探针板卡、探针测试系统以及探针测试方法技术方案

一种探针板卡、探针测试系统以及探针测试方法，所述探针板卡包括：电路板，呈平板状；多个针板，分别通过多个可伸缩柱体连接在所述电路板的一侧，所述多个针板中的每一个远离所述电路板的一侧设置有至少一根探针，所述探针沿基本上垂直于所述电路板的方向延伸；以及微控制器，设置在电路板上，配置为控制所述多个可伸缩柱体在垂直于所述电路板的方向上伸缩，使得所述多个针板在垂直于所述电路板的方向上可移动。可移动。可移动。

【技术实现步骤摘要】
探针板卡、探针测试系统以及探针测试方法


[0001]本公开涉及集成电路测试
，具体而言，涉及一种探针板卡、探针测试系统以及探针测试方法。

技术介绍

[0002]集成电路测试
属于新一代信息技术产业的核心产业，具有极其重要的战略地位，是推动国民经济和社会信息化发展的最主要的高新技术之一。集成电路，例如晶圆，需要进行各种测试，来检测集成电路的工作性能。

技术实现思路

[0003]本公开一些实施例提供一种探针板卡，所述探针板卡包括：
[0004]电路板，呈平板状；
[0005]多个针板，分别通过多个可伸缩柱体连接在所述电路板的一侧，所述多个针板中的每一个远离所述电路板的一侧设置有至少一根探针，所述探针沿基本上垂直于所述电路板的方向延伸；以及
[0006]微控制器，设置在电路板上，配置为控制所述多个可伸缩柱体在垂直于所述电路板的方向上伸缩，使得所述多个针板在垂直于所述电路板的方向上可移动。
[0007]在一些实施例中，所述多个针板均平行于所述电路板，所述多个针板上的所述探针的长度基本相同。
[0008]本公开一些实施例提供一种探针测试系统，包括：
[0009]前述实施例所述的探针板卡；
[0010]探针测试机台，承载所述探针板卡，所述探针测试机台还包括承载台，配置为承载测试部件；以及
[0011]自动测试机，配置为向所述探针板卡提供测试信号，
[0012]其中，所述微控制器、探针测试机台以及自动测试机通讯连接，
[0013]所述测试部件包括规则排布的多个测试区域，每个测试区域内设置有多个测试元件，响应于所述探针板卡执行一次探针探测，所述探针板卡与所述多个测试区域中的一个测试区域相同对准，所述多个针板与所述一个测试区域中的多个测试元件分别对准。
[0014]本公开一些实施例提供一种探针测试方法，采用前述实施例所述的探针测试系统，所述探针测试方法包括：
[0015]在平行于所述电路板的平面内移动所述承载台，使得所述探针板卡与需要复测的测试区域对准；
[0016]基于所述需要复测的测试区域的前次测试结果，调节所述的可伸缩柱体的伸缩长度，使得所述多个针板中的至少一个针板处于测试位置，其他针板处于空置位置；以及
[0017]朝向所述探针板卡移动所述承载台使得所述探针板卡对所述需要复测的测试区域执行探针测试。
[0018]在一些实施例中，基于所述需要复测的测试区域的前次测试结果，调节所述的可伸缩柱体的伸缩长度，使得所述多个针板中的至少一个针板处于测试位置，其他针板处于空置位置包括：
[0019]基于所述需要复测的测试区域的前次测试结果，调节所述的可伸缩柱体的伸缩长度，使得前次测试结果为未通过的测试元件对应的针板处于测试位置，前次测试结果为通过的测试元件对应的针板处于空置位置。
[0020]在一些实施例中，在移动所述承载台，使得所述探针板卡与需要复测的测试区域对准之前，所述探测测试方法还包括：
[0021]利用探针板卡对测试部件的多个测试区域依次执行探针测试。
[0022]在一些实施例中，利用探针板卡对测试部件的多个测试区域依次执行探针测试包括：
[0023]在平行于所述电路板的平面内移动所述承载台，使得所述探针板卡与需要测试的测试区域对准；以及
[0024]朝向所述探针板卡移动所述承载台使得所述探针板卡对所述需要测试的测试区域执行探针测试。
[0025]在一些实施例中，利用探针板卡对测试部件的多个测试区域依次执行探针测试之前还包括：
[0026]控制所述多个可伸缩柱体在垂直于所述电路板的方向上的伸缩长度以执行对针操作。
[0027]在一些实施例中，控制所述多个可伸缩柱体在垂直于所述电路板的方向上的伸缩长度以执行对针操作包括：
[0028]控制所述多个可伸缩柱体在垂直于所述电路板的方向上自最短长度伸长至预定长度；
[0029]检测所述探针的针尖至所述电路板之间的距离，响应于同一针板中的探针对应的距离不同，探针测试机台发出警报，响应于所述同一针板中的探针对应的距离相同且不同针板中的探针对应的距离不同，调整所述多个可伸缩柱体的伸缩长度，使得所述多个针板中的探针对应的距离均相同，记录所述多个针板的位置分别作为所述多个针板的测试位置。
[0030]在一些实施例中，所述多个可伸缩柱体在垂直于所述电路板的方向上的最短长度对应的所述多个针板的位置分别作为所述多个针板的空置位置
[0031]本公开实施例的上述方案与相关技术相比，至少具有以下有益效果：
[0032]通过在探针板卡中增设微控制器，使得探针板卡中的多个针板相对于所述电路板的距离可调节，在对测试部件，例如为晶圆完成首次测试后对测试结果为NG的测试元件，例如为芯片单元进行复测时，可以将将需要测试的测试元件对应的针板调节至测试位置，将探针板卡中的其他针板调节至空置位置，以避免同一测试区域中的测试结果为OK的测试元件再次执行探针测试，降低芯片单元报废的概率。
[0033]采用探针板卡对对测试部件，例如为晶圆执行首次测试前，控制多个针板对应的多个可伸缩柱体在垂直于所述电路板的方向上的自最短长度伸长至预定长度，检测探针的针尖至所述电路板之间的距离，调整所述多个可伸缩柱体的伸缩长度，使得所述多个针板
中的探针对应的距离均相同，记录所述多个针板的位置分别作为所述多个针板的测试位置，记录每个针板的测试位置，使得在进行探针复测时，可以将将需要的针板移动至测试位置，将其他针板移动至空置位置，提高测试效率。
附图说明
[0034]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
[0035]图1为本公开一些实施例提供的探针板卡的截面结构示意图；
[0036]图2为本公开一下实施例提供的测试系统的结构示意图；
[0037]图3为本公开一些实施例提供的探针板卡的仰视图；
[0038]图4为本公开一些实施例提供的测试部件的结构示意图；
[0039]图5为本公开一些实施例提供的探针测试方法的流程图；
[0040]图6为本公开一些实施例提供的探针板卡的截面结构示意图；以及
[0041]图7为本公开一些实施例提供的探针板卡的截面结构示意图。
具体实施方式
[0042]为了使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本公开作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本公开保护的范围。
[0043]在本公开实施例中使用的术语是仅仅出于描述特本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针板卡，其特征在于,所述探针板卡包括：电路板，呈平板状；多个针板，分别通过多个可伸缩柱体连接在所述电路板的一侧，所述多个针板中的每一个远离所述电路板的一侧设置有至少一根探针，所述探针沿基本上垂直于所述电路板的方向延伸；以及微控制器，设置在电路板上，配置为控制所述多个可伸缩柱体在垂直于所述电路板的方向上伸缩，使得所述多个针板在垂直于所述电路板的方向上可移动。2.根据权利要求1所述的探针板卡，其中，所述多个针板均平行于所述电路板，所述多个针板上的所述探针的长度基本相同。3.一种探针测试系统，包括：权利要求1或2中所述的探针板卡；探针测试机台，承载所述探针板卡，所述探针测试机台还包括承载台，配置为承载测试部件；以及自动测试机，配置为向所述探针板卡提供测试信号，其中，所述微控制器、探针测试机台以及自动测试机通讯连接，所述测试部件包括规则排布的多个测试区域，每个测试区域内设置有多个测试元件，响应于所述探针板卡执行一次探针探测，所述探针板卡与所述多个测试区域中的一个测试区域相同对准，所述多个针板与所述一个测试区域中的多个测试元件分别对准。4.一种探针测试方法，采用权利要求3中所述的探针测试系统，所述探针测试方法包括：在平行于所述电路板的平面内移动所述承载台，使得所述探针板卡与需要复测的测试区域对准；基于所述需要复测的测试区域的前次测试结果，调节所述的可伸缩柱体的伸缩长度，使得所述多个针板中的至少一个针板处于测试位置，其他针板处于空置位置；以及朝向所述探针板卡移动所述承载台使得所述探针板卡对所述需要复测的测试区域执行探针测试。5.根据权利要求4所述的探针测试方法,其中，基于所述需要复测的测试区域的前次测试结果，调节所述的可伸缩柱体的伸缩长度，使得所述多个针板中的至少一个针板处于测试位置，其他针板处于空...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文敬，余琨，吴一，徐倩云，
申请(专利权)人：上海华岭集成电路技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：