温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种致动器线圈，具有产生磁场的跑道状绕组。一冷却管具有流经其的冷却流体，且包围所述跑道状绕组的外围。多个导热条一般设置成横向于至少部分所述跑道状绕组，以将热量自所述跑道状绕组传递给所述冷却管。...
该专利属于ASML控股股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML控股股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。