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本申请提供一种取样量测方法及设备。该方法包括：根据生产单元对应制程的取样比例，周期性地对生产单元的在制品进行取样量测，其中，每个生产单元用于完成至少一个制程；根据生产单元对应制程的在制品的量测结果，确定生产单元对应制程的稳定性指标；根据生产...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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