本实用新型专利技术公开了一种应用于流体导通的铰链，包括铰链主体和铰链头，铰链主体的顶部两侧分别设有铰接部，铰接部的相对侧面设有铰接孔，铰链主体内部设有与铰接孔连通的第一流体通道，第一流体通道于铰链主体的表面形成若干第一流体接口，铰链头设置于铰接部之间，铰链头的内部设有第二流体通道，铰链头的两侧设有铰接柱，铰接柱设有与第二流体通道连通的导孔，第二流体通道于铰接头的表面形成若干第二流体接口，铰接孔的孔壁设有密封槽，密封槽内设有密封环，铰接柱设置在铰接孔内通过密封环密封，导孔导通第一流体通道和第二流体通道。本实用新型专利技术还公开了应用该铰链的晶圆键合装置。本实用新型专利技术可避免气路连接管路的应力影响盖板的开合操作。盖板的开合操作。盖板的开合操作。
【技术实现步骤摘要】
一种应用于流体导通的铰链及晶圆键合装置
[0001]本技术涉及一种铰链，特别是涉及一种应用于流体导通的铰链及晶圆键合装置。
技术介绍
[0002]在机械连接中，铰链常用与连接两个固件并允许两者之间做相对转动的运动。现有的铰链结构虽然出现了阻尼铰链等新型号，但是在涉及气路，液压油路等流体导通控制时，需要额外布置线路，对结构设计，外观等影响较大。在晶圆键合装置中，需要通过盖板吸附晶圆及其衬底，由于盖板需要经常性的开合，外置气路连接盖板后在盖板开合过程中，管路本身具有一定应力，容易影响盖板的开合状态，并且外露的管道也影响其他操作。
技术实现思路
[0003]针对上述现有技术的缺陷，本技术提供了一种应用于流体导通的铰链，目的是解决晶圆键合装置中盖板的气路连接问题。本技术还提供了一种晶圆键合装置。
[0004]本技术技术方案如下：一种应用于流体导通的铰链，包括铰链主体和铰链头，所述铰链主体的顶部两侧分别设有铰接部，所述铰接部的相对侧面设有铰接孔，所述铰链主体内部设有第一流体通道，所述第一流体通道与所述铰接孔连通，所述第一流体通道于所述铰链主体的表面形成若干第一流体接口，所述铰链头设置于所述铰接部之间，所述铰链头的内部设有第二流体通道，所述铰链头的两侧设有铰接柱，所述铰接柱设有与所述第二流体通道连通的导孔，所述第二流体通道于所述铰接头的表面形成若干第二流体接口，所述铰接孔的孔壁设有密封槽，所述密封槽内设有密封环，所述铰接柱设置在所述铰接孔内通过所述密封环密封，所述导孔导通所述第一流体通道和所述第二流体通道。<br/>[0005]进一步地，为了便于铰链的组装，所述铰链主体包括中间本体和侧装体，所述侧装体设有两个分别固定设置于所述中间本体的两侧，所述侧装体突出于所述中间本体的顶面形成所述铰接部，所述第一流体通道、所述第一流体接口和所述铰接孔均设置于所述侧装体。
[0006]进一步地，所述应用于流体导通的铰链以所述中间本体的长度方向轴线为对称轴呈左右各对称结构。
[0007]一种晶圆键合装置，包括基座、应用于流体导通的铰链、抽气盖板和加热载体，所述铰链和所述加热载体固定设置于所述基座，所述基座设有顶板，所述铰链的铰链头和所述加热载体露出于所述顶板，抽气盖板盖合于所述加热载体上，所述铰链头通过横杆与所述抽气盖板固定连接，所述抽气盖板内设有抽气通道，所述抽气通道的入口设置于所述抽气盖板的底面，所述抽气通道的出口设置于所述抽气盖板的侧面，所述抽气通道的出口通过抽气管与所述铰链头的所述第二流体接口连接。
[0008]进一步地，为了方便地对抽气盖板盖合时进行定位，避免抽气盖板盖合后意外移动，所述顶板上位于所述加热载体的两侧设有若干转动的卡接柱，所述卡接柱转动时垂直
或者倾斜于所述顶板，所述抽气盖板上设有若干由所述抽气盖板边沿向内延伸的卡槽，所述抽气盖板盖合于所述加热载体上时，所述卡槽的末端位置位于所述卡接柱与所述顶板连接点的正上方。
[0009]本技术所提供的技术方案的优点在于：
[0010]在铰链转动的机械结构中，利用了铰链本体构成流体通道，既可以大大节约空间，又可以提升设备流道的隐蔽性，美观性，不会因为管道连接部件的运动引起管路变形，方便使用和操作。
附图说明
[0011]图1为应用于流体导通的铰链的结构示意图。
[0012]图2为应用于流体导通的铰链的铰链主体结构示意图。
[0013]图3为应用于流体导通的铰链的铰链头结构示意图。
[0014]图4为应用于流体导通的铰链的纵剖结构示意图。
[0015]图5为晶圆键合装置的结构示意图。
[0016]图6为晶圆键合装置的剖面结构示意图。
具体实施方式
[0017]下面结合实施例对本技术作进一步说明，应理解这些实施例仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围，在阅读了本说明之后，本领域技术人员对本说明的各种等同形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围内。
[0018]请结合图1至图4所示，本实施例的应用于流体导通的铰链由铰链主体1和铰链头2两部分构成，整体呈左右对称结构。其中铰链主体1包括中间本体101和侧装体102，侧装体102设有两个，通过螺钉对称固定在中间本体101的左右两侧。侧装体102与中间本体101具有相同的厚度使两者前后表面相对齐。侧装体102的长度长于中间本体101，固定时，侧装体102的底面与中间本体101的底面齐平，侧装体102的顶部突出于中间本体101的顶面形成铰接部1a。铰接部1a的相对侧面设有铰接孔1b，在侧装体102内开设第一流体通道1c，第一流体通道1c与铰接孔1b连通，第一流体通道1c在侧装体102的表面形成若干第一流体接口1d，在本实施例中，分别在侧装体102的前面、后面及底面设置了第一流体接口1d以连接不同的管路。
[0019]铰链头2设置在铰接部1a之间，具体的是在铰链头2的两侧设有横向延伸的铰接柱2a，铰接柱2a设有与铰接柱2a柱体同轴的导孔2b，铰链头2的内部设有第二流体通道2c，导孔2b与第二流体通道2c连通。铰链头2两侧的铰接柱2a分别插入铰链主体1两侧铰接部1a的铰接孔1b中，铰接孔1b的孔壁设有环形的密封槽1e，密封槽1e内设有密封环，铰接柱2a插入铰接孔1b后通过该密封环形成密封。此时，导孔2b与铰接孔1b导通，从而使得该铰链中，第一流体通道1c通过铰接孔1b及导孔2b与第二流体通道2c连通构成一个完成的流体通道，使得与铰链主体1相连的管路能够通过铰链连接至与铰链头2相连的管路，而不受铰链活动的影响。
[0020]采用本技术的应用于流体导通的铰链的晶圆键合装置结构如图5、6所示，包括基座3、应用于流体导通的铰链、抽气盖板4和加热载体5，铰链的铰链主体1以及加热载体
5固定在基座3上，基座3设有顶板6以遮盖晶圆键合装置的其他部件，如管路等。铰链的铰链头2和加热载体5的顶部从顶板6上露出。抽气盖板4呈圆盘状，其盖合于在加热载体5上，与加热载体5之间构成一个密闭腔体以提供键合环境，铰链头2通过横杆9与抽气盖板4固定连接，由此抽气盖板4可以通过铰链头2的转动由加热载体5的一侧抬起而打开。抽气盖板4内设有抽气通道4a，抽气通道4a的入口设置于抽气盖板4的底面，抽气通道4a的出口设置于抽气盖板4的侧面，抽气通道4a的出口通过抽气管与铰链头2的第二流体接口2d连接，晶圆键合装置的抽气管路则连接至铰链主题的第一流体接口1d，从而通过铰链及抽气盖板4对密闭腔体进行抽气。为了方便地对抽气盖板4盖合时进行定位，顶板6上位于所述加热载体5的两侧设有连接板7，在连接板7的侧面安装有可以转动的四根卡接柱8，卡接柱8可以在竖直与顶板6或者倾斜于顶板6的状态间转动。抽气盖板4上设有若干由抽气盖板4边沿向内延伸的卡槽4b，卡槽4b的延长线为抽气盖板4截面圆形的一条不经过圆心的弦，弦的两端分别设置一个卡槽4b。抽气盖板4盖合于加热载体5上时，卡槽4b的末端位置位于卡接柱8与顶板6连接点的正上方。本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种应用于流体导通的铰链，其特征在于，包括铰链主体和铰链头，所述铰链主体的顶部两侧分别设有铰接部，所述铰接部的相对侧面设有铰接孔，所述铰链主体内部设有第一流体通道，所述第一流体通道与所述铰接孔连通，所述第一流体通道于所述铰链主体的表面形成若干第一流体接口，所述铰链头设置于所述铰接部之间，所述铰链头的内部设有第二流体通道，所述铰链头的两侧设有铰接柱，所述铰接柱设有与所述第二流体通道连通的导孔，所述第二流体通道于所述铰链头的表面形成若干第二流体接口，所述铰接孔的孔壁设有密封槽，所述密封槽内设有密封环，所述铰接柱设置在所述铰接孔内通过所述密封环密封，所述导孔导通所述第一流体通道和所述第二流体通道。2.根据权利要求1所述的应用于流体导通的铰链，其特征在于，所述铰链主体包括中间本体和侧装体，所述侧装体设有两个分别固定设置于所述中间本体的两侧，所述侧装体突出于所述中间本体的顶面形成所述铰接部，所述第一流体通道、所述第一流体接口和所述铰接孔均设置于所述侧装体。3.根据权利要求2所述的应用于流体导通的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李奕，谢华伟，
申请(专利权)人：苏州铼铂机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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