【技术实现步骤摘要】
一种电子束蒸发观察窗镜片支架装置
[0001]本技术涉及电子束蒸发台
，具体涉及一种电子束蒸发观察窗镜片支架装置。
技术介绍
[0002]金属化是半导体芯片制造过程中在绝缘介质薄膜上沉积金属薄膜以及随后刻印图形以便形成金属互连金属线和集成电路的孔填充塞的过程，半导体制造设备电子束蒸发台是将待蒸发的材料放置进坩埚，在真空系统中用电子束加热并使其蒸发，撞击到硅片表面凝结形成金属薄膜，而观察窗的主要作用是在蒸发台做工艺产品时，用来观察工艺腔体内高压电子束打在坩埚内材料上的状态，金属源熔化的状态以及样片旋转的状态等。
[0003]现有技术存在以下不足：良好的观察窗设计，可以减少反射镜片的保养，使观察界面清晰，但是现有的观察窗大多为固定式结构，不管是安装还是拆卸都较为麻烦，而且用于观察窗的调节器大多操作麻烦，在使用时需要不断调整反射镜片的角度与位置，费时费力。
[0004]因此，提供一种电子束蒸发观察窗镜片支架装置很有必要。
技术实现思路
[0005]为此，本技术提供一种电子束蒸发观察窗镜片支架装置，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电子束蒸发观察窗镜片支架装置，包括遮板(1)，其特征在于：所述遮板(1)中部表面开设有通槽(2)，所述通槽(2)内顶部设有上支架(3)，所述通槽(2)内底部设有下支架(4)，所述遮板(1)底部一侧固定嵌设有壳体(5)，所述壳体(5)内设有调节机构；所述调节机构包括转杆(6)与蜗杆(7)，所述转杆(6)贯穿壳体(5)一端且与壳体(5)转动连接，所述转杆(6)位于壳体(5)外的一端固定连接有调节钮(8)，所述转杆(6)位于壳体(5)内的一端固定连接有第一锥齿轮(9)，所述壳体(5)内部两侧均固定连接有支撑板(10)，两个所述支撑板(10)一侧均固定嵌设有第一轴承，所述蜗杆(7)两端分别与两个第一轴承内圈固定连接，所述蜗杆(7)一端固定连接有连接杆(11)，所述连接杆(11)远离蜗杆(7)一端固定连接有第二锥齿轮(12)，所述第二锥齿轮(12)与第一锥齿轮(9)啮合连接，所述蜗杆(7)底部设有传动齿轮(13)，所述传动齿轮(13)与蜗杆(7)啮合连接，所述传动齿轮(13)一侧设有齿条(14)，所述齿条(14)与传动齿轮(13)啮合连接。2.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发观察窗镜片支架装置，其特征在于：所述遮板(1)整体为圆形，所述通槽(2)为矩形。3.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发观察窗镜片支架装置，其特征在于：所述壳体(5)一端固定嵌设有第二轴承，所述第二轴承内圈固定连接有支杆(15)，所述支杆(15)一端与传动齿轮(13)中部固定连接。4.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：马溢华，赵志强，
申请(专利权)人：无锡芯谱半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。