坩埚融料前添加膜料装置制造方法及图纸

本申请涉及一种坩埚融料前添加膜料装置，包括：底座、连接于底座的坩埚、与驱动源连接的转动机构、融料件、添料组件和限位组件；添料组件连接于转动机构且能够在转动机构的带动下相对坩埚转动，添料组件包括转动连接的料筒和下料座，下料座设有漏料孔，料筒和下料座中之一与转动机构相连，限位组件用于料筒和下料座之另一进行限位；当限位组件对下料座或料筒限位时，转动机构转动能够带动料筒和下料座相对转动以使料筒相对漏料孔移动并选择地连通。上述方案中仅通过旋转转动机构就可以实现坩埚融料时添加膜料，不需要打开镀膜机门就可以操作，相较于现有技术中坩埚融料完成后开门添加膜料，操作更加方便，生产效率更高。生产效率更高。生产效率更高。

【技术实现步骤摘要】
坩埚融料前添加膜料装置


[0001]本申请涉及镀膜
，特别是涉及一种坩埚融料前添加膜料装置。

技术介绍

[0002]常用的镀膜材料TiO
X
(直径1～3mm的颗粒状)镀膜蒸发过程中所需温度较其它材料(SiO2、Al2O3)更高。镀膜蒸发过程中电子枪能量高，未预融过的膜料在电子束轰击时易炸裂飞溅，造成镀膜过程所需的蒸发速率无法达到，其次膜料飞溅会影响真空室内洁净度，产品表面形成黑色点状颗粒，降低外观良率。为保证镀膜过程的稳定性，TiO
x
材料使用前需先融化使其成块状整体(常称为：融埚)。融埚过程通常需要分5～6次进行，每次在坩埚内添加少量膜料(能盖住坩埚底部或下端已融好膜料即可，膜料添加太多，电子束难以轰击在下层膜料上，达不到融埚效果，使用时下端膜料被电子束轰击仍会炸裂)，手动控制电子枪发出的高能电子束，轰击在膜料上，使膜料逐渐融化，每台机有12个坩埚位，一次可融12个坩埚。
[0003]现有问题点在于融埚时机台需达到高真空状态，每次12个坩埚融料完成后，需充气开门添加膜料，再关门抽气达到高真空状本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚融料前添加膜料装置，其特征在于，包括：底座、连接于底座的坩埚、与驱动源连接的转动机构、融料件、添料组件和限位组件；所述添料组件连接于所述转动机构且能够在所述转动机构的带动下相对所述坩埚转动，所述添料组件包括转动连接的料筒和下料座，所述下料座设有漏料孔，所述料筒和所述下料座中之一与所述转动机构相连，所述限位组件用于所述料筒和所述下料座之另一进行限位；当所述限位组件对所述下料座或所述料筒限位时，所述转动机构转动能够带动所述料筒和所述下料座相对转动以使所述料筒相对所述漏料孔移动并选择地连通。2.根据权利要求1所述的坩埚融料前添加膜料装置，其特征在于，所述料筒连接于所述转动机构，所述限位组件对所述下料座限位，当所述限位组件对所述下料座限位时，所述转动机构转动能够带动所述料筒相对所述下料座转动以相对所述漏料孔移动以使所述漏料孔与所述料筒选择地连通。3.根据权利要求1所述的坩埚融料前添加膜料装置，其特征在于，还包括预融挡板，所述预融挡板通过连杆固定连接所述转动机构，所述转动机构能够带动所述预融挡板相对所述坩埚移动，能够位于所述坩埚的上方并对所述坩埚遮挡。4.根据权利要求1所述的坩埚融料前添加膜料装置，其特征在于，所述下料座的外周呈弧形且所述下料座的外周设有内凹的凹槽。5.根据权利要求4所述的坩埚融料前添加膜料...

【专利技术属性】
技术研发人员：金笛，许晓枭，王武洋，
申请(专利权)人：万津实业赤壁有限公司，
类型：发明
国别省市：