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本实用新型公开了一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构,属于真空镀膜机设备技术领域,目的在于解决现有设备难以精确调节电子束位置及位置漂移的问题。其包括电子枪主体和电子枪枪头组件,电子枪主体包括电子枪底座,电子枪底座上设有主极靴,电子枪底座...该专利属于成都天一国泰真空设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都天一国泰真空设备有限公司授权不得商用。
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