可拆式铜蒸气激光器的气体纯化方法和装置制造方法及图纸

技术编号:3811772 阅读:245 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种可拆式铜蒸气激光器的气体纯化处理方法和装置,该方法是在可拆式铜蒸气激光器的放电回路设置电流的取样装置,在可拆式铜蒸气激光器工作时,取样放电回路的工作电流I,并与可拆式铜蒸气激光器稳定工作区I↓[欠]<I<I↓[过]的工作电流进行比较,当I<I↓[欠]或I>I↓[过]时,通过可编程程序控制器驱动可拆式铜蒸气激光器循环地运行“抽气-停止抽气-充氖气-加高压-放电-高压停”进行气体纯化处理,直到放电回路的工作电流I的满足关系式Ⅰ↓[欠]<I<I↓[过]时,式中:I↓[欠]是欠流电流,I↓[过]是过流电流,可拆式铜蒸气激光器自动地进入稳定的工作状态。本发明专利技术使可拆式铜蒸气激光器能自动地进行气体纯化处理并进入稳定的工作状态。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及铜蒸气激光器,特别是一种可拆式铜蒸气激光器的气体纯化方法和 装置。
技术介绍
与封离式铜蒸气激光器相比,可拆式铜蒸气激光器的特点是工艺简单、元器件 更新便宜、功率可按尺寸比例放大,从而整机寿命长、运行成本较低。但相应的缺 点是必需装备抽气系统和充氖气系统,结构相对较复杂,使用也相对较复杂。由于 可拆式铜蒸气激光器的漏气速率较大,所以,每次开机,特别是距前一次开机时间 间隔较长之后,往往需要对铜蒸气激光器的工作气体进行纯化,使铜蒸气激光器达 到稳定的工作。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可拆式铜蒸气激光器的气体纯化方法和装置,使具 有该装置的可拆式铜蒸气激光器能自动地进行气体纯化处理并进入稳定的工作状 态。本专利技术的基本思想是-我们发现, 一定功率的可拆式铜蒸气激光器进入稳定的工作状态与可拆式铜蒸 气激光器的放电回路的工作电流是密切相关的,由于可拆式铜蒸气激光器的漏气速 率较大,所以,每次开机就可能需要通过 反复抽气和放电实现激光器的气体纯化过程,最终达到激光器的稳定工作。我们根 据激光器在非稳区与稳定区不同的放电伏安特性,从放电回路内取得放电电流信号, 并让它与我们予先测定的放电稳定区的最小值(I欠流)和最大值(I过流)相比较,当 放电电流低于最小值时,我们把它归为欠流区;当放电电流高于最大值时,我们把 它归为过流区;当放电处于这二个区时,就说明激光器放电管内的分子性气体超标 或Ne气庄过低或过高,必须对激光器的气体进行纯化。通过对取样信号的处理,然 后按程序去驱动"高压停〃 -"抽气〃 -"抽气停"-"充气〃 -"加高压〃 等程序,该程 序我们称为激光器的再处理循环程序,使激光器重复放电加热一放气一除气等过程, 从而自动完成气体的纯化过程,即当放电回路的工作电流I满足下列关系式时,可 拆式铜蒸气激光器处于稳定的工作状态I欠<1<1过式中1《是欠流电流,Ia是过流电流。可拆式铜蒸气激光器的放电回路的工作电流的欠流或过流都是由于铜蒸气激光器放电管中的放电气体不纯引起的,而放电 气体纯化可以通过可拆式铜蒸气激光器的循环地运行"抽气一停止抽气一充氖气一 加高压一放电一高压停",不断地将不纯的气体抽出,不断地补充新的符合要求的气 体,最终使放电主回路的工作电流I满足上述关系式,可拆式铜蒸气激光器处于稳 定的工作状态。本专利技术的技术解决方案如下一种可拆式铜蒸气激光器的气体纯化处理方法,其特点在于在可拆式铜蒸气 激光器的放电回路设置电流的取样装置,在可拆式铜蒸气激光器工作时,取样放电 回路的工作电流I,并与可拆式铜蒸气激光器稳定工作区I x<M a的工作电流进行比 较,当KI《或^Ia时,通过可编程程序控制器驱动可拆式铜蒸气激光器循环地运行 "抽气一停止抽气一充氖气一加高压一放电一高压停"进行气体纯化处理,直到放 电回路的工作电流I的满足下列关系式时,可拆式铜蒸气激光器自动地进入稳定的 工作状态I欠<1<1 il式中U是欠流电流,Ia是过流电流。一种可拆式铜蒸气激光器的气体纯化处理控制装置,其特点是在可拆式铜蒸 气激光器的放电回路设置电流的取样电阻, 一个光电耦合器的光二极管与第一电阻 串联后与所述的取样电阻并联,所述的光电耦合器的发射极接第二电阻、第一比较 器的反相输入端和第二比较器的正相输入端的结点,所述的第二电阻的另一端接第 一可变电阻器一个固定端、第二可变电阻器的一个固定端和控制电源的负极的结 点,所述的第一可变电阻器的滑动臂接第一比较器的正相输入端,所述的第二可变 电阻器的滑动臂接第二比较器的反相输入端;所述的第一比较器的输出端接的欠流继电器线包的一端,所述的第二比较器的 输出端接过流继电器线包的 一端;所述的第一可变电阻器另一固定端、第二可变电阻器的另一固定端、欠流继电 器线包的另一端和过流继电器线包的另一端接所述的光电耦合器的集电极和控制 电源正极;所述的欠流继电器和过流继电器的常开触点连接可编程程序控制器的输入口。 本专利技术的技术效果如下本专利技术在可拆式铜蒸气激光器的放电回路设置电流的取样装置,在可拆式铜蒸 气激光器工作时,取样放电回路的工作电流I,并与可拆式铜蒸气激光器稳定工作区4I欠〈M过的工作电流进行比较,当1<1欠或1>1过时,通过可编程程序控制器驱动可拆 式铜蒸气激光器循环地运行"抽气一停止抽气一充氖气一加高压一放电一高压停" 进行气体纯化处理,自动完成激光器的气体纯化过程。避免了一系列的人工的繁琐 操作,即可使激光器自动地进入正常的运行,稳定出光。 附图说明图1是本专利技术可拆式铜蒸气激光器的气体纯化处理控制装置简图 具体实施例方式下面结合实施例和附图对本专利技术作进一步说明,但不应以此限制本专利技术的保护 范围。先请参阅图1,图1是本专利技术可拆式铜蒸气激光器的气体纯化处理控制装置简 图,由图可见,本专利技术可拆式铜蒸气激光器的气体纯化处理控制装置,其构成是 在可拆式铜蒸气激光器的放电回路(未示)设置电流的取样电阻R, 一个光电耦合器v的光二极管与第一电阻Rl串联后与所述的取样电阻R并联,所述的光电耦合 器v的发射极与第二电阻R2、第一比较器VI的反相输入端和第二比较器V2的正 相输入端的结点相连,所述的第二电阻R2的另一端与第一可变电阻器R3 —个固 定端、第二可变电阻器R4的一个固定端和控制电源的负极的结点相连,所述的第 一可变电阻器R3的滑动臂接第一比较器VI的正相输入端,所述的第二可变电阻 器R4的滑动臂接第二比较器V2的反相输入端;所述的第一比较器VI的输出端接的欠流继电器^线包的一端,所述的第二比 较器V2的输出端接过流继电器J a线包的一端;所述的第一可变电阻器R3的另一固定端、第二可变电阻器R4的另一固定端、 欠流继电器J x线包的另一端和过流继电器J a线包的另一端接所述的光电耦合器v 的集电极和控制电源正极;所述的欠流继电器J x和过流继电器J a的常开触点连接可编程程序控制器的输 入口。本专利技术的具体工作情况如下我们根据激光器在非稳区与稳定区不同的放电伏安特性,从放电回路内取得放 电电流信号,并让它与我们事先测定的放电稳定区的最小值(I"和最大值(Ia)相比 较,当放电电流低于最小值时,我们把它归为欠流区;当放电电流高于最大值时, 我们把它归为过流区;当放电处于这二个区时,就说明激光器放电管内的分子性气 体超标或Ne气压过低或过高,必须对激光器的气体进行纯化。应用本专利技术装置通过反复的多次实验,已确定了可拆式铜蒸气激光器的稳定工作的电流区域I《<I<I a, 并通过调节第一可变电阻器R3和第二可变电阻器R4的滑动臂的位置,保障当1<1 x,使第一比较器V1的输出端有输出一个信号,使欠流继电器Jx工作,使可拆式铜 蒸气激光器进入停高压一抽气一停止抽气一充氖气一加高压一放电的循环过程,进 行气体纯化处理,直到放电回路的工作电流1的满足关系式时1《<1,可拆式铜蒸气 激光器自动地进入稳定的工作状态当la〈I时,该压降将使第二比较器v2输出一 个信号,使过流继电器Ja工作,由于所述的过流继电器Ja的常开触点与可编程程 序控制器的输入口连接,可编程程序控制器接收到这一信号后,同样使可拆式铜蒸 气激光器进入停高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可拆式铜蒸气激光器的气体纯化处理方法,其特征在于:在可拆式铜蒸气激光器的放电回路设置电流的取样装置,在可拆式铜蒸气激光器工作时,取样放电回路的工作电流I,并与可拆式铜蒸气激光器稳定工作区I↓[欠]<I<I↓[过]的工作电流进行比较,当I<I↓[次]或I>I↓[过]时,通过可编程程序控制器驱动可拆式铜蒸气激光器循环地运行“抽气-停止抽气-充氖气-加高压-放电-高压停”进行气体纯化处理,直到放电回路的工作电流I的满足下列关系式时,可拆式铜蒸气激光器自动地进入稳定的工作状态:I↓[欠]<I<I↓[过] 式中:I↓[欠]是欠流电流,I↓[过]是过流电流。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:雷建求叶韧胡谷雨姜阅清陶永祥
申请(专利权)人:上海大恒光学精密机械有限公司
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

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