一种外槽循环光伏湿法槽式装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种外槽循环光伏湿法槽式装置，包括内、外槽循环管路的两路循环；其中内槽循环管路包括内槽、外槽、外槽通至抽水泵的第一管路、抽水泵连通至臭氧湿模块的第二管路、臭氧湿模块通至内槽的第三管路模块、以及臭氧湿模块连接至臭氧发生装置的第四管路；外槽自循环管路包括外槽通至抽水泵的第一管路、抽水泵连通至臭氧湿模块的第二管路以及臭氧湿模块通至外槽的第五管路。本实用新型专利技术通过增设的独立的外槽自循环管路，在不影响工艺期间扰流的前提下，提高臭氧槽内的浓度值。既不用增加臭氧发生器的功率或数量，也不用增加工艺槽数量以获得更多通气的时间，满足量产所需的情况下，大大节约了设备部件的成本。大大节约了设备部件的成本。大大节约了设备部件的成本。

【技术实现步骤摘要】
一种外槽循环光伏湿法槽式装置


[0001]本技术涉及光伏组件领域，尤其是一种外槽循环光伏湿法槽式装置。

技术介绍

[0002]目前主流的晶硅太阳能电池和异质结太阳能电池的生产制备过程，制绒清洗工序承担对硅片表面制绒和清洗的角色。早期的清洗工艺主要以硝酸清洗(硝酸和氢氟酸混合液)和双氧水清洗(双氧水和氢氧化钾或盐酸混合液)为主。然而硝酸清洗会产生含氮废水，双氧水清洗运营成本偏高，臭氧工艺(臭氧水和氢氟酸、盐酸的混合液)既无氨氮废水排放，运营成本也低，相对于前两种清洗方法具有更加环保和消耗低的特点，所以如今被广泛应用。臭氧工艺保证其清洗效果的前提是需保证臭氧的浓度。然而现有技术中存在溶解度较低的问题，量产情况很难保证稳定的浓度。
[0003]现有技术中的臭氧槽循环管路的标准配置如图1所示；溶液由内槽溢流到外槽，泵从外槽把溶液抽出，再送至内槽，实现循环。臭氧在泵的出口与内槽之间的管路上开口引入(此处省略臭氧的控制模块的细节)，伴随循环的水流，臭氧持续的通入槽内。而实际制程中，当硅片进入槽子里开始工艺时，保持循环会对槽内的液体造成扰动，导致硅片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外槽循环光伏湿法槽式装置，其特征在于包括内槽循环管路以及外槽循环管路的两路循环；所述内槽循环管路包括内槽(1)、外槽(2)、外槽(2)下方通至抽水泵(3)的第一管路(11)、从抽水泵(3)连通至臭氧湿模块(4)的第二管路(12)以及臭氧湿模块(4)通至内槽下方的第三管路模块(13)；还包括所述臭氧湿模块(4)连接至臭氧发生装置(5)的第四管路(14)；所述外槽自循环管路包括外槽(2)下方通至抽水泵(3)的第一管路(11)、从抽水泵(3)连通至臭氧湿模块(4)的第二管路(12)以及臭氧湿模块(4)通至外槽(2)上方的第五管路(15)。2.根据权利要求1所述的外槽循环光伏湿法槽式装置，其特征在于：所述臭氧湿模块(4)还连接有管道臭氧浓度监控管路模块。3.根据权利要求2所述的外槽循环光伏湿法槽式装置，其特征在于：所述管道臭氧浓度监控管路模块包括连接至外槽上方的第六管路(...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈贤刚，裴文龙，葛敏丹，龚庆，
申请(专利权)人：江苏启威星装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：