气体激光器及其控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种气体激光器及其控制装置，其中气体激光器控制装置，包括：多个工作组件，分别设置于进入气体激光器的混合腔中的每一路气体的进气通道上；每一个工作组件包括压力开关以及质量流量控制器；压力开关用于在进气压力低于预设值时发出报警信号；质量流量控制器用于对进气通道中的气体流量进行实时监测和调节；以及气体控制单元，用于接收报警信号并发出警报、获取气体激光器的工作状态并根据工作状态输出相应的控制信号给每一质量流量控制器；质量流量控制器根据控制信号对相应的气体流量进行调节；气体控制单元还用于根据监测到的实时流量值生成调整信号后输出给质量流量控制器。上述气体激光器控制装置的可靠性较高。本实用新型专利技术还涉及一种包括上述控制装置的气体激光器。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光器
，特别是涉及一种气体激光器及其控制装置。
技术介绍
气体激光器如二氧化碳激光器等具有连续输出功率较高的优点，因此在切割、焊接、熔覆等行业领域有着广泛的用途。气体激光器利用高压电源产生上万伏的高电压，该高电压作用在混合气体上从而激发混合气体产生激光。气体激光器中的混合气体包括主要工作气体以及辅助气体，其按照一定的比例进行混合。混合好的气体在高电压和快流速的情况下，主要工作气体进行能级之间的转换，发射出激光。传统的气体激光器仅能够通过控制进气阀的开关时间以及次数来实现对进入激光器谐振腔中的气体流量的控制，但是其并不能够对气体流量进行实时监测以及控制，导致系统的可靠性较低。
技术实现思路
基于此，有必要针对上述问题，提供一种可靠性较高的气体激光器控制装置。一种气体激光器控制装置，包括:多个工作组件，分别设置于进入气体激光器的混合腔中的每一路气体的进气通道上；每一个工作组件包括压力开关以及质量流量控制器；所述压力开关和所述质量流量控制器依次沿气体走向设置；所述压力开关用于在进气压力低于预设值时发出报警信号；所述质量流量控制器用于对进气通道中的气体流量进行实时监测和调节；以及气体控制单元，分别与每一个工作组件连接，用于接收所述报警信号并发出警报；所述气体控制单元还用于获取所述气体激光器的工作状态并根据所述工作状态输出相应的控制信号给每一质量流量控制器；所述质量流量控制器根据所述控制信号对相应的气体流量进行调节；所述气体控制单元还用于根据所述质量流量控制器监测到的实时流量值生成调整信号后输出给所述质量流量控制器。在其中一个实施例中，所述气体控制单元与所述质量流量控制器通过MODBUS通讯协议进行通讯。在其中一个实施例中，所述预设值为0.4兆帕。在其中一个实施例中，所述气体激光器为二氧化碳激光器；进入到所述混合腔中的气体包括二氧化碳气体、氮气以及氦气；所述多个工作组件包括第一工作组件、第二工作组件以及第三工作组件；所述第一工作组件设置于所述二氧化碳气体的进气通道上；所述第二工作组件设置于所述氮气的进气通道上；所述第三工作组件设置于所述氦气的进气通道上。在其中一个实施例中，还包括电磁阀组；所述电磁阀组设置于所述气体激光器的工作腔体和抽气泵之间，并与所述气体控制单元连接；所述气体控制单元还用于根据所述气体激光器的工作状态控制所述电磁阀组的导通和截止。在其中一个实施例中，还包括:输入装置，与所述气体控制单元连接，用于供操作者输入或者更改所述控制信号；以及显示装置，用于显示所述质量流量控制器监测到的实时流量值。在其中一个实施例中，所述气体控制单元还用于将所述报警信号以及所述质量流量控制器监测到的实时流量值输出给气体激光器的总控制系统。一种气体激光器，包括气体供应装置以及混合腔，所述气体供应装置用于提供产生激光所需要的各种气体；所述气体供应装置将每一种气体通过独立的进气通道输出给所述混合腔；还包括控制装置；所述控制装置包括:多个工作组件，分别设置于进入所述混合腔中的每一路气体的进气通道上；每一个工作组件包括压力开关以及质量流量控制器；所述压力开关和所述质量流量控制器依次沿气体走向设置；所述压力开关用于在进气压力低于预设值时发出报警信号；所述质量流量控制器用于对进气通道中的气体流量进行实时监测和调节；以及气体控制单元，分别与每一个工作组件连接，用于接收所述报警信号并发出警报；所述气体控制单元还用于获取所述气体激光器的工作状态并根据所述工作状态输出相应的控制信号给每一质量流量控制器；所述质量流量控制器根据所述控制信号对相应的气体的流量进行调节；所述气体控制单元还用于根据所述质量流量控制器监测到的实时流量值生成调整信号后输出给所述质量流量控制器。在其中一个实施例中，所述气体激光器还包括工作腔体和抽气泵；所述控制装置还包括电磁阀组；所述电磁阀组连接于所述工作腔体和所述抽气泵之间；所述气体控制单元还用于根据所述气体激光器的工作状态控制所述电磁阀组的导通和截止。在其中一个实施例中，所述气体激光器还包括总控制系统；所述气体控制单元还用于将所述报警信号以及所述质量流量控制器监测到的实时流量值输出给所述总控制系统。上述气体激光器及其控制装置，气体控制单元可以根据气体激光器的工作状态向质量流量控制器发出控制信号，从而对每一路气体流量进行准确控制。气体控制单元还可以根据质量流量控制器监测到的实时气体流量值生成调整信号对气体流量进行调整，从而实现对气体流量的实时监测以及控制，系统可靠性较高。并且，压力开关还会对进气压力进行监测并在进气压力低于预设值时发出报警信号，确保气体激光器中的气体能够得到正常供应，从而保证气体激光器能够正常稳定工作。【附图说明】图1为一实施例中的气体激光器的结构示意图；图2为图1所示实施例中的气体激光器中工作组件与气体控制单元的连接示意图。【具体实施方式】为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。图1为一实施例中的气体激光器的结构示意图，其包括作为控制装置100、作为气体供应装置的高压气瓶200、混合腔300、工作腔体400、总控制系统500以及抽气泵600。在本实施例中，气体激光器为二氧化碳激光器，其产生激光所需的气体包括二氧化碳气体、氮气以及氦气。即高压气瓶中200中包括了二氧化碳气体气瓶、氮气气瓶以及氦气气瓶。各气体由各自的存储气瓶输出后经过独立的进气管道输出到气体激光器中的混合腔300进行混合后送入工作腔体400中进行工作产生激光。总控制系统500用于对整个气体激光器进行控制，并提供人机交互界面供操作者进行查看或者输入控制指令。抽气泵600用于保持工作腔体400的真空度并保持其内部的工作气体的纯净度。控制装置100用于对进入到气体激光器中的混合腔300中的各气体流量进行实时监测以及控制，其包括多个工作组件110、气体控制单元120以及电磁阀组130。多个工作组件110分别设置于进入气体激光器的混合腔300中的每一路气体的进气通道上。在本实施例中，进入气体激光器中的混合腔300中的气体包括氮气、氦气以及二氧化碳气体。因此，工作组件110包括第一工作组件、第二工作组件以及第三工作组件。其中，第一工作组件设置于二氧化碳气体的进气通道上；第二工作组件设置于氮气的进气通道上；第三工作组件设置于氦气的进气通道上。每一个工作组件110均包括压力开关20以及质量流量控制器30，如图2所示。压力开关20和质量流量控制器30依次沿气体走向设置。其中，压力开关20用于对进气压力进行监测并在进气压力低于预设值时发出报警信号。具体地，为保证气体能够进入到气体激光器内进行正常工作，高压气瓶200中提供的三瓶气体的纯度较高(纯度为99.999.% )。高压气瓶200的相对压力设置在0.4兆帕，即进气压压力为0.4兆帕。因此。当高压气瓶200的相对压力不足0.4兆帕时，对应的工作组件110中的压力开关20会发出报警信号并输出给气体控制单元120。气体控制单元120会接收该报警信号，并发出警报。在本实施例中，气体控制单元120可以通过报警信息提示、报警指示本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体激光器控制装置，其特征在于，包括：多个工作组件，分别设置于进入气体激光器的混合腔中的每一路气体的进气通道上；每一个工作组件包括压力开关以及质量流量控制器；所述压力开关和所述质量流量控制器依次沿气体走向设置；所述压力开关用于在进气压力低于预设值时发出报警信号；所述质量流量控制器用于对进气通道中的气体流量进行实时监测和调节；以及气体控制单元，分别与每一个工作组件连接，用于接收所述报警信号并发出警报；所述气体控制单元还用于获取所述气体激光器的工作状态并根据所述工作状态输出相应的控制信号给每一质量流量控制器；所述质量流量控制器根据所述控制信号对相应的气体流量进行调节；所述气体控制单元还用于根据所述质量流量控制器监测到的实时流量值生成调整信号后输出给所述质量流量控制器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：彭硕飞，李建，周桂兵，陈根余，陈燚，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44