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本实用新型公开了一种刻蚀物去除装置，包括：接板室、温度控制室、湿法刻蚀室、出板室和传送装置，以及位于温度控制室内的控温系统，刻蚀物在传送装置的带动下，依次通过接板室、湿法刻蚀室和出板室；还包括清洗机构，包括位于接板室和湿法刻蚀室之间的第一清...
该专利属于苏州昶明微电子科技合伙企业（有限合伙）所有，仅供学习研究参考，未经过苏州昶明微电子科技合伙企业（有限合伙）授权不得商用。

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