【技术实现步骤摘要】
技术介绍
专利
本专利技术涉及对致动器的线圈进行冷却，更具体的，涉及用在洛伦兹力致动器和电动机中的线圈，该洛伦兹力致动器和电动机用在平版印刷工具中以浮起和驱动平台。
技术介绍
洛伦兹力致动器由两个物理分离的磁性元件组成。第一元件通常是激励线圈，经由该激励线圈流通电流。第二元件由往往与额外高磁导率材料相结合的永久磁铁组件构成，共同生成穿过线圈的强磁场。流经线圈的电流与永久磁铁组件生成的磁场之间相互作用，产生作用于该线圈的一个力以及作用于该永久磁铁组件的一个大小相等且方向相反的反作用力。位于强磁场内的线圈部分可被称为该线圈的有效部分。除非将热量传导给流通的冷却流体以充分地冷却线圈，否则散逸到该线圈内的热量会导致其温度过度升高。在某些情况中，为增大流向冷却流体的热量，需要在线圈有效部分的表面安装薄的冷却套管。这种冷却套管通常由陶瓷例如氮化硅制成，这种材料提供了高电阻率与高导热性的良好结合，因而能高效地传递热量，不会由于强磁场而产生不希望的涡流阻尼效应。也可采用不锈钢，但其既不具有高电阻率又不具有高导热性。填充聚合物具有高电阻率，但其导热性较弱，通常不能用以密封冷却水。陶瓷...
【技术保护点】
一种致动器，包括： 导线圈，用于输送电流以形成磁场，所述磁场是通过单独的磁性元件产生的； 冷却管，具有流经所述冷却管的冷却流体，所述冷却管位于所述导线圈的附近但在所述导线圈的外部，且其包围所述导线圈的外围；以及 多个导热条，一般设置成横向于至少部分所述导线圈，以将热量自所述导线圈传递给所述冷却管。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：丹尼尔N加尔伯特，
申请(专利权)人：ASML控股股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]
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