本申请公开了一种定位装置及扩散炉，调节机构包括固定支架、角度调节装置、角度传感器、计算模块、以及控制装置；固定支架通过角度调节装置与底座可转动连接，碳硅桨的一端与固定支架水平连接，控制装置设置在底座上，且与角度调节装置连接；角度传感器、计算模块均设置在固定支架上，角度传感器与计算模块连接，计算模块与控制装置连接；角度传感器用于记录所述石英舟空载时所述碳硅桨的角度，和石英舟装载硅片后碳硅桨的角度；计算模块用于计算石英舟空载时和装载硅片后碳硅桨的角度差值，并将信号传输给控制装置；控制装置控制角度调节装置，将固定支架抬升一预设角度，且预设角度等于角度差值。本申请能够纠正碳硅桨上料前后的位置误差。位置误差。位置误差。
【技术实现步骤摘要】
定位装置及扩散炉
[0001]本申请涉及半导体
，尤其涉及一种定位装置及扩散炉。
技术介绍
[0002]在扩散炉工作之前，通常要对碳硅桨的位置进行调整，以保证碳硅桨在移动过程中不会与炉管发生碰撞导致硅片破碎，但是在碳硅桨空载状态下已经调整好的位置，往往会由于在上料后，碳硅桨前段承受托举晶圆的受力而下降，这就导致了在碳硅桨空载前调整的位置与上料后的位置出现了位置误差，增加了碳硅桨碰撞炉管的几率。
[0003]如何解决在碳硅桨上料前后，纠正碳硅桨的位置误差，成为本领域亟需解决的问题。
技术实现思路
[0004]本申请的目的是提供一种定位装置及扩散炉，能够纠正碳硅桨上料前后的位置误差。
[0005]本申请公开了一种定位装置，用于运送石英舟，所述定位装置包括碳硅桨、调节机构和底座，所述调节机构安装在所述底座上；所述碳硅桨的一端与所述调节机构连接，所述石英舟安装在所述碳硅桨上；所述调节机构包括固定支架、角度调节装置、角度传感器、计算模块、以及控制装置；所述固定支架通过所述角度调节装置与所述底座可转动连接，所述碳硅桨的一端与所述固定支架水平连接，所述控制装置设置在所述底座上，且与所述角度调节装置连接；所述角度传感器、所述计算模块均设置在所述固定支架上，所述角度传感器与所述计算模块连接，所述计算模块与所述控制装置连接；其中，所述角度传感器用于记录所述石英舟空载时所述碳硅桨的角度，和所述石英舟装载硅片后所述碳硅桨的角度；所述计算模块用于计算所述石英舟空载时和装载硅片后所述碳硅桨的角度差值，并将信号传输给所述控制装置；所述控制装置控制所述角度调节装置，将所述固定支架抬升一预设角度，且所述预设角度等于所述角度差值。
[0006]可选的，所述角度调节装置包括调节板，所述控制装置包括伺服电机，所述调节板设置在所述固定支架与所述底座之间，且与所述固定支架固定连接，所述调节板的一端与所述底座通过转轴连接；所述伺服电机与所述转轴连接，所述伺服电机带动所述转轴，将所述调节板抬升至所述预设角度。
[0007]可选的，所述控制装置包括气缸，所述角度调节装置包括气压伸缩柱，所述气压伸缩柱的一端与所述气缸连接，另一端与所述固定支架连接，所述气缸带动所述气压伸缩柱运动，将所述固定支架抬升至所述预设角度。
[0008]可选的，所述固定支架包括多个固定螺钉和支架，多个所述固定螺钉设置在所述支架上，且多个所述固定螺钉与所述碳硅桨的端部抵紧，将所述碳硅桨固定在所述支架上。
[0009]可选的，所述碳硅桨靠近所述固定支架的一端套设有保护套，多个所述固定螺钉与所述保护套抵紧。
[0010]可选的，所述调节机构还包括横向调节件，所述横向调节件的一端与所述底座固定连接，另一端与所述固定支架连接；所述横向调节件平行于所述底座，用于调节所述固定支架水平方向的位置。
[0011]可选的，所述调节结构还包括纵向调节件，所述纵向调节件一端与所述底座连接，另一端与所述固定支架连接；所述纵向调节件垂直于所述底座，用于调节所述固定支架竖直方向的位置。
[0012]本申请还公开了一种扩散炉，包括炉管，所述扩散炉还包括上述的所述定位装置，所述定位装置与所述炉管连接。
[0013]可选的，所述扩散炉还包括标尺，用于检测所述碳硅桨的位置；所述标尺包括发射部件和接收部件，所述发射部件设置在所述碳硅桨靠近所述调节机构的一侧，所述接收部件对应所述发射部件的位置设置在所述炉管上。
[0014]可选的，所述标尺为激光标尺，所述发射部件和所述接收部件均为拱形，且所述发射部件和所述接收部件的外缘均为圆弧形，所述发射部件和所述接收部件的内缘均为方形；其中，所述发射部件上设置有电源、充电接口、横向刻度参照、水平泡标正以及十字激光头，所述电源与所述充电接口电连接，所述横向刻度参照和所述水平泡标正连接，所述十字激光头与所述电源电连接。
[0015]本申请通过先利用角度传感器记录下空载状态下碳硅桨的角度，以空载状态下碳硅桨的角度为初始角度，然后在石英舟装载硅片后，通过角度传感器记录安装硅片后碳硅桨的角度，通过前后两次记录的角度，计算模块计算出角度差值，通过计算模块输出信号给控制装置，再通过控制装置带动角度调节装置将固定支架按照角度差值进行抬升，实现对碳硅桨空载时和上料后角度的补差调节，纠正碳了硅桨上料前后的位置误差，可以有效避免碳硅桨或石英舟在运行过程中发生碰撞。
附图说明
[0016]所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步地理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
[0017]图1为本申请定位装置的一实施例的示意图；
[0018]图2为本申请调节机构的第一实施例的示意图；
[0019]图3为本申请调节机构的第二实施例的示意图；
[0020]图4为本申请扩散炉的一实施例的示意图。
[0021]其中，10、扩散炉；100、定位装置；200、炉管；300、标尺；310、发射部件；320、接收部件；400、石英舟；110、碳硅桨；111、保护套；120、调节机构；121、固定支架；122、固定螺钉；123、支架本体；124、角度调节装置；125、调节板；126、气压伸缩柱；127、角度传感器；128、计算模块；129、控制装置；130、伺服电机；131、转轴；132、气缸；133、横向调节件；134、纵向调节件；140、底座。
具体实施方式
[0022]需要理解的是，这里所使用的术语、公开的具体结构和功能细节，仅仅是为了描述具体实施例，是代表性的，但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，不应被解释成仅受限于这里所阐述的实施例。
[0023]在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示相对重要性，或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，除非另有说明，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；“多个”的含义是两个或两个以上。术语“包括”及其任何变形，意为不排他的包含，可能存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。
[0024]另外，“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系的术语，是基于附图所示的方位或相对位置关系描述的，仅是为了便于描述本申请的简化描述，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0025]此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种定位装置，用于运送石英舟，所述定位装置包括碳硅桨、调节机构和底座，所述调节机构安装在所述底座上；所述碳硅桨的一端与所述调节机构连接，所述石英舟安装在所述碳硅桨上；其特征在于，所述调节机构包括固定支架、角度调节装置、角度传感器、计算模块、以及控制装置；所述固定支架通过所述角度调节装置与所述底座可转动连接，所述碳硅桨的一端与所述固定支架水平连接，所述控制装置设置在所述底座上，且与所述角度调节装置连接；所述角度传感器、所述计算模块均设置在所述固定支架上，所述角度传感器与所述计算模块连接，所述计算模块与所述控制装置连接；其中，所述角度传感器用于记录所述石英舟空载时所述碳硅桨的角度，和所述石英舟装载硅片后所述碳硅桨的角度；所述计算模块用于计算所述石英舟空载时和装载硅片后所述碳硅桨的角度差值，并将信号传输给所述控制装置；所述控制装置控制所述角度调节装置，将所述固定支架抬升一预设角度，且所述预设角度等于所述角度差值。2.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述角度调节装置包括调节板，所述控制装置包括伺服电机，所述调节板设置在所述固定支架与所述底座之间，且与所述固定支架固定连接，所述调节板的一端与所述底座通过转轴连接；所述伺服电机与所述转轴连接，所述伺服电机带动所述转轴，将所述调节板抬升至所述预设角度。3.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述控制装置包括气缸，所述角度调节装置包括气压伸缩柱，所述气压伸缩柱的一端与所述气缸连接，另一端与所述固定支架连接，所述气缸带动所述气压伸缩柱运动，将所述固定支架抬升至所述预设角度。4.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述固定支架包括多...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋修扬，孙军旗，赵利，孙玉群，
申请(专利权)人：青岛惠芯微电子有限公司北海惠科半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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