【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术与气体激光器有关,特别是一种具有隔离阀门的气体激光器。
技术介绍
大型高功率二氧化碳激光器及准分子激光器中,为了获得稳定的激光输出,气体要流动循环,但是在放电过程中,电极与气体相互作用会产生一些物质被吸附在激光腔的窗口上,从而影响激光的稳定输出。为此,激光器生产商建议定期清洁腔片。在清洁腔片时整个放电室暴露在大气中,要恢复正常运转,对激光器要经过反复充气换气放电。这样不仅增加了激光器的运转成本,而且浪费了不少时间。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于克服上述现有技术的缺陷,提供一种具有隔离阀门的气体激光器,达到投资少,使用方便,运行成本低的优点。本技术的技术解决方案是一种具有隔离阀门的气体激光器,包括激光放电室,其特征是在该放电室的两端各设有一气体隔离阀门,该气体隔离阀门外为气体隔离室,该隔离室有二个出口,出口连接真空泵,出口连接激光混合气体瓶,隔离室另一端为激光腔片,激光放电室还设有气口。本技术的优点是明显的。由于在谐振腔腔片及放电室之间放置了一个隔离阀门,在更换或清洗腔片时将该阀门关闭,更换或清洗以后在隔离区内补充少量激光气体,再将隔离区阀门打开。由于整个激光放电室除隔离区外未暴露在大气中,它可以使激光器很快进入稳定状态。具有投资少,使用方便,运行成本低的优点。附图说明图1是本技术结构图。具体实施方式如图1所示。本技术具有隔离阀门的气体激光器,包括激光放电室1,其特点是在该放电室1的两端各设有一气体隔离阀门2,该气体隔离阀门2外为气体隔离室3,该隔离室3有二个出口,出口5连接真空泵,出口6连接激光混合气体瓶,隔离室3另一端为激光腔片4或9,激 ...
【技术保护点】
一种具有隔离阀门的气体激光器,包括激光放电室(1),其特征是在该放电室(1)的两端各设有一气体隔离阀门(2),该气体隔离阀门(2)外为气体隔离室(3),该隔离室(3)有二个出口,出口(5)连接真空泵,出口(6)连接激光混合气体瓶,隔离室(3)另一端为激光腔片(4)和(9),激光放电室(1)还设有气口(7)。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员:楼祺洪,
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所,
类型:实用新型
国别省市:31[中国|上海]
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