本申请提供一种晶圆脚本设定方法、装置、设备及存储介质。若需求单元根据参变量信息确定待执行脚本的执行必要条件满足业务需求，平台单元获取待执行脚本的批次标识以及对应的生产信息，在需求单元确定待执行脚本对应的晶圆首次执行待执行脚本，平台单元检验第一晶圆对应的第一生产信息是否满足执行必要条件，若是，平台单元为第一晶圆设定参变量信息以及赋值信息，并将设定信息后的第一晶圆同步至物料执行单元，以使物料执行单元执行相应操作。无需修改脚本进程，即可实现对待执行脚本的即时设定，并从源头避开了不符合执行必要条件的待执行脚本，避免了晶圆批量报废风险的发生，并且设定过程与批次数量无关，不会对整体生产效能产生影响。能产生影响。能产生影响。
【技术实现步骤摘要】
晶圆脚本设定方法、装置、设备及存储介质
[0001]本申请涉及集成电路及半导体
，尤其涉及一种晶圆脚本设定方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
[0002]随着计算机技术以及互联网技术的快速发展，集成电路产业正迎来发展的重要机遇期及挑战期。在晶圆的实际生产工况中，由于业务需求，需求申请者往往会根据实际情况需要调整晶圆执行脚本，以向执行脚本的设定者提出修改需求。
[0003]现有技术中，当需求申请者提出修改需求时，设定者都需要针对需求变更对应的执行脚本。并在变更执行脚本时，只依据需求申请者提供的批次标识进行相应修改，不但做不到实时变更，还无法核实当前批次晶圆的生产信息，极易由于修改脚本发生错误导致批量晶圆报废。此外，现有的方案中，需求申请者针对修改需求，每次都需要向设定者提交相应信息，耗时较长，尤其当同批次的晶圆数量较多时，会导致执行脚本的进程变长，影响生产系统的整体效能。
[0004]可见，针对现有方案中存在的上述问题，亟需一种解决方案。
技术实现思路
[0005]本申请提供一种晶圆脚本设定方法、装置、设备及存储介质，用于解决现有的晶圆执行脚本设定方案在进行晶圆的脚本变更时耗时较长、存在晶圆报废风险以及影响生产系统整体效能等技术问题。
[0006]第一方面，本申请提供一种晶圆脚本设定方法，应用于制造执行系统，所述系统包括需求单元、设定单元、平台单元及物料执行单元；所述方法包括：
[0007]若所述需求单元根据参变量信息确定待执行脚本的执行必要条件满足业务需求，则所述平台单元获取所述待执行脚本的批次标识以及对应的生产信息，所述执行必要条件为所述设定单元根据所述业务需求对所述待执行脚本设置的相应条件；
[0008]若所述需求单元确定所述待执行脚本对应的晶圆首次执行所述待执行脚本，所述平台单元检验第一晶圆对应的第一生产信息是否满足所述执行必要条件，所述第一晶圆为所述需求单元选定并导入至所述平台单元的首次执行所述待执行脚本的晶圆；
[0009]若检验结果为是，所述平台单元为所述第一晶圆设定所述参变量信息以及赋值信息，并将设定信息后的所述第一晶圆同步至所述物料执行单元，以使所述物料执行单元执行相应操作。
[0010]在一种可能的设计中，若所述需求单元确定所述晶圆非首次执行所述待执行脚本，所述方法，还包括：
[0011]所述平台单元根据第二晶圆对应的批次标识以及第二生产信息确定执行状态，所述执行状态包括已过执行站点或未过执行站点。
[0012]在一种可能的设计中，若确定所述执行状态为所述已过执行站点，所述平台单元
为所述第二晶圆设定第一标注信息，以禁止对所述第二晶圆进行取消资格操作；或者
[0013]若确定所述执行状态为所述未过执行站点，所述平台单元为所述第二晶圆设定第二标注信息，以允许对所述第二晶圆进行取消资格操作。
[0014]在一种可能的设计中，所述允许对所述第二晶圆进行取消资格操作，包括：
[0015]所述平台单元删除所述参变量信息，以取消所述第二晶圆执行对应脚本的相应资格；或者
[0016]所述平台单元变更所述参变量信息，以使变更后的参变量信息不满足所述执行必要条件。
[0017]在一种可能的设计中，若所述需求单元根据所述参变量信息确定所述待执行脚本的所述执行必要条件未满足所述业务需求，所述方法，还包括：
[0018]所述需求单元确定所述执行必要条件的错误信息，并向用户单元显示所述错误信息。
[0019]在一种可能的设计中，在所述平台单元获取所述待执行脚本的批次标识以及对应的生产信息之后，所述方法，还包括：
[0020]所述平台单元确定所述待执行脚本对应的晶圆的批次数量，并根据最大批次数量确定可添加的批次数量；
[0021]若所述平台单元确定第三晶圆批次数量大于所述可添加的批次数量，所述需求单元对所述第三晶圆的所述批次数量进行修改，以使对应的所述批次数量小于或等于所述可添加的批次数量，所述第三晶圆为所述需求单元选定的所述首次执行所述待执行脚本的晶圆；
[0022]若所述平台单元确定所述第三晶圆的批次数量不大于所述可添加的批次数量，所述需求单元通过待导入列表将所述第三晶圆以及所述第三晶圆对应的批次标识与生产信息导入至所述平台单元。
[0023]在一种可能的设计中，在所述需求单元通过所述待导入列表将所述第三晶圆以及所述第三晶圆对应的批次标识与生产信息导入至所述平台单元之前，所述方法，还包括：
[0024]所述设定单元设置列项目内容，并根据所述列项目内容生成至少一个数据导入模板，所述列项目内容用于表征所述第三晶圆对应的批次标识和生产信息的特征信息；
[0025]所述需求单元从所述至少一个数据导入模板中确定出与所述第一晶圆相匹配的相应模板，并将所述相应模板确定为所述待导入列表。
[0026]在一种可能的设计中，若所述检验结果为否，所述需求单元对所述第一晶圆进行修改，以使所述平台单元重新进行检验。
[0027]在一种可能的设计中，在所述需求单元根据所述参变量信息确定所述待执行脚本的所述执行必要条件满足所述业务需求之前，还包括：
[0028]所述设定单元根据所述业务需求设置所述参变量信息以及所述执行必要条件；
[0029]所述执行必要条件包括所述待执行脚本对应的批次类型、批次产品号、对应执行站点、子母批次脚本执行状态、所述最大批次数量以及批次等级中的至少一项；
[0030]所述参变量信息与所述执行必要条件具有关联关系。
[0031]第二方面，本申请提供一种晶圆脚本设定装置，包括：
[0032]获取模块，用于若需求单元根据参变量信息确定待执行脚本的执行必要条件满足
业务需求，则平台单元获取所述待执行脚本的批次标识以及对应的生产信息，所述执行必要条件为设定单元根据所述业务需求对所述待执行脚本设置的相应条件；
[0033]检验模块，用于若所述需求单元确定所述待执行脚本对应的晶圆首次执行所述待执行脚本，所述平台单元检验第一晶圆对应的第一生产信息是否满足所述执行必要条件，所述第一晶圆为所述需求单元选定并导入至所述平台单元的首次执行所述待执行脚本的晶圆；
[0034]设定模块，用于若检验结果为是，所述平台单元为所述第一晶圆设定所述参变量信息以及赋值信息，并将设定信息后的所述第一晶圆同步至物料执行单元，以使所述物料执行单元执行相应操作。
[0035]在一种可能的设计中，若所述需求单元确定所述晶圆非首次执行所述待执行脚本，所述装置，还包括：
[0036]第一处理模块，用于所述平台单元根据第二晶圆对应的批次标识以及第二生产信息确定执行状态，所述执行状态包括已过执行站点或未过执行站点，所述第二晶圆为非首次执行所述待执行脚本的晶圆。
[0037]在一种可能的设计中，所述第一处理模块，包括：
[0038]第一处理子单元，用于若确定所述执行状态为所述已过执行站点，所述平台单本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆脚本设定方法，其特征在于，应用于制造执行系统，所述系统包括需求单元、设定单元、平台单元及物料执行单元；所述方法包括：若所述需求单元根据参变量信息确定待执行脚本的执行必要条件满足业务需求，则所述平台单元获取所述待执行脚本的批次标识以及对应的生产信息，所述执行必要条件为所述设定单元根据所述业务需求对所述待执行脚本设置的相应条件；若所述需求单元确定所述待执行脚本对应的晶圆首次执行所述待执行脚本，所述平台单元检验第一晶圆对应的第一生产信息是否满足所述执行必要条件，所述第一晶圆为所述需求单元选定并导入至所述平台单元的首次执行所述待执行脚本的晶圆；若检验结果为是，所述平台单元为所述第一晶圆设定所述参变量信息以及赋值信息，并将设定信息后的所述第一晶圆同步至所述物料执行单元，以使所述物料执行单元执行相应操作。2.根据权利要求1所述的晶圆脚本设定方法，其特征在于，若所述需求单元确定所述晶圆非首次执行所述待执行脚本，所述方法，还包括：所述平台单元根据第二晶圆对应的批次标识以及第二生产信息确定执行状态，所述执行状态包括已过执行站点或未过执行站点，所述第二晶圆为非首次执行所述待执行脚本的晶圆。3.根据权利要求2所述的晶圆脚本设定方法，其特征在于，若确定所述执行状态为所述已过执行站点，所述平台单元为所述第二晶圆设定第一标注信息，以禁止对所述第二晶圆进行取消资格操作；或者若确定所述执行状态为所述未过执行站点，所述平台单元为所述第二晶圆设定第二标注信息，以允许对所述第二晶圆进行取消资格操作。4.根据权利要求3所述的晶圆脚本设定方法，其特征在于，所述允许对所述第二晶圆进行取消资格操作，包括：所述平台单元删除所述参变量信息，以取消所述第二晶圆执行对应脚本的相应资格；或者所述平台单元变更所述参变量信息，以使变更后的参变量信息不满足所述执行必要条件。5.根据权利要求1-4任一项所述的晶圆脚本设定方法，其特征在于，若所述需求单元根据所述参变量信息确定所述待执行脚本的所述执行必要条件未满足所述业务需求，所述方法，还包括：所述需求单元确定所述执行必要条件的错误信息，并向用户单元显示所述错误信息。6.根据权利要求5所述的所述的晶圆脚本设定方法，其特征在于，在所述平台单元获取所述待执行脚本的批次标识以及对应的生产信息之后，所述方法，还包括：所述平台单元确定所述待执行脚本对应的晶圆的批次数量，并根据最大批次数量确定可添加的批次数量；若所述平台单元确定第三晶圆的批次数量大于所述可添加的批次数量，所述需求单元对所述第三晶圆的所述批次数量进行修改，以使对应的所述批次数量小于或等于所述可添加的批次数量，所述第三晶圆为所述需求单元选定的所述首次执行所述待执行脚...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏笙华，谢明宏，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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