一种半导体废气处理设备新型水箱旋涡集气降温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体废气处理设备新型水箱旋涡集气降温装置，包括：水箱，水箱的顶部开设有与水箱内部连通的进气口，水箱的顶部且位于进气口处安装有集气装置，集气装置包括固定环和集气环，集气环安装在固定环内，集气环的中部开设有通孔且通孔的直径由上至下逐渐减小，固定环和集气环的侧壁均开设有四个呈环形等距分布的导水孔，且固定环和集气环的导水孔相连通。本实用新型专利技术在水箱的进气口端增加了锥形的集气装置，使气体经过时聚拢在气口中央，锥形的四周设置有4个喷头，使聚拢的气体充分的降温稀释，解决了高温废气与水雾接触时容易堵塞的问题。时容易堵塞的问题。时容易堵塞的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体废气处理设备新型水箱旋涡集气降温装置


[0001]本技术涉及废气处理
，更具体为一种半导体废气处理设备新型水箱旋涡集气降温装置。

技术介绍

[0002]废气处理设备，主要是指运用不同工艺技术，通过回收或去除、减少排放尾气的有害成分，达到保护环境、净化空气的一种环保设备，让我们的环境不受到污染。
[0003]目前，现有的废气处理设备的水箱与进气管之间直接采用法兰连接，高温废气直接排入到水箱内部，废气与水雾接触时容易产生堵塞的问题。为此，需要设计一个新的方案给予改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种半导体废气处理设备新型水箱旋涡集气降温装置，解决了现有的废气处理设备的水箱与进气管之间直接采用法兰连接，高温废气直接排入到水箱内部，废气与水雾接触时容易产生堵塞的问题的问题，满足实际使用需求。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体废气处理设备新型水箱旋涡集气降温装置，包括：水箱，所述水箱的顶部开设有与水箱内部连通的进气口，所述水箱的顶部且位于进气口处安装有集气装置，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体废气处理设备新型水箱旋涡集气降温装置，包括：水箱(1)，其特征在于：所述水箱(1)的顶部开设有与水箱(1)内部连通的进气口(2)，所述水箱(1)的顶部且位于进气口(2)处安装有集气装置(3)，所述集气装置(3)包括固定环(7)和集气环(8)，所述集气环(8)安装在固定环(7)内，所述集气环(8)的中部开设有通孔(9)且通孔(9)的直径由上至下逐渐减小，所述固定环(7)和集气环(8)的侧壁均开设有四个呈环形等距分布的导水孔(11)，且固定环(7)和集气环(8)的导水孔(11)相连通。2.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备新型水箱旋涡集气降温装置，其特征在于：所述固定环(7)的导水孔(11)外端安装有接头(12)，集气环...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，崔汉宽，
申请(专利权)人：上海高生集成电路设备有限公司，
类型：新型
国别省市：