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形成去除了多余压电材料的XBAR装置制造方法及图纸
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下载形成去除了多余压电材料的XBAR装置的技术资料
文档序号:33526648
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一种形成滤波器装置的方法,在基板上形成粘合层,基板具有在单个管芯上的用于第一空腔的至少一个位置和用于第二空腔的至少一个位置。压电板粘合到粘合层并跨越第一空腔和第二空腔。压电板的超出第一空腔和第二空腔的周边延伸一定长度的多余部分被去除。多余部...
该专利属于谐振公司所有,仅供学习研究参考,未经过谐振公司授权不得商用。
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