一种电子束蒸发台坩埚组件的清理方法技术

本发明专利技术涉及一种电子束蒸发台坩埚组件的清理方法，属于半导体加工技术领域。操作步骤如下：(1)涂层制作：在使用坩埚上方放置档板，使用氮化硼喷剂在档板上方进行喷涂一层氮化硼，使氮化硼喷剂均匀的分布在坩埚侧壁上，喷涂完成后将档板取走；(2)坩埚使用：蒸镀金属；(3)坩埚侧壁清理。本发明专利技术在坩埚侧壁上喷涂氮化硼喷剂，使坩埚侧壁和金属层之间粘附程度较低，方便积聚大量金属层，清理去除操作方便，且氮化硼喷剂涂层能够耐受住1000摄氏度以上的高温环境，保证坩埚内蒸发源能够正常熔化同时，坩埚侧壁上的材料不会发生熔化而流入坩埚内，保证坩埚的正常蒸镀使用。保证坩埚的正常蒸镀使用。保证坩埚的正常蒸镀使用。

【技术实现步骤摘要】
一种电子束蒸发台坩埚组件的清理方法


[0001]本专利技术涉及一种电子束蒸发台坩埚组件的清理方法，属于半导体加工


技术介绍

[0002]发光二极管，简称LED(Light Emitting Diode)，是一种半导体组件。发光二极管通过电子与空穴的复合辐射发光，是一种依靠半导体P-N节进行电致发光的器件，由氮、砷、镓、磷等的化合物制作而成，能够将电能转化为光能。LED的结构主要由两个电极组成，即P面电极和N面电极，而电极制作的通用方法是通过金属材料由电子束蒸发台蒸镀或者溅射形成，具体工作原理是由加载高电压的电子枪的灯丝发射高能量电子束，电子束击打在金属材料表面使金属材料由固态直接变为气态，以气体分子或者金属原子的形式逐渐沉积在晶片表面，最终沉积成膜得到合适的电极结构。
[0003]通常大量的金属材料是盛放在坩埚内部进行保存，每次蒸镀时先对腔体进行抽真空，使用电子枪加热金属蒸发源进行蒸镀。通用的蒸发系统如图1所示，在腔体底部放置坩埚组件，通过在坩埚组件下方的电子枪系统发射的电子数击打在蒸发源上，使蒸发源的材料沉积到晶片表面。但是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子束蒸发台坩埚组件的清理方法，其特征在于，操作步骤如下：(1)涂层制作：在使用坩埚上方放置档板，使用氮化硼喷剂在档板上方进行喷涂一层氮化硼，使氮化硼喷剂均匀的分布在坩埚侧壁上，喷涂完成后将档板取走；(2)坩埚使用：在喷涂有氮化硼喷剂涂层的坩埚内放置金属蒸发源，进行蒸镀金属；(3)坩埚侧壁清理：使用工具将坩埚侧壁上的金属层刮除，完成坩埚侧壁清理。2.如权利要求1所述的电子束蒸发台坩埚组件的清理方法，其特征在于，步骤(1)中所述挡板为圆形挡板，挡板直径大于坩...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐晓强，程昌辉，吴向龙，闫宝华，王成新，
申请(专利权)人：山东浪潮华光光电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：