一种刻蚀物去除装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种刻蚀物去除装置，包括：接板室、温度控制室、湿法刻蚀室、出板室和传送装置，以及位于温度控制室内的控温系统，刻蚀物在传送装置的带动下，依次通过接板室、湿法刻蚀室和出板室；还包括清洗机构，包括位于接板室和湿法刻蚀室之间的第一清洗室；位于湿法刻蚀室和出板室之间的第二清洗室；以及位于第二清洗室和出板室之间的干燥室；清洗机构包括溢流槽，溢流槽为上开口结构，用于去除漂浮杂质；传送装置包括由若干传送辊并行排列组成的的传送棍路，本实用新型专利技术通过溢流的方式去除刻蚀漂浮杂质，省去了高压冲洗的步骤，且设备成本较低，并且通过后续高压吸气去除水分，在干燥的同时还能够对杂质起到进一步的去除作用。作用。作用。

【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀物去除装置


[0001]本技术涉及湿法刻蚀
，尤其涉及一种刻蚀物去除装置。

技术介绍

[0002]湿法刻蚀工艺主要是指采用液态化学药品对刻蚀物进行去除的刻蚀技术。湿法刻蚀是采用适当的刻蚀液与刻蚀物进行化学反应，以改变刻蚀物的结构以及刻蚀物表面的形貌，使刻蚀物产生陷光结构及后续镀膜要求的形貌结构。
[0003]当下在刻蚀完成后，通常需要高压冲洗，且采用压辊的方式施压对液体进行收集，全程采用高压操作，容易导致残留杂质对本体结构冲击产生影响，从而导致刻蚀效果被破坏，当下还没有通过溢流清洗以及高压吸气的柔性清洗方式应用在湿法刻蚀过程的装置。

技术实现思路

[0004]本技术克服了现有技术的不足，提供一种刻蚀物去除装置。
[0005]为达到上述目的，本技术采用的技术方案为：一种刻蚀物去除装置，包括：接板室、温度控制室、湿法刻蚀室、出板室和传送装置，以及位于所述温度控制室内的控温系统，其特征在于：刻蚀物在所述传送装置的带动下，依次通过所述接板室、所述温度控制室、所述湿法刻蚀室和所述出板室；还包括清洗机构，包括位于所述接板室和所述湿法刻蚀室之间的第一清洗室；位于所述湿法刻蚀室和所述出板室之间的第二清洗室；以及位于所述第二清洗室和所述出板室之间的干燥室；所述清洗机构包括溢流槽，所述溢流槽为上开口结构，用于去除漂浮杂质；所述传送装置包括由若干传送辊并行排列组成的的传送棍路。
[0006]本技术一个较佳实施例中，位于所述清洗机构附近的传送棍道上设置有高压吸水口，用于将刻蚀物表面液体通过高压热气流吸走。
[0007]本技术一个较佳实施例中，所述湿法刻蚀室包括浸泡刻蚀物的刻蚀液槽。
[0008]本技术一个较佳实施例中，所述温度控制室的控温系统为空调系统或恒温水浴系统。
[0009]本技术一个较佳实施例中，所述第一清洗室、湿法刻蚀室、第二清洗室通过排气管路与风机相连。
[0010]本技术解决了
技术介绍
中存在的缺陷，本技术具备以下有益效果：
[0011]本技术通过溢流的柔性清洗方式去除刻蚀漂浮杂质，省去了高压冲洗的步骤，一方面设备成本较低，并且通过后续高压吸气去除水分，在干燥的同时还能够对杂质起到进一步的去除作用；另一方面柔性清洗的方式以及非接触式吸液干燥的过程，能够有效保护刻蚀效果。
附图说明
[0012]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅
是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图；
[0013]图1是本技术的优选实施例的平面结构示意图；
[0014]图中：1、接板室；2、第一清洗室；3、温度控制室；4、湿法刻蚀室；5、第二清洗室；6、出板室；7、传送装置；71、传送辊。
具体实施方式
[0015]现在结合附图和实施例对本技术作进一步详细的说明，这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成，此外在本技术的描述中，“实施例”、“一个实施例”或“其他实施例”的提及表示结合实施例说明的特定特征、结构或特性包括在至少一些实施例中，但不必是全部实施例。
[0016]如图1所示的一种刻蚀物去除装置，包括：接板室1、温度控制室3、湿法刻蚀室4、出板室6和传送装置7，以及位于温度控制室3内的控温系统，刻蚀物在传送装置7的带动下，依次通过接板室1、温度控制室3、湿法刻蚀室4和出板室6；湿法刻蚀室4包括浸泡刻蚀物的刻蚀液槽；还包括清洗机构，包括位于接板室1和湿法刻蚀室4之间的第一清洗室2；位于湿法刻蚀室4和出板室6之间的第二清洗室5；以及位于第二清洗室5和出板室6之间的干燥室；清洗机构包括溢流槽，溢流槽为上开口结构，用于去除漂浮杂质；传送装置7包括由若干传送辊71并行排列组成的的传送棍路，通过传送辊71之间的缝隙，能够使得杂质有效通过，避免杂质落在刻蚀物底部被堆积。
[0017]优选的，位于清洗机构附近的传送棍道上设置有高压吸水口，用于将刻蚀物表面液体通过高压热气流吸走，通过高压热气流的非接触式设计，避免压辊直接压迫表面使其被损坏。
[0018]本技术一个较佳实施例中，温度控制室3的控温系统为空调系统或恒温水浴系统。
[0019]应当意识到，第一清洗室2、湿法刻蚀室4、第二清洗室5通过排气管路与风机相连，能够提供吸液气流的排出效果。
[0020]本技术通过溢流的柔性清洗方式去除刻蚀漂浮杂质，省去了高压冲洗的步骤，一方面设备成本较低，并且通过后续高压吸气去除水分，在干燥的同时还能够对杂质起到进一步的去除作用；另一方面柔性清洗的方式以及非接触式吸液干燥的过程，能够有效保护刻蚀效果。
[0021]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0022]以上依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定技术性范围。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种刻蚀物去除装置，包括：接板室、温度控制室、湿法刻蚀室、出板室和传送装置，以及位于所述温度控制室内的控温系统，其特征在于：刻蚀物在所述传送装置的带动下，依次通过所述接板室、所述温度控制室、所述湿法刻蚀室和所述出板室；还包括清洗机构，包括位于所述接板室和所述湿法刻蚀室之间的第一清洗室；位于所述湿法刻蚀室和所述出板室之间的第二清洗室；以及位于所述第二清洗室和所述出板室之间的干燥室；所述清洗机构包括溢流槽，所述溢流槽为上开口结构，用于去除漂浮杂质；所述传送装置包括由若干传送辊并行排列组成...

【专利技术属性】
技术研发人员：代智杰，周广福，韩广龙，
申请(专利权)人：苏州昶明微电子科技合伙企业有限合伙，
类型：新型
国别省市：