一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于解决现有设备难以精确调节电子束位置及位置漂移的问题。其包括电子枪主体和电子枪枪头组件，电子枪主体包括电子枪底座，电子枪底座上设有主极靴，电子枪底座上设有电磁铁组件，电磁铁组件包括铁芯，铁芯上绕设有通电线圈，铁芯上设有过线槽孔，通电线圈的引出线过线穿过过线槽孔，铁芯两端开设有固定螺孔，还设有固定螺钉，固定螺钉穿过主极靴与固定螺孔螺纹连接，引出线依次穿过主极靴孔和引出线锁紧螺母并通过柔性波纹管和电气接插件引出到真空室外与精密恒流源电连接，主极靴上安装有电磁铁防护罩。本实用新型专利技术适用于真空镀膜机电子枪。空镀膜机电子枪。空镀膜机电子枪。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构


[0001]本技术属于真空镀膜机设备
，具体涉及一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构。

技术介绍

[0002]实随着科学技术的飞速发展，真空镀膜的技术已经得到普遍应用，在真空镀制薄膜时，真空腔体内电子枪产生的热电子束轰击蒸发材料的位置应该是长期稳定不变，特别用于高端光学镀膜时尤为重要，也是保证被制产品的重复性的重要因素。传统的方法是在电磁铁同一位置上安装一块汝铁硼永磁铁来实现控制热电子束前后偏转的位置，其结果是由于永磁本身材料的特性，自身会受外界温度的影响而改变及磁力的大小，而电子枪本身就工作在一个高热的环境中，因此，热电子束的位置也会随之发生热“漂移”现象是必然的，另外永久磁铁控制热电子束的位置是靠增减短磁片来控制磁场力的大小完成，故此要精确调节电子束的位置尤为困难。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于：提供一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构，解决现有设备难以精确调节电子束位置的问题及位置漂移的问题。
[0004]本技术采用的技术方案如下：
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构，其特征在于，包括电子枪主体和安装在电子枪主体上的电子枪枪头组件(16)，所述电子枪主体包括电子枪底座(1)，所述电子枪底座(1)上表面两端均设置有主极靴(12)，主极靴(12)上开设有主极靴孔(303)，所述电子枪底座(1)上表面位于主极靴(12)之间设置有电磁铁组件，所述电磁铁组件包括铁芯(201)，铁芯(201)上绕设有通电线圈(202)，铁芯(201)的一端开设有过线槽孔(204)，所述通电线圈(202)的引出线(203)穿过过线槽孔(204)，所述铁芯(201)两端开设有四个固定螺孔(205)，还设置有固定螺钉(401)，所述固定螺钉(401)穿过主极靴(12)与铁芯(201)两端的固定螺孔(205)螺纹连接，所述引出线(203)依次穿过主极靴孔(303)和固定在主极靴(12)上的引出线锁紧螺母(302)并通过柔性波纹管和电气接插件引出到真空室外与精密恒流源电连接，所述主极靴(12)上通过固定螺丝(403)安装有电磁铁防护罩(2)。2.按照权利要求1所述的一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构，其特征在于，所述主极靴(12)两侧还设置有电磁铁过线护罩(301)，所述电磁铁...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛照明，薛海，杨毅，
申请(专利权)人：成都天一国泰真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：