一种多晶硅质量测试炉夹头结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多晶硅质量测试炉夹头结构，涉及多晶硅设备技术领域，主要目的是提供一种能够更加牢固的固定硅芯，并且提高导电性能的一种多晶硅质量测试炉夹头结构。本实用新型专利技术的主要技术方案为：一种多晶硅质量测试炉夹头结构，包括：夹头本体，夹头本体的顶部具有第一插孔，用于插入硅芯，夹头本体的侧面具有至少两个安装螺纹孔，第一插孔与每个安装螺纹孔相互连通，夹头本体的下部具有第一电极孔，用于插入电极本体；固定部件，固定部件为多个，每个固定部件螺纹连接于其中一个安装螺纹孔，固定部件的一端顶接于硅芯。本实用新型专利技术主要用于连接和固定硅芯和电极本体。要用于连接和固定硅芯和电极本体。要用于连接和固定硅芯和电极本体。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅质量测试炉夹头结构


[0001]本技术涉及多晶硅设备
，尤其涉及一种多晶硅质量测试炉夹头结构。

技术介绍

[0002]在生产多晶硅的生产技术中，改良西门子法为主要的生产方法。西门子法是一种传统、广泛应用于生产多晶硅的方法，通过在高纯度的硅芯上发生化学气相沉积而得到多晶硅产品。在生产过程中，生产物料由于某些种种原因，导致物料质量波动，进而影响最终产品多晶硅质量的不稳定。很多时候，多晶硅生产周期比较长，批量生产，如果物料质量波动问题在最终产品质量反馈出来就很滞后，同时造成大量质量问题产品，损失比较大。
[0003]多晶硅测试炉由于开炉时间短，可以对产品质量缩短检测周期，发现物料质量问题能及时处理。测试炉作为物料质量检测主要手段，生产频繁。测试炉的使用和还原炉类似，通过在高纯度的硅芯上发生化学气相沉积而得到多晶硅产品。
[0004]夹头是测试炉生产多晶硅的核心材料，关系到测试炉生产稳定性，决定测试炉多晶硅的质量。在测试炉生产之前，进行硅芯安装，硅芯两端加工成不同锥度，下锥插入石墨夹头锥孔，上锥连接横梁，便于增加其稳定性，硅芯硬度比较高，在加工过程中通过磨锥机加工，硅芯上下锥表面比较光滑，在插入石墨夹头内锥孔连接后，石墨夹头材质比较软，由于线接触很容易松动，硅芯下锥和石墨夹头连接不牢固，在硅芯击穿过程中或生产过程中，炉内气流扰动的影响，很容易发生松动，进而导致硅芯和石墨夹头松动，配合间隙大拉弧击穿失败或生产过程中倾斜倒炉。现有的硅芯结构，锥头表面光滑，容易造成硅芯与夹头连接不牢固而发生击穿失败和倒炉等现象，造成产品污染和生产不稳定等缺陷。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术实施例提供一种多晶硅质量测试炉夹头结构，主要目的是提供一种能够更加牢固的固定硅芯，并且提高导电性能的一种多晶硅质量测试炉夹头结构。
[0006]为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
[0007]本技术实施例提供了一种多晶硅质量测试炉夹头结构，包括：
[0008]夹头本体，所述夹头本体的顶部具有第一插孔，用于插入硅芯，所述夹头本体的侧面具有至少两个安装螺纹孔，所述第一插孔与每个所述安装螺纹孔相互连通，所述夹头本体的下部具有第一电极孔，用于插入电极本体；
[0009]固定部件，所述固定部件为多个，每个所述固定部件螺纹连接于其中一个所述安装螺纹孔，所述固定部件的一端顶接于所述硅芯。
[0010]进一步的，所述安装螺纹孔包括第一螺纹孔和第二螺纹孔，所述第一螺纹孔和所述第二螺纹孔设置在所述第一插孔的侧面。
[0011]进一步的，所述安装螺纹孔还包括第三螺纹孔和第四螺纹孔，所述第三螺纹孔和
所述第四螺纹孔设置在所述第一插孔的侧面，并且，所述第三螺纹孔和所述第四螺纹孔垂直于所述第一螺纹孔和所述第二螺纹孔。
[0012]进一步的，所述第一插孔垂直于所述第一螺纹孔、所述第二螺纹孔、所述第三螺纹孔和所述第四螺纹孔。
[0013]进一步的，所述安装螺纹孔横向设置在所述夹头本体的侧面，所述第一插孔纵向设置在所述夹头本体的顶部。
[0014]进一步的，所述第一插孔位于所述第一螺纹孔、所述第二螺纹孔、所述第三螺纹孔和所述第四螺纹孔的中心位置。
[0015]进一步的，所述第一电极孔的截面形状为梯形。
[0016]进一步的，所述第一电极孔和所述第一插孔的轴线相互重合。
[0017]进一步的，所述夹头本体的侧面具有第一平面和第二平面，所述第一平面和所述第二平面位于所述安装螺纹孔的下部。
[0018]进一步的，所述夹头本体的顶部具有第一顶面，所述第一顶面为圆弧面。
[0019]与现有技术相比，本技术具有如下技术效果：
[0020]本技术实施例提供的技术方案中，夹头本体的作用是连接硅芯以及电极本体，夹头本体的顶部具有第一插孔，用于插入硅芯，夹头本体的侧面具有至少两个安装螺纹孔，第一插孔与每个安装螺纹孔相互连通，夹头本体的下部具有第一电极孔，用于插入电极本体；固定部件的作用是固定硅芯，固定部件为多个，每个固定部件螺纹连接于其中一个安装螺纹孔，固定部件的一端顶接于硅芯，相对于现有技术，硅芯上下锥表面比较光滑，在插入石墨夹头内锥孔连接后，石墨夹头材质比较软，由于线接触很容易松动，硅芯下锥和石墨夹头连接不牢固，在硅芯击穿过程中或生产过程中，炉内气流扰动的影响，很容易发生松动，进而导致硅芯和石墨夹头松动，配合间隙大拉弧击穿失败或生产过程中倾斜倒炉。现有的硅芯结构，锥头表面光滑，容易造成硅芯与夹头连接不牢固而发生击穿失败和倒炉等现象，造成产品污染和生产不稳定等缺陷，本技术方案中，通过在夹头本体的侧面设置至少两个安装螺纹孔，并且，第一插孔与每个安装螺纹孔相互连通，硅芯插入第一插孔后，将固定部件拧入安装螺纹孔中，使固定部件的一端顶接于硅芯，从而使得硅芯在测试炉的生产过程中保持稳定，同时，在夹头本体的下部设置第一电极孔，电极本体插入第一电极孔，使得夹头结构能够同时对电极本体和硅芯进行固定，从而达到提高夹头结构的导电性能的技术效果。
附图说明
[0021]图1为本技术实施例提供的一种多晶硅质量测试炉夹头结构的结构示意图；
[0022]图2为本技术实施例提供的一种夹头本体的结构示意图；
[0023]图3为图2中A
‑
A处的结构示意图。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。
[0025]如图1至图3所示，本技术实施例提供了一种多晶硅质量测试炉夹头结构，包括：
[0026]夹头本体1，夹头本体1的顶部具有第一插孔11，用于插入硅芯8，夹头本体1的侧面具有至少两个安装螺纹孔12，第一插孔11与每个安装螺纹孔12相互连通，夹头本体1的下部具有第一电极孔3，用于插入电极本体9；
[0027]固定部件2，固定部件2为多个，每个固定部件2螺纹连接于其中一个安装螺纹孔12，固定部件2的一端顶接于硅芯8。
[0028]本技术实施例提供的技术方案中，夹头本体1的作用是连接硅芯8以及电极本体9，夹头本体1的顶部具有第一插孔11，用于插入硅芯8，夹头本体 1的侧面具有至少两个安装螺纹孔12，第一插孔11与每个安装螺纹孔12相互连通，夹头本体1的下部具有第一电极孔3，用于插入电极本体9；固定部件2 的作用是固定硅芯8，固定部件2为多个，每个固定部件2螺纹连接于其中一个安装螺纹孔12，固定部件2的材料采用易加工、高纯度、耐高温和高熔点金属材质，并且，固定部件2的结构与现有的螺栓基本相同，固定部件2的一端顶接于硅芯8，相对于现有技术，硅芯8上下锥表面比较光滑，在插入石墨夹头内锥孔连接后，石墨夹头材质比较软，由于线接触很容易松动，硅芯8下锥和石墨夹头连接不牢固，在硅芯8击穿过程中或生产过程中，炉内气流扰动的影响，很容易发生松动，进而导致硅芯8和石墨夹头松动，配合间隙大拉弧击穿失败或生产过程中倾斜倒炉。现有的硅本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅质量测试炉夹头结构，其特征在于，包括：夹头本体，所述夹头本体的顶部具有第一插孔，用于插入硅芯，所述夹头本体的侧面具有至少两个安装螺纹孔，所述第一插孔与每个所述安装螺纹孔相互连通，所述夹头本体的下部具有第一电极孔，用于插入电极本体；固定部件，所述固定部件为多个，每个所述固定部件螺纹连接于其中一个所述安装螺纹孔，所述固定部件的一端顶接于所述硅芯。2.根据权利要求1所述的一种多晶硅质量测试炉夹头结构，其特征在于，所述安装螺纹孔包括第一螺纹孔和第二螺纹孔，所述第一螺纹孔和所述第二螺纹孔设置在所述第一插孔的侧面。3.根据权利要求2所述的一种多晶硅质量测试炉夹头结构，其特征在于，所述安装螺纹孔还包括第三螺纹孔和第四螺纹孔，所述第三螺纹孔和所述第四螺纹孔设置在所述第一插孔的侧面，并且，所述第三螺纹孔和所述第四螺纹孔垂直于所述第一螺纹孔和所述第二螺纹孔。4.根据权利要求3所述的一种多晶硅质量测试炉夹头结构，其特征在于，所述第一插孔垂直于所述第一螺纹孔、所述第二螺纹孔、所...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁建，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：