【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜的盛放装置
[0001]本技术涉及真空镀膜
,特别涉及一种用于真空镀膜的盛放装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法。例如,真空镀铝、真空镀铬等。真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。众所周知,在某些材料的表面上,只要镀上一层薄膜,就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。
[0003]在镀膜过程中,会将镀膜材料放在盛放装置中。当电子束打在镀膜材料上时,镀膜材料与盛放装置充分接触,进而热能得以释放,使材料升华镀膜,而此时镀膜材料上因为其升华的缘故,镀膜材料上表面出现凹槽。为了节约材料,作业人员在镀膜结束后,会将镀膜材料翻转180
°
后再 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜的盛放装置,其特征在于,包括:坩埚,其设置有容纳槽,所述容纳槽的深度为16毫米;垫环,其设于所述容纳槽中,所述垫环的厚度为8毫米;其中,当镀膜材料放在所述垫环上时,所述垫环厚度与镀膜材料厚度之和等于所述容纳槽深度。2.根据权利要求1所述一种用于真空镀膜的盛放装置,其特征在于,所述坩埚一端设有蒸发部,所述蒸发部上设有电子束过孔。3.根据权利要求1所述一种用于真空镀膜的盛放装置,其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员:严东,冉光普,龙云琛,谢宗绪,
申请(专利权)人:贵州铜仁旭晶光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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