一种多晶硅还原炉冷却系统技术方案

本实用新型专利技术涉及多晶硅生产设备技术领域，具体涉及一种多晶硅还原炉冷却系统，水泵一的输入端与水容器一连通；水泵一的输出端通过管道一与钟罩冷却水入口连通；钟罩冷却水出口通过管道二与水容器一连通；水泵二的输入端与水容器二连通；空冷器的输入端与水泵二的输出端连通；空冷器的输出端通过管道四与还原炉的电极冷却水入口连通；还原炉的电极冷却水出口通过管道六与水容器二连通；变频泵的输入端与管道二连通；换热器二的高温流体入口与变频泵的输出端连通；换热器二的高温流体出口与管道六连通；换热器二的低温流体入口与管道四连通；换热器二的低温流体出口与管道一连通。采用本实用新型专利技术能够降低还原炉拆炉时的温度，提升生产效率。产效率。产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅还原炉冷却系统


[0001]本技术涉及多晶硅生产设备
，尤其涉及一种多晶硅还原炉冷却系统。

技术介绍

[0002]多晶硅的生产主要采用“改良西门子法”。通过“改良西门子法”生产多晶硅时，需要将一定配比的三氯氢硅和氢气的混合气体通入至还原炉中，混合气体自还原炉底盘上的进气口喷入，在高于1000℃的温度下发生气相化学沉积反应，反应生成的硅晶体沉积于通电的硅芯上，随着反应的持续进行，硅芯不断生长最终达到产品要求。待还原炉运行一定周期后，会进行拆炉作业，将生长结束的硅棒取出，再重新装入硅芯进行生长。在生产过程中，还原炉内的温度高达1100℃；在多晶硅棒生长完成，需要卸炉时，需要对还原炉进行冷却，以便于进行拆炉作业。
[0003]目前，采用的方式是设置单独的冷却系统，在还原炉钟罩夹套中通入低温水，对还原炉进行冷却。但是，这种方式会造成原来钟罩冷却水系统内的高温水被排净，再次投用时，容易发生降压闪蒸，形成水夹汽的水锤现象，对管道的振动大，易造成管道焊缝崩裂，从而产生安全隐患，而且会增加运行和维护成本。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术提供一种多晶硅还原炉冷却系统，主要目的在于降低还原炉拆炉时的温度，提升生产效率，降低生产成本。
[0005]为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
[0006]本技术的实施例提供一种多晶硅还原炉冷却系统，包括：钟罩冷却水系统、电极冷却水系统和停炉冷却水系统；
[0007]所述钟罩冷却水系统包括：水容器一和水泵一；
[0008]所述水泵一的输入端与所述水容器一连通；所述水泵一的输出端通过管道一与还原炉的钟罩冷却水入口连通；所述管道一上依次设置有上水阀一和上水阀二；
[0009]所述还原炉的钟罩冷却水出口通过管道二与所述水容器一连通；所述管道二上依次设置有回水调节阀和隔断阀；
[0010]所述电极冷却水系统包括：水容器二，水泵二，空冷器和换热器一；
[0011]所述水泵二的输入端与所述水容器二连通；
[0012]所述空冷器的输入端通过管道三与所述水泵二的输出端连通；所述空冷器的输出端通过管道四与所述还原炉的电极冷却水入口连通；
[0013]所述换热器一的输入端通过管道五与所述水泵二的输出端连通；所述换热器一的输出端通过所述管道四与所述还原炉的电极冷却水入口连通；所述还原炉的电极冷却水出口通过管道六与所述水容器二连通；
[0014]所述停炉冷却水系统包括：变频泵和换热器二；
[0015]所述变频泵的输入端通过冷却水管一与所述管道二连通；所述冷却水管一与所述管道二的连接点位于所述回水调节阀与所述隔断阀之间；所述冷却水管一上设置有控制阀一；所述冷却水管一上设置有温度传感器和压力传感器一；
[0016]所述换热器二的高温流体入口与所述变频泵的输出端连通；所述换热器二的高温流体出口通过冷却水管二与所述管道六连通；所述冷却水管二上设置有控制阀二；
[0017]所述换热器二的低温流体入口通过冷却水管三与所述管道四连通；所述冷却水管三上设置有控制阀三；所述换热器二的低温流体出口通过冷却水管四与所述管道一连通；所述冷却水管四上设置有控制阀四；所述冷却水管四与所述管道一的连接点位于所述上水阀一和所述上水阀二之间；所述冷却水管四上设置有压力传感器二。
[0018]进一步地，所述控制阀二为电动调节阀；
[0019]所述控制阀四为电动调节阀。
[0020]进一步地，所述控制阀一为电磁阀；
[0021]所述控制阀三为电磁阀。
[0022]进一步地，所述上水阀一为电磁阀；
[0023]所述上水阀二为电磁阀。
[0024]进一步地，所述回水调节阀为电动调节阀。
[0025]进一步地，所述隔断阀为电磁阀。
[0026]进一步地，还包括：控制装置；
[0027]所述控制装置与所述水泵一、所述水泵二、所述变频泵、所述控制阀一、所述控制阀二、所述控制阀三、所述控制阀四、所述上水阀一、所述上水阀二、所述回水调节阀和所述隔断阀分别连接，以进行控制。
[0028]进一步地，所述水容器一为罐状结构。
[0029]进一步地，所述水容器二为罐状结构。
[0030]借由上述技术方案，本技术多晶硅还原炉冷却系统至少具有下列优点：
[0031]能够降低还原炉拆炉时的温度，提升生产效率，降低生产成本。
[0032]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0033]图1为本技术实施例提供的一种多晶硅还原炉冷却系统的示意图。
[0034]图中所示：
[0035]1为水容器一，2为水泵一，3为上水阀一，4为上水阀二，5为回水调节阀，6为隔断阀，7为水容器二，8为水泵二，9为空冷器，10为换热器一，11为变频泵，12为换热器二，13为控制阀一，14为控制阀二，15为控制阀三，16为控制阀四，17为温度传感器，18为压力传感器一，19为压力传感器二，20为还原炉，20
‑
1为钟罩夹套。
具体实施方式
[0036]为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效,
以下结合附图及较佳实施例，对依据本技术申请的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
[0037]如图1所示，本技术的一个实施例提出的一种多晶硅还原炉冷却系统，包括：钟罩冷却水系统、电极冷却水系统和停炉冷却水系统；
[0038]钟罩冷却水系统包括：水容器一1和水泵一2；水容器一1用于储存钟罩冷却水；本实施例优选，水容器一1为罐状结构，结构可靠，取材方便。
[0039]水泵一2的输入端与水容器一1连通，用于抽吸水容器一1内的钟罩冷却水。水泵一2的输出端通过管道一与还原炉20的钟罩冷却水入口连通，将冷却水通入钟罩夹套20
‑
1内，对还原炉20进行冷却。管道一上依次设置有上水阀一3和上水阀二4，以控制管道一的开闭。上水阀一3和上水阀二4以水流方向依次间隔设置。本实施例的优选，上水阀一3为电磁阀，以方便控制；上水阀二4为电磁阀，以方便控制。
[0040]还原炉20的钟罩冷却水出口通过管道二与水容器一1连通；与还原炉20换热后的冷却水回流至水容器一1，形成循环。管道二上依次设置有回水调节阀5和隔断阀6；回水调节阀5和隔断阀6以水流方向依次间隔设置。回水调节阀5和隔断阀6均能够控制管道二的开闭。本实施例优选，回水调节阀5为电动调节阀，以便于调节通过管道二的水流量。本实施例优选，隔断阀6为电磁阀，以便于控制管道二的通断。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原炉冷却系统，其特征在于，包括：钟罩冷却水系统、电极冷却水系统和停炉冷却水系统；所述钟罩冷却水系统包括：水容器一和水泵一；所述水泵一的输入端与所述水容器一连通；所述水泵一的输出端通过管道一与还原炉的钟罩冷却水入口连通；所述管道一上依次设置有上水阀一和上水阀二；所述还原炉的钟罩冷却水出口通过管道二与所述水容器一连通；所述管道二上依次设置有回水调节阀和隔断阀；所述电极冷却水系统包括：水容器二，水泵二，空冷器和换热器一；所述水泵二的输入端与所述水容器二连通；所述空冷器的输入端通过管道三与所述水泵二的输出端连通；所述空冷器的输出端通过管道四与所述还原炉的电极冷却水入口连通；所述换热器一的输入端通过管道五与所述水泵二的输出端连通；所述换热器一的输出端通过所述管道四与所述还原炉的电极冷却水入口连通；所述还原炉的电极冷却水出口通过管道六与所述水容器二连通；所述停炉冷却水系统包括：变频泵和换热器二；所述变频泵的输入端通过冷却水管一与所述管道二连通；所述冷却水管一与所述管道二的连接点位于所述回水调节阀与所述隔断阀之间；所述冷却水管一上设置有控制阀一；所述冷却水管一上设置有温度传感器和压力传感器一；所述换热器二的高温流体入口与所述变频泵的输出端连通；所述换热器二的高温流体出口通过冷却水管二与所述管道六连通；所述冷却水管二上设置有控制阀二；所述换热器二的低温流体入口通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹仁苏，杨涛，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：