿盒本体的一侧，便于全面地清洗所述喷嘴的外周；所述喷嘴内壁清洗通道位于所述喷嘴内壁清洗通道远离所述保湿盒本体顶部的一侧，例如所述喷嘴内壁清洗通道位于喷嘴端部的一侧，此时可以通过回吸阀控制喷嘴吸取清洗液，使得清洗液进入所述喷嘴内部，再将清洗液喷出，从而实现对喷嘴内部的清洗。
[0013]进一步的，所述喷嘴测试保湿盒包括：安装面，所述安装面位于所述保湿盒本体的侧面，并且所述安装面与多个所述喷嘴安装孔布设的方向平行；第一加强件，所述第一加强件设于所述安装面；其中，所述清洗通道穿过所述第一加强件和所述保湿盒本体至所述喷嘴安装孔。
[0014]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述保湿盒本体采用耐腐蚀的柔性材质， 所述第一加强件采用刚性材质，设置第一加强件能够提高安装面的强度，便于安装供给清洗液的管路，使该管路稳定连接清洗通道，避免所述保湿盒本体形变。
[0015]进一步的，所述喷嘴测试保湿盒还包括：第一插槽，所述第一插槽开设于所述保湿盒本体的顶面，并位于所述安装面和所述喷嘴安装孔之间，所述第一插槽与所述安装面平行；第二加强件，设于所述第一插槽；其中，所述清洗通道穿过所述第二加强件。
[0016]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第二加强件也可以采用刚性材质，进一步提高清洗液的管路与清洗通道连接的稳定性，避免所述保湿盒本体形变。
[0017]进一步的，所述喷嘴测试保湿盒还包括：第一固定孔，所述第一固定孔穿过所述第一加强件、所述第二加强件和所述保湿盒本体；所述第一固定孔和所述清洗通道间隔设置。
[0018]采用该技术方案后所达到的技术效果：第一固定孔可以安装螺栓、销钉等紧固件，从而同时连接所述第一加强件、所述第二加强件、所述保湿盒本体介于所述第一加强件和所述第二加强件之间的部分、以及所述保湿盒本体位于所述第二加强件远离所述第一加强件的部分，使得第一加强件和所述第二加强件能够稳定安装于所述加强件本体；每个所述清洗通道的两侧均设有所述第一固定孔，从而可通过紧固件固定所述清洗通道的两侧，提高所述清洗通道的稳定性。
[0019]进一步的，所述第二加强件包括多个固定板，所述固定板朝向所述第一插槽，相邻的所述固定板之间形成弹性槽，每个固定板对应至少一个第一固定孔；所述第一插槽包括多个挡筋，所述挡筋设于所述弹性槽。
[0020]采用该技术方案后所达到的技术效果：相邻的所述固定板之间的所述弹性槽使得所述固定板具有一定的形变能力，避免所述第一固定孔位于所述固定板上的部分和位于所述保湿盒本体上的部分无法同心对应，导致在部分所述第一固定孔安装紧固件后，其余第一固定孔错位，因此所述弹性槽便于所述固定板与紧固件的连接；所述挡筋与所述弹性槽配合，用于进一步锁定所述第二加强件，同时，所述挡筋也将所述第一插槽分割为多个腔室，从而避免不同所述清洗通道内的清洗液相互影响。
[0021]进一步的，所述保湿盒本体包括：第一部分和第二部分，所述第一部分设于所述第二部分顶面，所述喷嘴安装孔连通所述第一部分的顶面和底面，所述收集槽开设于所述第二部分的顶面；密封组件，所述密封组件设于所述第一部分和所述第二部分之间。
[0022]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一部分和所述第二部分分离，便于加工所述收集槽；所述密封组件用于密封所述第一部分和所述第二部分之间配合的位置，避免去胶液或清洗液从所述第一部分和所述第二部分之间渗出。
[0023]进一步的，所述喷嘴测试保湿盒还包括：第二插槽，所述第二插槽开设于所述第一部分的至少一个侧面；第三加强件，所述第三加强件设于所述第二插槽内；其中，第二部分设有定位孔，所述定位孔通过紧固件连接所述第一部分和所述第三加强件。
[0024]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第三加强件可以采用刚性材料，所述第三加强件用于进一步固定所述第一部分和所述第二部分；其中，紧固件穿过所述定位孔、所述第一部分和所述第三加强件能够对所述第一部分的水平位置进行定位，并且所述第三加强件能够避免紧固件使所述保湿盒本体变形。
[0025]综上所述，本申请上述各个实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷嘴测试保湿盒，其特征在于，包括：保湿盒本体；多个喷嘴安装孔，所述喷嘴安装孔开设于所述保湿盒本体的顶面；收集槽，所述收集槽设于所述保湿盒本体内，所述收集槽连通所有所述喷嘴安装孔远离所述保湿盒本体顶面的一端；排液口，所述排液口开设于所述保湿盒本体的任意一侧，并连通所述收集槽。2.根据权利要求1所述的喷嘴测试保湿盒，其特征在于，所述喷嘴测试保湿盒还包括：喷嘴安装槽，所述喷嘴安装槽设于所述喷嘴安装孔的顶部；其中，多个所述喷嘴安装孔沿直线布设，所述喷嘴安装槽连通所有所述喷嘴安装孔。3.根据权利要求2所述的喷嘴测试保湿盒，其特征在于，所述喷嘴测试保湿盒还包括：至少一个清洗通道，所述清洗通道开设于所述保湿盒本体的侧面，所述清洗通道的与所述喷嘴安装孔的横截面相切，每个所述喷嘴安装孔对应至少一个所述清洗通道。4.根据权利要求3所述的喷嘴测试保湿盒，其特征在于，所述清洗通道包括：喷嘴外周清洗通道和喷嘴内壁清洗通道；其中，每个所述喷嘴安装孔连通至少一个所述喷嘴外周清洗通道和至少一个所述喷嘴内壁清洗通道，所述喷嘴外周清洗通道位于所述喷嘴内壁清洗通道远离所述保湿盒本体顶部的一侧。5.根据权利要求3
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4任一项所述的喷嘴测试保湿盒，其特征在于，所述喷嘴测试保湿盒包括：安装面，所述安装面位于所述保湿盒本体的侧面，并且所述安装面与多个所述喷嘴安装孔布设的方向平行；第一加强件，所述第一加强件设于所述安装面；其中，所述清洗通道穿过所述第一加强件和所...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿克涛，姜岩松，刘长伟，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：