形成去除了多余压电材料的XBAR装置制造方法及图纸

一种形成滤波器装置的方法，在基板上形成粘合层，基板具有在单个管芯上的用于第一空腔的至少一个位置和用于第二空腔的至少一个位置。压电板粘合到粘合层并跨越第一空腔和第二空腔。压电板的超出第一空腔和第二空腔的周边延伸一定长度的多余部分被去除。多余部分可以是压电材料，压电材料在长度和宽度方向上延伸空腔周边至超过空腔周边的2％到25％。叉指换能器(IDT)位于压电板的正面上，并且在第一空腔上方具有交错的指状物。腔上方具有交错的指状物。腔上方具有交错的指状物。

【技术实现步骤摘要】
形成去除了多余压电材料的XBAR装置
[0001]版权和商标外观声明
[0002]本专利文件的部分公开内容含有受版权保护的材料。该专利文件可以显示和/或描述为或可以成为所有者的商标外观的事项。虽然版权和商标外观所有者因为专利公开出现在专利商标局文件或记录中而对任何人对专利公开进行传真复制无异议，但是其仍然保留版权和商标外观权。
[0003]相关申请的交叉引用
[0004]本专利要求于2020年11月13日提交，申请号为63/113,301，题为“XBAR DEVICES WITH EXCESS PIEZOELECTRIC MATERIAL REMOVED”的共同未决的美国临时专利申请的优先权。
[0005]本专利涉及于2020年12月15提交，申请号为17/123,029，题为“XBAR DEVICES WITH EXCESS PIEZOELECTRIC MATERIAL REMOVED”的共同未决的美国临时专利申请的优先权。


[0006]本公开涉及使用声波谐振器的射频滤波器，尤其涉及用于通信设备中的滤波器。
背本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种滤波器装置，包括：一基板，在单个管芯上具有至少一个第一空腔和至少一个第二空腔；一粘合层，在所述基板上形成但是未跨越所述第一空腔或所述第二空腔；一压电板，粘合至所述粘合层，且跨越所述第一空腔和所述第二空腔；其中所述压电板不包括延伸超过所述第一空腔和所述第二空腔的周边一定长度的多余部分；一第一叉指换能器(IDT)，在所述压电板的正面上且在所述第一空腔上具有交错的指状物。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一空腔具有第一周边，所述第二空腔具有第二周边；并且所述多余部分是：跨越所述第一空腔和所述第二空腔的所述压电材料的周边的长度和宽度，该长度和宽度分别延伸超过所述第一空腔和所述第二空腔的周边的长度和宽度的2％至25％之间。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述粘合层不包括延伸超过所述第一空腔和所述第二空腔的周边一定长度的多余部分。4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述基板是Si，所述粘合层是SiO2，IDT是金属。5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述压电板为铌酸锂或钽酸锂中的一种。6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：一第二IDT，位于所述第一压电板的正面上并在所述第二空腔上具有交错的指状物；以及至少一个导体，将所述第一IDT附接到所述第二IDT；其中，所述压电板仅跨越所述第一空腔和所述第二空腔；在所述IDT下方；并在所述导体下方。7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，施加到所述第一和第二IDT的相应射频信号在所述第一空腔和所述第二空腔上方的所述压电板中激发相应的主剪切声模。8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，选择压电板的厚度以调整所述压电板中的主剪切声模。9.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，还包括到所述第一和第二IDT的连接，其中所述第一和第二IDT形成RF滤波器输入和输出。10.一种形成滤波器装置的方法，包括：在基板上形成粘合层，所述基板在单个管芯上具有用于第一空腔的至少一个位置和用于第二空腔的至少一个位置；将压电板粘合至所述粘合层；去除延伸超过所述第一空腔的位置的周边和所述第二空腔的位置的周边一定长度的所述压电板的多余部分；以及在所述压电板的正面上形成第一叉指换能器(...

【专利技术属性】
技术研发人员：温切斯拉夫，
申请(专利权)人：谐振公司，
类型：发明
国别省市：