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本发明涉及一种电子束蒸发台坩埚组件的清理方法，属于半导体加工技术领域。操作步骤如下：(1)涂层制作：在使用坩埚上方放置档板，使用氮化硼喷剂在档板上方进行喷涂一层氮化硼，使氮化硼喷剂均匀的分布在坩埚侧壁上，喷涂完成后将档板取走；(2)坩埚使用...
该专利属于山东浪潮华光光电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东浪潮华光光电子股份有限公司授权不得商用。

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