取样量测方法及设备技术

本申请提供一种取样量测方法及设备。该方法包括：根据生产单元对应制程的取样比例，周期性地对生产单元的在制品进行取样量测，其中，每个生产单元用于完成至少一个制程；根据生产单元对应制程的在制品的量测结果，确定生产单元对应制程的稳定性指标；根据生产单元对应制程的稳定性指标，对生产单元对应制程的取样比例进行调整，并将调整后的取样比例作为最新取样比例。从而，在保证制程稳定性的基础上，实现了量测机台的最优测量分配。实现了量测机台的最优测量分配。实现了量测机台的最优测量分配。

【技术实现步骤摘要】
取样量测方法及设备


[0001]本申请涉及半导体技术，尤其涉及一种取样量测方法及设备。

技术介绍

[0002]半导体器件的生产过程包括多个制程，为了对制程稳定性进行监控、提升产品良率，需要对生产过程中各个制程的在制品进行取样测量，以确定各个制程是否满足质量要求。
[0003]目前的取样量测方法，往往是由工程师根据自己的经验从各个制程选取固定比例的在制品进行量测。在量测机台产能一定的情况下，这样的取样量测方式不利于实现量测机台的最优测量分配。

技术实现思路

[0004]本申请提供一种取样量测方法及设备，在保证制程稳定性的基础上，实现了量测机台的最优测量分配。
[0005]第一方面，本申请提供一种取样量测方法，包括：
[0006]根据生产单元对应制程的取样比例，周期性地对生产单元的在制品进行取样量测，其中，每个生产单元用于完成至少一个制程；
[0007]根据所述生产单元对应制程的在制品的量测结果，确定所述生产单元对应制程的稳定性指标；
[0008]根据所述生产单元对应制程的稳定性指标，对所述生本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种取样量测方法，其特征在于，包括：根据生产单元对应制程的取样比例，周期性地对生产单元的在制品进行取样量测，其中，每个生产单元用于完成至少一个制程；根据所述生产单元对应制程的在制品的量测结果，确定所述生产单元对应制程的稳定性指标；根据所述生产单元对应制程的稳定性指标，对所述生产单元对应制程的取样比例进行调整，并将调整后的取样比例作为最新取样比例。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述生产单元对应制程的在制品的量测结果，确定所述生产单元对应制程的稳定性指标，包括：根据所述生产单元对应制程的在制品的量测结果，确定所述生产单元对应制程的多个稳定性衡量参数；根据每个稳定性衡量参数和每个稳定性衡量参数对应的权重，确定所述生产单元对应制程的稳定性指标。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据每个稳定性衡量参数和每个稳定性衡量参数对应的权重，确定所述生产单元对应制程的稳定性指标，包括：根据每个稳定性衡量参数对应的权重，对多个稳定性衡量参数进行加权求和，得到所述生产单元对应制程的稳定性指标。4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述稳定性衡量参数包括告警次数、量测结果异常次数和过程能力指数中的至少两个。5.根据权利要求1
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3任一项所述的方法，其特征在于，所述根据所述生产单元对应制程的稳定性指标，对所述生产单元对应制程的取样比例进行调整，包括：若所述生产单元对应制程的稳定性指标大于或等于第一阈值，则减小所述生产单元对应制程的取样比例；若所述生产单元对应制程的稳定性指标小于或等于第二阈值，则增大所述生产单元对应制程的取样比例。6.根据权利要求1
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3任一项所述的方法，其特征在于，所述根据所述生产单元对应制程的稳定性指标，对所述生产单元对应制程的取样比例进行调整，包括：若所述生产单元对应制程的稳定性指标大于或等于前一次的稳定性指标，则减小所述生产单元对应制程的取样比例；若所述生产单元对应制程的稳定性指标小于前一次的稳定性指标，则增大所述生产单元对应制程的取样比例。7.根据权利要求1
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3任一项所述的方法，其特征在于，所述根据所述生产单元对应制程的稳定性指标，对所述生产单元对应制程的取样比例进行调整，包括：若所述生产单元对应制程的稳定性指标大于或等于第一预设时间段内的稳定性指标的平均值，则减小所述生产单元对应制程的取样比例；若所述生产单元对应制程的稳定性指标小于所述第一预设时间段内的稳定性指标的平均值，则增大所述生产单元对应制程的取样比例。8.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱贺，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：